簡介：二灰碎石基層施工工藝技術(shù)與質(zhì)量控制要點(diǎn)摘要二灰碎石路面基層屬于半剛性路面，因其具有整體彈度高、具有良好的力學(xué)性能、承載力強(qiáng)、剛度大、水穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，在我國已廣泛應(yīng)用于公路及市政道路建設(shè)，作為道路的承重層。其結(jié)構(gòu)層施工質(zhì)量的好壞直接影響道路的使用壽命，筆者從多年的施工實(shí)踐，簡要的分析二灰碎石施工工藝技術(shù)與質(zhì)量控制的幾個(gè)要點(diǎn)。關(guān)鍵詞二灰碎石工藝技術(shù)質(zhì)量控制要點(diǎn)ABSTRACTGRASSROOTSOFTHETWOGRAYGRAVELROADWASASEMIRIGIDPAVEMENTBECAUSEITHASTHEOVERALLBOMBHIGHWITHGOODMECHANICALPROPERTIESBEARINGCAPACITYSTIFFNESSGOODWATERSTABILITYINCHINAHASBEENWIDELYUSEDINHIGHWAYMUNICIPALROADCONSTRUCTIONASTHELOADBEARINGLAYEROFTHEROADSTRUCTURELAYERCONSTRUCTIONQUALITYWASDIRECTLYIMPACTONTHELIFEOFTHEROADIPRACTICEFROMMANYYEARSOFCONSTRUCTIONANALYZESTHECONSTRUCTIONTECHNOLOGYQUALITYCONTROLOFTWOGRAYGRAVELKEYWDSTWOGRAYGRAVELTECHNOLOGYQUALITYCONTROLPOINTS中圖分類號(hào)U41611文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼A文章編號(hào)1編制專項(xiàng)施工方案開工前由項(xiàng)目總工按照項(xiàng)目施工組織設(shè)計(jì)的總體規(guī)劃，及時(shí)編制專二灰碎石的工程性質(zhì)與原材料密切相關(guān)，原材料質(zhì)量狀況直接影響二灰碎石的施工性能，是其影響二灰碎石質(zhì)量的關(guān)鍵因素。41、石灰的質(zhì)量與品種石灰質(zhì)量對(duì)二灰碎石強(qiáng)度要求至關(guān)重要。JTJ0342000規(guī)范規(guī)定石灰質(zhì)量應(yīng)符合Ⅲ級(jí)消石灰或Ⅲ級(jí)生石灰的技術(shù)指標(biāo)，或有效鈣含量在20以上的其它石灰。實(shí)踐證明，在施工時(shí)應(yīng)盡量選用等級(jí)高的石灰，因?yàn)樵谕瑯觿┝肯拢燃?jí)高的石灰，有更多的活性氧化物起作用，穩(wěn)定效果會(huì)更好；石灰的等級(jí)愈高，消解后細(xì)度愈大，比表面積也愈大，與粉煤灰化學(xué)作用愈充分，結(jié)成板體的效果更佳。使用鈣質(zhì)石灰施工的基層初期強(qiáng)度高于鎂質(zhì)石灰的基層強(qiáng)度，鎂質(zhì)石灰的后期強(qiáng)度增長好于鈣質(zhì)石灰。另外，石灰的存放期，消解天數(shù)及消解程度和施工前消解石灰是否過篩也不同程度影響石灰的使用質(zhì)量和效果。