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文檔簡介
1、文中主要開展了如下工作:首先,論文對波長移相技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r進行了概述,并總結(jié)了傳統(tǒng)硬件移相技術(shù)的特點,分析了波長移相技術(shù)的優(yōu)缺點,指出了算法中需要解決的重點問題.其次,該文對兩類算法進行了重點研究和分析:用于精細輪廓測量并可以實現(xiàn)多表面干涉測量的加權(quán)多步波長移相算法和用于臺階測量的時域傅立葉變換波長移相算法.該文闡述了兩類算法的思想、設(shè)計理論和具體設(shè)計過程,并進行了詳細的模擬分析.第三,構(gòu)建了一臺波長移相干涉儀,利用兩類算法對平晶表面、
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