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文檔簡介
1、旋轉(zhuǎn)對稱結構微型殼體振動陀螺具有精度高,帶寬寬,動態(tài)范圍大,品質(zhì)因數(shù)高以及抗干擾等潛在優(yōu)異的性能,引起了國內(nèi)外學者廣泛的研究興趣。目前,國內(nèi)相關方面的研究還比較少,與國外差距比較大。微型殼體振動陀螺制造的核心仍是諧振結構加工工藝問題,加工工藝的難易制約著微型殼體振動陀螺的發(fā)展。本文主要圍繞著微型殼體振動陀螺諧振結構的加工工藝問題,研究了不同材料的微型殼體振動陀螺諧振結構的加工工藝,旨在探索出一種加工相對簡單、工藝一致性較好的微型殼體振動
2、陀螺加工工藝。本文主要從以下幾個方面開展研究工作:
1.介紹了微型殼體振動陀螺的主要結構形式和工作原理,并理論分析了基于靜電驅(qū)動和電容檢測的微型殼體振動陀螺的固有振型。
2.分析了激光刻蝕技術的基本原理,研究了激光加工參數(shù)對單晶金剛石刻蝕質(zhì)量的影響?;诩す饪涛g工藝,實現(xiàn)了單晶金剛石的微型殼體振動陀螺微杯形諧振結構的加工并分析了激光刻蝕加工諧振結構的技術特點。
3.闡述了硅各向同性濕法腐蝕的基本原理,實現(xiàn)了
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