移相干涉術中波面計算方法以及移相器校正技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、移相干涉術(PSI)作為快速、非接觸的精密測量手段,已經(jīng)廣泛地應用于光學零件、光學系統(tǒng)、精密表面的檢測和其它與光程差參數(shù)相關的物理量的測量(如溫度場、密度場等).該文首先介紹了移相干涉術的基本原理和特點,對其中的一些關鍵技術問題進行了研究.論文在對波面解包進行了詳細理論分析的基礎上,設計了相位解包算法,編制程序?qū)嶒灁?shù)據(jù)進行了處理.提出了分析靜態(tài)干涉圖的新方法——虛光柵莫爾條紋法,該方法把移相干涉術和莫爾條紋法兩者相結(jié)合,能夠有效的解決

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