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文檔簡介
1、 本文的研究工作是圍繞大功率器件的硅-硅直接鍵合技術(shù)展開的:研究鍵合工藝機理以消除界面空洞,研究工藝模型以模擬鍵合過程中雜質(zhì)分布和對鍵合技術(shù)制備高壓大功率p-i-n二極管的研究?! ”疚难芯苛斯?硅直接鍵合技術(shù)的工藝機理,提出了高溫退火的“開合”過程。通過大量的實驗和理論分析發(fā)現(xiàn),在高溫(900℃以上)退火的過程中,鍵合界面應該有一個時間很短的“開合”過程,這個過程與鍵合界面空洞的產(chǎn)生機制密切相關,如果“開合”過程不充分,鍵合界面就
2、會產(chǎn)生空洞,并且不容易消除;研究了硅-硅直接鍵合工藝模型;研究了鍵合技術(shù)制備高壓大功率p-i-n二極管的疏水鍵合技術(shù),與外延技術(shù)相比較,鍵合技術(shù)有獨特的優(yōu)勢:雜質(zhì)分布陡、N-或P-層缺陷密度小、少子壽命長、串聯(lián)電阻小。經(jīng)過流片實驗證明,鍵合襯底制備的高壓p-i-n二極管的電學性能明顯優(yōu)于外延襯底。另外,為了避免界面的缺陷對器件性能的影響,對鍵合工藝進行改進,利用反外延技術(shù)和硅-硅直接鍵合技術(shù)制備SOI襯底的優(yōu)點,提出了一種新結(jié)構(gòu)的襯底,
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