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文檔簡介
1、本文研究了緩沖層和退火工藝對Ni_(74)Co_(26)薄膜AMR的影響,就不同緩沖層和不同溫度退火后NiCo薄膜AMR值的變化做出了比較和分析,為較薄NiCo薄膜的AMR值的提高和實(shí)際應(yīng)用提供了參考數(shù)據(jù)。取得的結(jié)果可歸納如下:(1)制備了(Ni_(81)Fe_(19))_(66)Cr_(34)(xnm)/Ni74Co~(20nm)薄膜,考察了緩沖層厚度對薄膜的影響。結(jié)果表明隨著NiFeCr緩沖層增厚,NiCo薄膜AMR值增加,當(dāng)緩沖層
2、厚度達(dá)到5nm時(shí)其AMR值達(dá)到最大,而后NiCo薄膜AMR值隨著緩沖層厚度的增大開始減小,當(dāng)緩沖層厚度超過9nm后,薄膜AMR值迅速減小。(2)制備了NiFeCr(5nm)/NiCo(xnm)/Ta(3nm);Ta(5nm)/NiCo(xnm)/Ta(3nm)兩組樣品,比較了NiFeCr和Ta做緩沖層對NiCo薄膜各向異性磁電阻的影響。結(jié)果表明無論用NiFeCr還是Ta做緩沖層,NiCo薄膜的各向異性磁電阻都隨著NiCo薄膜厚度的減小而
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