基于LS_SVM的旋轉(zhuǎn)盤控制系統(tǒng)設(shè)計.pdf

1、隨著國內(nèi)以LED產(chǎn)業(yè)為代表的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，我國對MOCVD設(shè)備的需求量不斷增大。但是目前我國的MOCVD設(shè)備主要來自于國外，價格昂貴。在這樣的行情下，我國將MOCVD設(shè)備技術(shù)研究列為國家科技發(fā)展的重要客課題。
　　旋轉(zhuǎn)盤是MOCVD反應(yīng)室的核心部件，是半導(dǎo)體外延片生長的基座。在半導(dǎo)體外延片生長的過程中，由于旋轉(zhuǎn)盤自身的材質(zhì)及其他影響因素，旋轉(zhuǎn)盤運(yùn)動時極易發(fā)生振動，從而影響半導(dǎo)體外延片的生長。在復(fù)雜的環(huán)境場下，旋轉(zhuǎn)盤振動呈現(xiàn)

2、非線性特征，使得旋轉(zhuǎn)盤振動補(bǔ)償變得異常復(fù)雜。本論文以“基于LS_SVM的旋轉(zhuǎn)盤控制系統(tǒng)技術(shù)”為題，以提高旋轉(zhuǎn)盤運(yùn)動的平穩(wěn)性為目標(biāo)，重點(diǎn)研究了旋轉(zhuǎn)盤振動影響因素、旋轉(zhuǎn)盤振動補(bǔ)償?shù)腖S_SVM預(yù)測建模及方法實(shí)現(xiàn)、旋轉(zhuǎn)盤運(yùn)動控制系統(tǒng)的設(shè)計方案。論文的主要研究內(nèi)容包括：
　　(一)旋轉(zhuǎn)盤振動影響因素眾多，而且這些振動影響因素來源是不一樣的，導(dǎo)致引起旋轉(zhuǎn)盤振動的原因不明確。針對這一問題，從旋轉(zhuǎn)盤運(yùn)動力學(xué)研究著手，分析旋轉(zhuǎn)盤振動影響因素，指出