2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩215頁未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、硅通孔(TSV,Through Silicon Via)技術(shù)是一項顛覆性的技術(shù),它通過在通孔內(nèi)填充銅、鎢、多晶硅等導(dǎo)電物,以實現(xiàn)硅通孔的垂直電氣互連,突破平面集成技術(shù)的瓶頸,實現(xiàn)沿Z軸方向的三維集成,成為延續(xù)和拓展摩爾定律(More than Moore Law)的重要研究方向和解決方案,為滿足器件小型化、高性能的迫切需求提供了可能性。目前TSV技術(shù)仍不是很成熟,只有少數(shù)高端產(chǎn)品量產(chǎn)化。硅通孔技術(shù)仍舊面臨著技術(shù)和工藝挑戰(zhàn),還需要進(jìn)一步系

2、統(tǒng)深入地研究。
  本論文以TSV填充機(jī)理研究和應(yīng)用開發(fā)為目標(biāo),開展對TSV填充機(jī)理、模擬和實驗研究;通過對Cu-TSV微結(jié)構(gòu)分析、填充影響因素分析、填充工藝優(yōu)化,以提高Cu-TSV性能和可靠性;最后圍繞新型硅基 TSV轉(zhuǎn)接板制備工藝開發(fā)等開展基礎(chǔ)性研究。本論文主要工作包括以下幾個方面:
  為增強(qiáng)對TSV專用添加劑性能的進(jìn)一步了解,以便建立TSV填充模型,利用電化學(xué)工作站對添加劑性能進(jìn)行了測試。利用XRD技術(shù)對鍍層的織構(gòu)進(jìn)

3、行了表征,并研究了添加劑種類、電流密度大小、種子層等對鍍層織構(gòu)的影響。
  利用COMSOL Multiphysics軟件平臺,通過研究TSV填充過程中各個要素,提出了擴(kuò)散-吸附-脫附-夾雜理論。將擴(kuò)散-吸附-脫附-夾雜理論和任意拉格朗日-歐拉法(ALE)結(jié)合在一起,并考慮了強(qiáng)制對流和孔內(nèi)含氧量等因素,建立了TSV填充模型,并對各添加劑濃度下TSV填充模式演變和填充過程中孔內(nèi)各物質(zhì)傳質(zhì)過程進(jìn)行了模擬。針對不同孔結(jié)構(gòu)和孔尺寸的TSV

4、對填充效果的影響也進(jìn)行了相應(yīng)的模擬研究。最后將模擬結(jié)果與實際填孔實驗作對比,驗證了模型的合理性。
  將微區(qū)XRD技術(shù)應(yīng)用于Cu-TSV微區(qū)織構(gòu)表征,根據(jù)不同區(qū)域(111)織構(gòu)系數(shù)的變化,計算出沿孔深方向上添加劑分布規(guī)律,闡述了 TSV的“V”型填充機(jī)理。采用電化學(xué)測試、模擬仿真、形貌分析等方法,進(jìn)一步證實了當(dāng)局部電流密度大于臨界電流密度時,孔底部發(fā)生添加劑脫附現(xiàn)象,并對“Bottom-Up”填充模式進(jìn)行了闡述。針對影響TSV填充

5、最為突出的幾個因素(外部強(qiáng)制對流、孔尺寸大小、電場強(qiáng)度分布、鍍液溫度、種子層厚度、預(yù)潤濕效果、扇貝結(jié)構(gòu)等),通過模擬仿真和填孔實驗進(jìn)行了深入的研究。采用電子背散射衍射(EBSD)技術(shù),對Cu-TSV微結(jié)構(gòu)進(jìn)行了表征,并根據(jù)測試結(jié)果對TSV填充過程中孔內(nèi)添加劑分布規(guī)律進(jìn)行了分析。
  針對TSV填充工藝進(jìn)行了優(yōu)化,實現(xiàn)了同一晶圓上不同深寬比TSV的同步無孔洞填充。提出了 TSV多步填充工藝,在預(yù)潤濕的電解質(zhì)溶液中添加過量的加速劑,使

6、加速劑在預(yù)潤濕階段提前進(jìn)入盲孔內(nèi)并吸附在孔內(nèi)壁上,然后將預(yù)潤濕的芯片放入只含有抑制劑的鍍液中電鍍,既實現(xiàn)了“Bottom-Up”填充模式,又提高了填孔效率。
  將干膜光刻膠和硅通孔填充工藝結(jié)合在一起,開發(fā)出了快速高效制備硅基 TSV轉(zhuǎn)接板的新方法-干膜光刻膠選擇性屏蔽雙向填充法,此方法簡化了工藝步驟,降低了工藝成本,提高了TSV電氣互連的可靠性。
  通過以上對TSV填充機(jī)理研究、盲孔和通孔模擬仿真、影響因素分析、填充工藝

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論