42粉煤灰的質(zhì)量要求粉煤灰的主要成分是SIO2、AL2O3、FE2O3，其含量越大，對(duì)二灰碎石越有利。規(guī)范規(guī)定，這種總含量應(yīng)大于70。粉煤灰的燒失量不應(yīng)越過20。顆粒比表面積宜大于2500CG。施工企業(yè)使用其材料應(yīng)重視對(duì)粉煤灰的檢測。燒失量過大會(huì)降低混合料的強(qiáng)度，基本難以成型。使用這種粉煤灰，必須增加石灰用量保證基層強(qiáng)度。因此要做好檢驗(yàn)工作。使用高鈣灰應(yīng)適當(dāng)減少石灰的劑量，這樣在保證質(zhì)量的前提下能降低成本投入提高經(jīng)濟(jì)效益。43粗集料二灰碎石的粗集料在基層結(jié)構(gòu)中起到骨架作用，對(duì)石粒料最主要的

簡介：煤氣凈化工藝與技術(shù),,11煤氣凈化在煉焦生產(chǎn)中的意義與作用,煤是人類最早利用，而且目前仍然得到最廣泛利用的能源之一。人類利用煤炭資源主要有以下方法⑴燃燒將煤直接燃燒以獲得熱能，如用煤加熱食物、加熱鍋爐生產(chǎn)蒸汽發(fā)電等。⑵氣化將煤控制在一定條件不完全燃燒以生產(chǎn)煤氣，如發(fā)生爐煤氣、水煤氣等。⑶液化將煤在高溫高壓的條件下進(jìn)行裂解和精制制取液體燃料，如汽油等。⑷干餾將煤在隔絕空氣條件下加熱使其分解，生產(chǎn)焦炭、煤氣和各種化工產(chǎn)品。焦炭和煤氣是鋼鐵生產(chǎn)、機(jī)械制造和化工合成工業(yè)的重要原料和燃料。從煤氣中回收的化合物主要有氨、粗苯、硫磺和焦油等。煉焦化學(xué)工業(yè)是煤炭的綜合利用工業(yè)，在煤的各種利用方法中，煉焦工藝對(duì)煤的利用程度最高。煤在煉焦時(shí)，約有75左右變成焦炭，另外25左右則變成煤氣和化工產(chǎn)品。,返回,12煉焦生產(chǎn)基本工藝,焦化生產(chǎn)一般由備煤、煉焦、煤氣凈化和生產(chǎn)輔助設(shè)施組成。備煤車間的任務(wù)是為焦?fàn)t制備符合煉焦用煤質(zhì)量要求的煤料。備煤車間一般由卸煤、貯煤、配煤、粉碎等工段及帶式輸送機(jī)等組成。有的焦化廠還有洗煤工段。煉焦車間是將煤加熱煉制成焦炭和煤氣。煉焦車間一般由煉焦、熄焦和篩焦（焦處理）工段組成。有的大型焦化廠還建有干熄焦裝置。煤氣凈化車間是將焦?fàn)t生產(chǎn)的粗煤氣進(jìn)行凈化并回收化工產(chǎn)品。煤氣凈化車間一般由冷鼓、脫硫、脫氨、脫苯和污水處理等工段組成。生產(chǎn)輔助設(shè)施包括供水、供電、供汽及產(chǎn)品的檢化驗(yàn)等。,13焦化產(chǎn)品生成過程,將煤裝入焦?fàn)t炭化室后，在隔絕空氣的條件下對(duì)其進(jìn)行加熱，在高溫作用下，煤質(zhì)逐步發(fā)生一系列的物理和化學(xué)變化。裝入煤在200℃以下蒸出表面水分，同時(shí)析出吸附在煤中的二氧化碳、甲烷等氣體。隨著溫度的升高，煤開始軟化和熔融形成膠體狀物質(zhì)（稱為膠質(zhì)層），并分解產(chǎn)生氣體和液體。在600℃以前，從膠質(zhì)層中析出的蒸汽和氣體叫做初次分解產(chǎn)物，主要含有甲烷、一氧化碳、二氧化碳、化合水及初次焦油氣等，含氫量很低。溫度繼續(xù)升高，膠質(zhì)層開始固化形成半焦。揮發(fā)物從半焦中逸出，進(jìn)一步分解形成新的產(chǎn)物，如氮與氫生成氨，硫與氫生成硫化氫，碳與氫則生成一系列的碳?xì)浠衔锛案邷亟褂偷?。