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1、等離子體鞘層在等離子體材料表面改性、合成薄膜及刻蝕等工藝中發(fā)揮著積極的作用,研究鞘層的特性對(duì)控制等離子體鞘層環(huán)境、促進(jìn)等離子體工藝技術(shù)的發(fā)展具有重要的意義.在等離子體鞘層的研究工作中存在一些問(wèn)題.針對(duì)這些問(wèn)題,我們建立一個(gè)一維坐標(biāo)空間三維速度空間的斜磁場(chǎng)作用下的等離子體鞘層物理模型.用流體方法數(shù)值模擬了電子離子磁鞘和電負(fù)性磁鞘的結(jié)構(gòu),分析了鞘層的特性和磁場(chǎng)的影響.然后將等離子體直流磁鞘的研究工作擴(kuò)展到應(yīng)用廣泛的等離子體射頻磁鞘,分析了射
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