靜、動載荷下薄膜結(jié)構(gòu)屈曲行為的實驗研究.pdf

1、隨著材料薄膜技術(shù)的迅猛發(fā)展，膜層材料在許多工程領域中得到廣泛應用，國內(nèi)外學者對沉積膜層的脫層與屈曲問題日益關注。在微納米機電系統(tǒng)器件中，脫層與屈曲是主要破壞形式，本文的主要工作就是研究和分析討論沉積在有機玻璃基底上的不同厚度的鈦薄膜和鎳薄膜，在外加軸向靜載荷和外加軸向沖擊載荷作用下的屈曲過程，這一工作對于其壽命預測具有重要意義。 在本文中，用OLYMPUS顯微鏡詳細觀測了薄膜表面在靜載荷施加過程中隨著載荷變化屈曲產(chǎn)生及擴展的過程

2、，對同一試件進行多次循環(huán)加卸載，得到了在重復載荷作用下薄膜表面屈曲產(chǎn)生及擴展與施加載荷的關系，并分析了屈曲產(chǎn)生及擴展的機理。對試件施加大的靜載荷，分析了所產(chǎn)生的屈曲的性質(zhì)及原因。另外，還對Ti/Ni多層膜施加靜載荷，觀察了屈曲的產(chǎn)生及擴展，并與單層膜的實驗情況進行了對比。 為了研究在軸向沖擊載荷作用下薄膜表面的屈曲行為，我們設計了落錘沖擊加載裝置和擺錘沖擊加載裝置。在實驗中，對不同厚度和不同材料的薄膜進行了沖擊加載，為了得到?jīng)_擊