溫度繼續(xù)升高，隨著半焦中的揮發(fā)物不斷逸出，半焦則收縮并變成焦炭。通常情況下，炭化室中焦炭成熟的最終溫度為9501050℃，焦炭中殘余的揮發(fā)分含量為12。,14焦化產(chǎn)品的產(chǎn)率,煉焦生產(chǎn)過程中，焦炭與各種化學(xué)產(chǎn)品的產(chǎn)率是隨煉焦用煤的質(zhì)量和煉焦時(shí)各種工藝制度的變化而變化的，焦炭與化學(xué)產(chǎn)品的產(chǎn)率如下（對(duì)干煤）焦炭7578凈煤氣1519焦油2445化合水24粗苯0814氨025035硫化氫0105氰化氫005007吡啶類00150025,15影響焦化產(chǎn)品產(chǎn)率和質(zhì)量的因素,影響煉焦化學(xué)產(chǎn)品產(chǎn)率和質(zhì)量的因素主要是煉焦煤的質(zhì)量和焦?fàn)t操作的各項(xiàng)工藝制度。裝入炭化室的煉焦煤的質(zhì)量是決定各種產(chǎn)品產(chǎn)率和質(zhì)量的主要因素，其中煤料中揮發(fā)分含量及煤料中的氧、氮、硫等元素對(duì)化學(xué)產(chǎn)品的產(chǎn)率和質(zhì)量的影響最大。配煤的揮發(fā)分高，焦油、粗苯以及煤氣的產(chǎn)率就高。煤料中含氧量高，煉焦過程中產(chǎn)生的化合水量就多，煉焦煤的含氮量一般在2左右。在煉焦過程中，60左右的氮?dú)埓嬗诮固恐校?520的氮與氫反應(yīng)生成氨，其余部分則生成氰化氫、吡啶和其他含氮化合物。煤中硫的含量決定了煤氣和焦油中硫化物的含量，通常干煤含硫量在0512，其中2045轉(zhuǎn)入煤氣中，配合煤的揮發(fā)分越高，煉焦?fàn)t溫越高，轉(zhuǎn)入煤氣中的硫就越多。煉焦煤氣的產(chǎn)率主要取決于煉焦煤料的揮發(fā)分，揮發(fā)分越高，煤氣產(chǎn)率就越大。,15影響焦化產(chǎn)品產(chǎn)率和質(zhì)量的因素,在煉焦煤料性質(zhì)穩(wěn)定的情況下，煉焦操作及加熱制度的變化對(duì)煉焦化學(xué)產(chǎn)品的質(zhì)量和產(chǎn)率也有一定的影響。通常情況下，煉焦?fàn)t溫越高，初次分解產(chǎn)物在與爐墻接觸時(shí)產(chǎn)生的二次裂解就越多，其結(jié)果是焦油中的酚類及中性油類的含量降低，而萘、蒽、瀝青和游離碳的含量增加，焦油的密度增大；當(dāng)二次裂解溫度超過800℃時(shí)，在苯類產(chǎn)品中，甲苯、二甲苯等產(chǎn)率減少，苯產(chǎn)率增高。此外，炭化室爐頂空間溫度過高會(huì)造成煉焦化學(xué)產(chǎn)品的二次裂解加劇。若由于裝煤不滿而造成爐頂空間溫度在全過程中偏高，則會(huì)降低焦油、苯和氨的產(chǎn)率，并增加化合水和氰化物的產(chǎn)率，同時(shí)還會(huì)造成甲烷和烴類分解，使煤氣中的氫含量增加，煤氣的熱值下降。焦?fàn)t的壓力制度對(duì)煉焦化學(xué)產(chǎn)品的產(chǎn)率也產(chǎn)生一定的影響。炭化室內(nèi)的壓力大，增大了煤氣泄漏的可能，炭化室內(nèi)負(fù)壓則會(huì)吸入空氣，部分化學(xué)產(chǎn)品在炭化室內(nèi)被燒掉，結(jié)果是煤氣的數(shù)量與質(zhì)量均會(huì)發(fā)生變化。