環(huán)式徑向剪切干涉測(cè)量系統(tǒng)研究.pdf

1、波面剪切干涉技術(shù)是利用待測(cè)波面自身的干涉，它是利用一定的裝置將具有空間相干性的待測(cè)波面分割成兩個(gè)相同或相似的波面，并在這兩個(gè)波面之間產(chǎn)生一定的空間錯(cuò)位，在其重疊區(qū)域產(chǎn)生干涉條紋。與傳統(tǒng)的干涉儀如Twyman-Green干涉儀相比較，剪切干涉儀不但具有靈敏度高、精度高、測(cè)量非接觸性等共同優(yōu)點(diǎn)，而且還具有其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。剪切干涉儀屬于等程干涉，對(duì)光源無(wú)特殊要求，即便是白光光源也比較容易得到對(duì)比度較高的剪切干涉圖。因其參考光和物光共光路，無(wú)需設(shè)

2、置專門的參考光路，對(duì)溫度升降、空氣擾動(dòng)、機(jī)械振動(dòng)都不敏感。大多數(shù)剪切干涉儀不受口徑限制，從理論上講，添加一定的輔助元件可以檢測(cè)任何口徑的元件。徑向剪切干涉儀可以從單幅干涉圖得到原始波前的相關(guān)信息。因此，對(duì)徑向剪切干涉儀進(jìn)行研究具有重要現(xiàn)實(shí)意義。
　　本研究主要內(nèi)容包括：⑴論述了徑向剪切干涉相比傳統(tǒng)干涉儀的優(yōu)點(diǎn)，國(guó)內(nèi)外關(guān)于徑向剪切干涉技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀，在此基礎(chǔ)上給出環(huán)式徑向剪切干涉測(cè)量系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)；⑵列出了波面剪切干涉技術(shù)的基本方式

3、，分析了徑向剪切干涉基本原理及徑向剪切干涉基本類型；⑶通過(guò)分析靈敏度與剪切比的關(guān)系，分析望遠(yuǎn)系統(tǒng)放大倍率與剪切比的關(guān)系，設(shè)計(jì)了一個(gè)變焦望遠(yuǎn)系統(tǒng)，并利用此變焦望遠(yuǎn)系統(tǒng)對(duì)徑向剪切干涉儀的剪切比進(jìn)行了選擇；⑷分別對(duì)環(huán)式徑向剪切干涉測(cè)量系統(tǒng)的各部件進(jìn)行設(shè)計(jì)，包括分光鏡、激光擴(kuò)束系統(tǒng)、望遠(yuǎn)系統(tǒng)、壓束系統(tǒng)。并給出了環(huán)式徑向剪切干涉系統(tǒng)的系統(tǒng)裝配圖；⑸利用ZEMAX非序列空間對(duì)環(huán)式徑向剪切干涉系統(tǒng)進(jìn)行了仿真模擬，分析了望遠(yuǎn)系統(tǒng)的影響。給出了三種剪切光