自動批量化MEMS加速度傳感器測試裝置設(shè)計(jì)研究.pdf

1、MEMS加速度傳感器作為MEMS慣性器件的一個(gè)重要組成部分，已經(jīng)廣泛應(yīng)用于汽車電子、航海、辦公設(shè)備、醫(yī)療等領(lǐng)域。隨著近年來智能手機(jī)、生物醫(yī)學(xué)、機(jī)器監(jiān)控等行業(yè)的發(fā)展，MEMS加速度傳感器的市場需求量在逐年遞增。但是在投入市場之前，需要對MEMS加速度傳感器進(jìn)行各項(xiàng)性能指標(biāo)的標(biāo)定測試。而目前國內(nèi)尚沒有能夠自動批量化對MEMS加速度傳感器進(jìn)行標(biāo)定測試的設(shè)備。本文設(shè)計(jì)研究了一種自動批量化MEMS加速度傳感器測試裝置，該裝置能夠在可變環(huán)境中實(shí)現(xiàn)對

2、MEMS加速度傳感器各項(xiàng)性能指標(biāo)的標(biāo)定測試。
　　首先，本文通過分析MEMS加速度傳感器的幾種標(biāo)定測試方法及原理，設(shè)計(jì)了該測試裝置的總體結(jié)構(gòu)。該測試裝置主要由靜態(tài)測試部分、動態(tài)測試部分、PLC控制系統(tǒng)和上位機(jī)軟件組成。文章利用SolidWorks三維機(jī)械設(shè)計(jì)軟件對測試裝置的機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)的設(shè)計(jì)研究。測試裝置機(jī)械結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)主要包括加速度傳感器載體、翻滾驅(qū)動機(jī)構(gòu)、水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)、豎直升降機(jī)構(gòu)以及自動鎖緊機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)。
　　其次，

3、論文對測試裝置的軟硬件設(shè)計(jì)進(jìn)行了詳細(xì)研究。測試裝置的硬件設(shè)計(jì)主要包括PLC控制步進(jìn)伺服電機(jī)電路、光電開關(guān)電路、PLC與計(jì)算機(jī)的串行通信、高精度傾角傳感器在線監(jiān)測電路的設(shè)計(jì)；測試裝置的軟件設(shè)計(jì)主要包括PLC控制主程序、FX2N-20GM的定位程序、高精度傾角傳感器在線監(jiān)測軟件的設(shè)計(jì)。
　　最后，對自動批量化MEMS加速度傳感器測試裝置進(jìn)行了機(jī)械裝配和系統(tǒng)調(diào)試。分析了裝配過程中出現(xiàn)的問題，提出了具體的解決方案。進(jìn)行了MEMS加速度傳感