,16煤氣的組成,粗煤氣經(jīng)回收化學(xué)產(chǎn)品和凈化后即為凈煤氣，其組成如下（體積）氫氣（H2）5459甲烷（CH4）2428一氧化碳（CO）57氮?dú)猓∟2）35二氧化碳（CO2）13烴類（CNHM）23氧氣（O2）0307凈焦?fàn)t煤氣的熱值為1758018420KJ/M3，密度為045048KG/M3,爆炸極限630,17煤氣凈化與化工產(chǎn)品回收,粗煤氣含有各種雜質(zhì)，必須經(jīng)過凈化以后才可利用。根據(jù)煤氣用戶不同，煤氣凈化的程度也有一定的差異。一般來說，工業(yè)用煤氣的凈化程度要差一些，民用煤氣的凈化程度則要求較高。煤氣凈化的任務(wù)是冷卻煤氣，并回收煤氣中的焦油、氨、硫、苯等化工產(chǎn)品。煤氣凈化的過程一般包括冷卻、輸送、焦油分離、脫硫、脫氨、洗苯幾個(gè)工序，民用煤氣還要增加精脫萘和精脫硫。根據(jù)煤氣凈化工藝流程不同，煤氣凈化車間一般有冷凝鼓風(fēng)工段、脫硫工段、硫銨（或水洗氨）工段、粗苯工段、污水處理工段組成。煤氣凈化過程中回收的化工產(chǎn)品主要有焦油、粗苯、硫銨（或無水氨）和硫磺等。,18化工產(chǎn)品精制,焦化廠化工產(chǎn)品精制主要是指焦油加工和粗苯精制。焦油加工的任務(wù)就是通過物理和化學(xué)手段將焦油中的各種組分分離出來輕油、酚油、萘油、洗油、蒽油、瀝青等，這些粗產(chǎn)品經(jīng)過進(jìn)一步加工后可得到苯酚、甲酚、二甲酚、純吡啶、甲基吡啶、喹啉、古馬隆樹脂、精萘、精咔唑、蒽醌、改質(zhì)瀝青、針狀焦等高附加值的產(chǎn)品。焦油加工的規(guī)模越大，加工的深度則越深，可提取的產(chǎn)品品種就越多。粗苯加工的任務(wù)是對(duì)粗苯進(jìn)行加工純苯、甲苯、二甲苯和溶劑油等產(chǎn)品。焦?fàn)t煤氣制甲醇,粗苯的精餾工藝,,甲醇馳放氣苯加氫工藝,焦油精制工藝,19煤氣的資源化利用,焦?fàn)t煤氣的利用目前主要是作為燃料用于城市煤氣、工業(yè)窯爐、發(fā)電焦?fàn)t煤氣制甲醇焦?fàn)t煤氣二甲醚,焦?fàn)t煤氣的利用和處理途徑,甲醇馳放氣苯加氫工藝,焦?fàn)t煤氣制甲醇工藝,焦?fàn)t煤氣制取甲醇工藝路線,2國內(nèi)常用的煤氣凈化基本流程,煤氣凈化系統(tǒng)通常由冷凝鼓風(fēng)裝置、脫硫脫氰裝置、脫氨裝置和脫苯裝置等工序組成。不同的煤氣凈化工藝流程主要表現(xiàn)在脫硫和脫氨工藝方案的選擇上。應(yīng)用于焦化行業(yè)的脫氨工藝主要有水洗氨蒸氨濃氨水工藝、水洗氨蒸氨氨分解工藝、冷法無水氨工藝、熱法無水氨工藝、半直接法浸沒式飽和器硫銨工藝、半直接法噴淋式飽和器硫銨工藝、間接法飽和器硫銨工藝和酸洗法硫銨工藝。脫硫工藝主要有干法脫硫和濕法脫硫兩種。濕法脫硫工藝有濕式氧化工藝和濕式吸收工藝兩種。濕式氧化脫硫工藝有以氨為堿源的TH法（TAKAHAX法脫硫脫氰和HIROHAX法廢液處理工藝）、以氨為堿源的FRC法（FUMAKSRHODACS法脫硫脫氰和COMPACS法廢液焚燒、干接觸法制取濃硫酸工藝）、以氨為堿源的HPF法和以鈉為堿源的ADA法等，濕式吸收脫硫工藝有索爾菲班法（單乙醇胺法）和AS法（氨硫聯(lián)合洗滌法）。目前我國已經(jīng)建成的焦化工程中，上述的脫氨和脫硫工藝均有采用。焦?fàn)t大型化、煤氣凈化裝置大型化、設(shè)備大型化、凈化工藝技術(shù)多樣化、產(chǎn)品品種多樣化是技術(shù)發(fā)展的必然結(jié)果。