霧化法沉積擴(kuò)散源和輥式擴(kuò)散的研究.pdf

1、擴(kuò)散是晶硅太陽電池制造的一個(gè)基本工藝步驟，擴(kuò)散的質(zhì)量直接影響太陽電池的光電轉(zhuǎn)換性能。目前常規(guī)產(chǎn)線中主要采用管式擴(kuò)散形成PN結(jié)，管式擴(kuò)散時(shí)氣體流動(dòng)性和管內(nèi)熱分布會(huì)影響擴(kuò)散的均勻性；國外一些研究單位也報(bào)道了采用不銹鋼金屬網(wǎng)帶的鏈?zhǔn)綌U(kuò)散技術(shù)，但效率普遍低于產(chǎn)線電池，并認(rèn)為其原因可能是金屬網(wǎng)帶造成的金屬污染。
　　本論文介紹了太陽電池的基本理論、晶體硅太陽電池的工藝和相關(guān)測試技術(shù)，并利用理論模擬分析得出：為了提高電池效率，需要比目前產(chǎn)業(yè)界

2、的80-90Ω/□更高的方塊電阻和適當(dāng)?shù)慕Y(jié)深，論文的重點(diǎn)工作是利用輥式擴(kuò)散設(shè)備制備高質(zhì)量的PN結(jié)和電池。具體方法是采用廉價(jià)的磷酸水溶液代替產(chǎn)業(yè)界的三氯氧磷，并研制了一種霧化沉積裝置，在室溫下實(shí)現(xiàn)了擴(kuò)散源在硅片表面的均勻涂覆；在輥式設(shè)備上進(jìn)行了高溫再分布（擴(kuò)散）實(shí)驗(yàn)，通過改變擴(kuò)散溫度和時(shí)間在保證均勻性的情況下實(shí)現(xiàn)了將擴(kuò)散結(jié)方塊電阻在60-130Ω/□且擴(kuò)散深度在0.1-0.5μm可控；通過電化學(xué)電容-電壓法（Electrochemical