共光路徑向剪切干涉測(cè)量技術(shù)的研究及應(yīng)用.pdf

1、共光路徑向剪切干涉技術(shù)是將待測(cè)波面由徑向剪切干涉儀分別放大或縮小成不同倍數(shù)的兩波面后在相互重疊區(qū)域產(chǎn)生干涉，然后通過干涉條紋對(duì)波前的相位分布進(jìn)行檢測(cè)的一種干涉計(jì)量技術(shù)。與其他經(jīng)典的雙光束干涉計(jì)量技術(shù)如Fizeau干涉、Twyman-Green干涉相比較，徑向剪切干涉計(jì)量技術(shù)除具有高精度的優(yōu)點(diǎn)外，還具有在光路中不需要設(shè)置專門的參考光，對(duì)環(huán)境擾動(dòng)和機(jī)械振動(dòng)不敏感的優(yōu)點(diǎn)。 本文提出一種新的基于雙Fresnel波帶片徑向剪切干涉法測(cè)量三

2、維溫度場(chǎng)，三維溫度場(chǎng)由不同溫度的平行加熱雙棒提供，通過兩塊焦距不同的波帶片實(shí)現(xiàn)剪切干涉，采用光學(xué)層析技術(shù)重建三維溫度場(chǎng)。在三維溫度場(chǎng)的重建中，由于測(cè)試數(shù)據(jù)的非完全性，通常采用的代數(shù)迭代算法不能很好地解決重建精度這一問題。為此，在算法中引入了包含先念知識(shí)的屬性矩陣，采用了變超松弛系數(shù)重建三維溫度場(chǎng)。計(jì)算結(jié)果表明，引入了屬性矩陣和變超松弛系數(shù)的迭代算法能夠更好地重建三維溫度場(chǎng)。 本文還就徑向剪切干涉儀用于非球面透鏡的波面檢測(cè)進(jìn)行了研