我國目前在大中型焦化廠生產(chǎn)運(yùn)行的煤氣凈化技術(shù)約計(jì)十余種，在此就幾種主要的工藝技術(shù)簡單介紹如下,返回,1）第一種煤氣凈化工藝流程TH法脫硫酸洗法硫銨此流程脫硫采用以煤氣中的氨為堿源，14萘醌二磺酸鈉為催化劑的氧化法脫硫脫氰工藝。在吸收塔用循環(huán)脫硫液洗滌吸收煤氣中的H2S和HCN，吸收了H2S、HCN的循環(huán)脫硫液送再生塔用壓縮空氣進(jìn)行再生，再生的循環(huán)脫硫液送回吸收塔頂部循環(huán)噴灑，一部分循環(huán)脫硫液送入HIROHAX法廢液處理部分。廢液處理部分采用高溫（273℃）高壓（75MPA）濕式氧化法將廢液中的NH42S2O3及NH4SCN轉(zhuǎn)化為硫銨和硫酸作為母液送往硫銨裝置。酸洗法硫銨即無飽和器法生產(chǎn)硫銨。它分為氨的吸收、蒸發(fā)結(jié)晶和分離干燥。凈化后煤氣指標(biāo)為H2S≤02G/M3，NH3≤01G/M3。2）第二種煤氣凈化工藝流程FRC法脫硫冷法無水氨此流程脫硫是以煤氣中的氨為堿源，以苦味酸為催化劑的濕式氧化法脫硫。脫硫廢液與分離的硫磺一起送往制酸裝置制酸。冷法無水氨工藝是用磷銨溶液洗滌煤氣，吸收煤氣中氨后的磷銨溶液送解吸塔用蒸汽解吸，解吸出的氨汽經(jīng)冷凝冷卻后成為濃氨水，濃氨水再送精餾塔用蒸汽進(jìn)行精餾，塔頂精餾出的無水氨氣經(jīng)冷凝后，得到無水氨產(chǎn)品。凈化后煤氣指標(biāo)為H2S≤002G/M3，NH3≤01G/M3。,3）第三種煤氣凈化工藝流程冷法無水氨索爾菲班法此流程脫硫是使用弱堿性的單乙醇氨（簡稱MEA）水溶液直接吸收煤氣中的H2S和HCN，屬于濕式吸收法。索爾菲班法脫硫產(chǎn)品為含H2S和HCN的酸性氣體，它可以經(jīng)克勞斯?fàn)t生產(chǎn)元素硫，也可以用接觸法生產(chǎn)硫酸。凈化后煤氣指標(biāo)為H2S≤02G/M3，NH3≤01G/M3。4）第四、五、六種煤氣凈化工藝流程AS法（氨硫聯(lián)合洗滌法）氨硫循環(huán)洗滌脫硫是一種NH3和H2S聯(lián)合處理工藝，該法以煤氣中的NH3為堿源，在洗氨的同時(shí)脫除H2S和HCN。屬于典型的濕式吸收法脫硫。脫硫塔設(shè)在洗氨塔之前。AS法脫硫一般由氨硫循環(huán)洗滌、脫酸蒸氨和氨分解硫回收組成，從脫酸塔頂蒸出的含H2S的酸性氣體采用克勞斯裝置生產(chǎn)元素硫。AS法脫硫系統(tǒng)從脫酸塔頂蒸出的含H2S的酸性氣體，也可以采用接觸法生產(chǎn)硫酸；從蒸氨塔頂蒸出的氨汽可用來生產(chǎn)硫銨即通常所謂的間接法生產(chǎn)硫銨，也可生產(chǎn)無水氨即熱法弗薩姆法生產(chǎn)無水氨或進(jìn)行氨分解。氨硫循環(huán)洗滌有正壓操作和負(fù)壓操作之分，風(fēng)機(jī)設(shè)置在脫硫洗氨之前的為正壓流程，風(fēng)機(jī)設(shè)置在洗苯之后的為負(fù)壓流程。凈化后煤氣指標(biāo)為H2S≤05G/M3，NH3≤01G/M3。,5）第七種煤氣凈化工藝流程HPF脫硫半直接法噴淋式飽和器硫銨工藝此流程組合，是國內(nèi)普遍采用的流程。HPF脫硫是我國科技人員不斷總結(jié)國內(nèi)外已有的脫硫方法，自行研制開發(fā)的以焦?fàn)t煤氣中的氨為堿源，采用HPF新型高效復(fù)合催化劑從焦?fàn)t煤氣中脫除H2S和HCN的新工藝。HPF脫硫工藝的脫硫流程與ADA法脫硫基本相似，采用的催化劑HPF為復(fù)合催化劑，它是以氨為堿源液相催化氧化脫硫新工藝，與其它催化劑相比，它對(duì)脫硫和再生過程均有催化作用（脫硫過程為全過程控制）。