用結構色無損檢測光柵占空比的初步探索.pdf

1、本論文的主要研究工作是基于嚴格耦合波的結構色檢測光柵結構參數的方法，主要分為理論計算和多層介質膜光柵的參數測量兩個部分。
　　在快點火系統(tǒng)中約束著系統(tǒng)性能的主要參數是多層介質膜光柵的衍射效率?？紤]到光柵制作工藝中圖形多步轉移中的不確定因素，目前缺少無損檢測的手段對正式光柵制作工藝過程進行有效可靠的檢測，本文的重點工作是提出了基于結構色的無損檢測方法來測量光柵的參數。
　　一、給出了基于結構色檢測光柵參數的基本原理和思路，詳細

2、的介紹了嚴格耦合波來求解周期性結構的衍射效率的方法，分析了光源光譜和光柵衍射效率擬合成結構色的方法，給出了具體的步驟和實現代碼，其中計算程序考慮了多維周期性結構和錐角衍射等因素。
　　二、分析了光源的參數（偏振和半高寬）以及光柵的參數對結構色的影響，其中光柵的參數包括了線密度，柵線高度，占空比，光柵形貌等等。給出的結論包括:光柵線密度在1740線每毫米時，對應的結構色對線密度變化不敏感;光柵柵線高度在300nm左右時，較小的柵線高