石英微機械振動陀螺薄膜相關技術研究.pdf

1、目前，石英微機械振動陀螺是慣性技術與微機械加工技術相結(jié)合的產(chǎn)物，它最突出的特點是采用了固態(tài)電子工業(yè)開發(fā)的微電子加工技術來加工振動元件。這種陀螺還具有以下的特點：體積小、重量輕、可靠性高，并且結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、適合大批量生產(chǎn)、可構(gòu)成微小型低價格的GPS組合慣性導航定位系統(tǒng)。隨著社會的發(fā)展，為了滿足各種不同應用的需求，進一步擴展市場，石英微機械振動陀螺必須向小型化、高精度及低成本的方向發(fā)展。
　　陀螺振子是石英微機械振動陀螺儀中的核

2、心器件。目前，加工的石英微機械振動陀螺振子的重要參數(shù)Q值、頻差、零位電壓等性能指標制約著陀螺的批量化、規(guī)?；纳a(chǎn)。石英微機械陀螺振子的加工需要很多工序：基片鍍膜、光刻、刻蝕、側(cè)面鍍膜、裝配等。每道工序?qū)ν勇菡褡拥募庸ざ贾匾?，然而鍍膜工藝則是微加工過程中非常重要的中間環(huán)節(jié)。
　　首先，對石英微機械陀螺的工作機理及微觀理論分析研究。通過理論研究，合理地設計陀螺振子正、反兩面以及側(cè)面電極的布局和膜層寬度尺寸。其次，對石英微機械陀螺的薄