因此，HPF較其它催化劑相比具有較高的活性和較好的流動(dòng)性。HPF脫硫的廢液回兌到煉焦煤中，大大簡化廢液處理的工藝流程，是一種簡單可行且經(jīng)濟(jì)的脫硫廢液處理方法。噴淋式飽和器是煤氣經(jīng)過預(yù)熱器后進(jìn)入飽和器的上段，然后分成兩股沿飽和器水平方向流動(dòng)，每股煤氣均經(jīng)過數(shù)個(gè)噴頭用含游離酸的母液噴灑，以吸收煤氣中的氨，兩股煤氣匯合后從切線方向進(jìn)入飽和器中心的旋風(fēng)分離部分，除去煤氣中夾帶的酸霧液滴，從上部中心出口管離開到下一個(gè)工序。噴淋式飽和器分為上段和下段，上段為吸收室，下段為結(jié)晶室，噴淋式飽和器的上段和下段以降液管連通。此流程組合不僅技術(shù)和設(shè)備國產(chǎn)化，而且具有工藝流程短、技術(shù)成熟先進(jìn)、生產(chǎn)費(fèi)用低、操作管理方便、工程投資低、占地面積小和環(huán)保措施好等特點(diǎn)。凈化后煤氣指標(biāo)為H2S≤02G/M3，NH3≤005G/M3。,6）第八種煤氣凈化工藝流程HPF脫硫水洗氨、蒸氨、氨分解工藝此流程組合，也是國內(nèi)普遍采用的流程。若硫銨沒有銷路，可采用此流程組合。這個(gè)流程組合是我國焦化工作者在消化國外技術(shù)的基礎(chǔ)上開發(fā)的一種工藝流程。此工藝是用蒸氨廢水或軟水洗滌煤氣，吸收煤氣中氨的富氨水送蒸氨塔用蒸汽蒸餾，蒸氨塔頂?shù)陌逼?jīng)分縮后送氨分解爐，氨汽中的氨在高溫和催化劑的作用下分解為氫氣和氮?dú)?。氨分解尾氣返回初冷前吸煤氣管道，蒸氨塔底的蒸氨廢水部分經(jīng)冷卻返回洗氨，其余送生化處理站處理。凈化后煤氣指標(biāo)為H2S≤02G/M3，NH3≤01G/M3。,31煤氣的初步冷卻,311煤氣初步冷卻的作用從炭化室導(dǎo)出的荒煤氣溫度達(dá)650700℃,必須冷卻，其目的有以下幾點(diǎn)防止在荒煤氣中的化學(xué)產(chǎn)品發(fā)生裂解。有利于回收荒煤氣中的化學(xué)產(chǎn)品。減輕回收工序管道和設(shè)備的堵塞和腐蝕。降低輸送煤氣的管道和設(shè)備尺寸，特別是降低鼓風(fēng)機(jī)的負(fù)荷及能量消耗。安全合理地輸送煤氣。煤氣的初步冷卻分為集氣管冷卻和初冷器冷卻兩個(gè)步驟。,返回,412煤氣在集氣管中的冷卻煤氣在橋管和集氣管內(nèi)的冷卻，是用循環(huán)氨水通過噴頭強(qiáng)烈噴灑進(jìn)行的。當(dāng)細(xì)霧狀的氨水與煤氣充分接觸時(shí)，高溫煤氣放出大量顯熱，使氨水霧滴迅速升溫和汽化，將煤氣溫度降到8085℃。在上述過程中，煤氣放出的總熱量分配氨水由7075℃升高到7580℃占1015氨水蒸發(fā)23占循環(huán)氨水量占7580集氣管表面散熱占10煤氣在集氣管中的冷卻使焦油約有5060被冷凝下來，部分焦油與煤塵和焦炭?；煸谝黄饦?gòu)成焦油渣,412煤氣在集氣管中的冷卻,312煤氣在集氣管中的冷卻,影響煤氣在集氣管冷卻效果的因素主要有以下幾點(diǎn)1氨水噴嘴噴灑效果氨水噴灑的霧化程度高，可形成足夠的蒸發(fā)面積，氨水蒸發(fā)量較大，煤氣冷卻效果好。為此集氣管噴灑壓力不應(yīng)低于02MPA，循環(huán)氨水不應(yīng)含有焦油和焦油渣，以防堵塞噴嘴。