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文檔簡介
1、1班組的維護 維護流程 流程1】 維護 維護準備 1】 提前準 提前準備維護 備維護工具 工具 石英管的準 石英管的準備 8—15 根 （單晶需 晶需 15根， 根，2 根備用 多晶需 多晶需 9 根， 根，1 根備用） 用） 2】 石英管 石英管 的挑 的挑選注意：口徑的大小 注意：口徑的大小 兩端口徑不要有裂痕 兩端口徑不要有裂痕 整根不能有裂痕 整根不能有裂痕 碰痕。 碰痕。無細微裂紋 無細微裂紋和氣泡 和氣泡3】4】 一對
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