共光路徑向剪切干涉測量技術(shù)的研究及應(yīng)用.pdf

1、共光路徑向剪切干涉技術(shù)是將待測波面由徑向剪切干涉儀分別放大或縮小成不同倍數(shù)的兩波面后在相互重疊區(qū)域產(chǎn)生干涉，然后通過干涉條紋對波前的相位分布進行檢測的一種干涉計量技術(shù)。與其他經(jīng)典的雙光束干涉計量技術(shù)如Fizeau干涉、Twyman-Green干涉相比較，徑向剪切干涉計量技術(shù)除具有高精度的優(yōu)點外，還具有在光路中不需要設(shè)置專門的參考光，對環(huán)境擾動和機械振動不敏感的優(yōu)點。 本文提出一種新的基于雙Fresnel波帶片徑向剪切干涉法測量三

2、維溫度場，三維溫度場由不同溫度的平行加熱雙棒提供，通過兩塊焦距不同的波帶片實現(xiàn)剪切干涉，采用光學(xué)層析技術(shù)重建三維溫度場。在三維溫度場的重建中，由于測試數(shù)據(jù)的非完全性，通常采用的代數(shù)迭代算法不能很好地解決重建精度這一問題。為此，在算法中引入了包含先念知識的屬性矩陣，采用了變超松弛系數(shù)重建三維溫度場。計算結(jié)果表明，引入了屬性矩陣和變超松弛系數(shù)的迭代算法能夠更好地重建三維溫度場。 本文還就徑向剪切干涉儀用于非球面透鏡的波面檢測進行了研