光柵矢量衍射的新方法研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著加工技術(shù)的日益更新,尤其是微加工工藝的出現(xiàn),儀器的光、機(jī)、電集成化與微型化是一個必然的發(fā)展趨勢,因此微光學(xué)受到越來越多學(xué)者的關(guān)注和重視.目前,處理亞波長光柵所必須的矢量衍射數(shù)值計算方法,尤其是傅立葉模式方法、瑞利方法以及坐標(biāo)變換法這幾種最為廣泛使用的方法都已經(jīng)逐步成熟和完善,但是每一種方法的缺點也是十分明顯的.該論文在深入研究了上述幾種算法的基礎(chǔ)上,提出了一種綜合處理光柵矢量衍射問題的新方法,這種方法巧妙地結(jié)合了瑞利方法、傅立葉模式

2、方法、坐標(biāo)變換法各自獨立處理光柵矢量衍射問題的優(yōu)勢,摒棄了它們最主要的缺點,從而不僅大大簡化了處理光柵問題的理論推導(dǎo),而且大幅度地減少了計算量,我們把這種方法稱為Waterman-Fourier-Chandezon Method(簡稱WFCM),其中我們采用傅立葉因式分解規(guī)則和反射透射系數(shù)陣遞推算法來提高數(shù)值計算的收斂速度和克服層與層之間由于厚度變大所帶來的數(shù)值計算不穩(wěn)定性.在WFCM的基礎(chǔ)上,獨立地編制了一套完整的計算程序,該程序計算

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