封裝膠的不均勻性對微加速度計零位溫漂的影響研究.pdf

1、電容式微加速度計具有檢測靈敏、結構簡單、易于集成等顯著優(yōu)點，在各種傳感器中電容式微加速度計發(fā)展最快而且商業(yè)應用最廣。工作溫度的變化導致微加速度計的零位溫漂嚴重影響加速度計的檢測精度，制約其應用于高端精密領域。
　　在施膠過程中，粘接膠的不均勻性及空洞等將不可避免的發(fā)生，工作溫度的變化導致微加速度計結構產生非對稱性的熱應力及熱變形，從而產生零位輸出和零位溫漂。隨著對檢測精度要求越來越高，粘接膠的不均勻性對微加速度計零位溫漂的影響不能

2、忽略。國內外對粘接膠不均勻性對微加速度計零位溫漂的研究非常少，因此研究粘接膠的不均勻性對微加速度計的影響具有重要的工程意義。本文主要內容為：
　　1．簡化電容式微加速度計為三層結構，通過理論推導了中間層均勻三層結構玻璃上表面的軸向位移變形，以及中間層不均勻三層結構粘接層與玻璃接觸處的軸向位移和切應力，并與有限元仿真分析進行對比。通過仿真分析粘接膠不均勻對微加速度計零位溫漂的影響，零位溫漂并不是隨著粘接膠傾斜角度變化呈線性變化。另外

3、還分析在粘接膠不均勻性下折疊梁不對稱對微加速度計零位溫漂的影響，此時折疊梁不對稱性對微加速度計零位溫漂的影響顯著。
　　2．分析粘接膠不均勻性下粘接膠中空洞位置分布及空洞大小對微加速度計零位輸出的影響，空洞在不同位置對微加速度計零位輸出不同；當空洞位于粘接膠左右兩側對稱分布時，左右兩側的零位輸出規(guī)律相同，但空洞位于粘接膠厚度較小一側零位輸出數值越大；空洞大小的變化對微加速度計零位輸出影響比較復雜，空洞位于支撐折疊梁的錨點相對應粘接