2循環(huán)氨水量一般規(guī)定對(duì)于單集氣管，56M3/T干煤，對(duì)于雙集氣管68M3/T干煤。3采用7075℃熱循環(huán)氨水噴灑熱氨水噴灑有利于氨水蒸發(fā)，強(qiáng)化煤氣冷卻效果。另外也不能導(dǎo)致集氣管底部冷卻太劇烈，使得冷凝的焦油黏度增大，造成堵塞。再也有中和焦油酸保護(hù)管道的作用，同時(shí)具有潤滑性，便于焦油的流動(dòng)。,313煤氣在初冷器中的冷卻,313煤氣在初冷器中的冷卻煤氣在集氣管內(nèi)冷卻后，溫度仍相當(dāng)高，且還含有大量的焦油氣和水汽。為了便于輸送，減少鼓風(fēng)機(jī)的動(dòng)力消耗和有效地回收化學(xué)產(chǎn)品，煤氣須在初冷器中進(jìn)一步冷卻到2535℃（立管式初冷器）或2122℃（橫管式初冷器）。煤氣在初冷器中的冷卻是利用冷卻水與熱煤氣間接換熱的方式進(jìn)行的。在初冷器中發(fā)生煤氣中的水蒸汽和焦油氣的冷凝，煤氣中萘溶于焦油中，煤氣中的氨、二氧化碳、硫化氫和氰化氫溶于水中，這些統(tǒng)稱作冷凝液，從初冷器下部排出。,313煤氣在初冷器中的冷卻,影響煤氣在初冷器冷卻效果的因素有以下幾點(diǎn)冷卻水量、水溫和水質(zhì)冷卻水的水質(zhì)對(duì)煤氣的冷卻效果也有很大影響。為減緩在冷卻水管內(nèi)壁結(jié)垢，控制冷卻器出水的水溫小于45℃，對(duì)循環(huán)冷卻水進(jìn)行水質(zhì)處理。,初冷器煤氣通道阻力初冷器阻力大小，反映了冷卻水管外壁沉積物的多少。沉積物主要是萘和焦油，是煤氣向冷卻水傳熱過程的阻力，影響煤氣的冷卻效果。為此各廠對(duì)初冷器阻力都有規(guī)定。初冷器殼程的清掃有兩種方法，即蒸汽清掃法和熱氨水清掃法。,313煤氣在初冷器中的冷卻,314煤氣初冷的工藝流程,314煤氣初冷的工藝流程來自焦?fàn)t的荒煤氣與焦油和氨水沿吸煤氣管道至氣液分離器，氣液分離后荒煤氣進(jìn)入橫管初冷器分兩段冷卻。上段用循環(huán)水，下段用低溫水將煤氣冷卻至2122℃。由橫管初冷器下部排出的煤氣，進(jìn)入電捕焦油器，除掉煤氣中夾帶的焦油霧后，再由煤氣鼓風(fēng)機(jī)壓送至下一個(gè)工段,314煤氣初冷的工藝流程,為了保證初冷器的冷卻效果，在上段和下段連續(xù)噴灑焦油氨水混合液，在其頂部用熱氨水不定期進(jìn)行沖洗，以清除管壁上沉積的焦油和萘等雜質(zhì)。初冷器上段排出的冷凝液經(jīng)水封槽流入上段冷凝液槽，用泵將其送入初冷器上段進(jìn)行噴灑，多余部分送到機(jī)械化氨水澄清槽。初冷器下段排出的冷凝液經(jīng)水封槽流入下段冷凝液槽，加兌一定量焦油和氨水后，用泵將其送入初冷器下段進(jìn)行噴灑，多余部分流入上段冷凝液槽。,314煤氣初冷的工藝流程,由氣液分離器分離下來的焦油和氨水首先進(jìn)入機(jī)械化氨水澄清槽，在此進(jìn)行氨水、焦油和焦油渣的分離。上部的氨水流入循環(huán)氨水槽，再由循環(huán)氨水泵送至焦?fàn)t集氣管噴灑冷卻煤氣。澄清槽下部的焦油靠靜壓流入焦油分離器，進(jìn)一步進(jìn)行焦油與焦油渣的沉降分離，焦油用焦油泵送往油庫工段焦油貯槽。機(jī)械化氨水澄清槽和焦油分離器底部沉降的焦油渣刮至焦油渣車，定期送往煤場，人工摻入煉焦煤中。,315循環(huán)氨水與剩余氨水循環(huán)氨水是從焦?fàn)t煤氣初冷系統(tǒng)冷凝下來后又送回焦?fàn)t集氣管用以噴灑冷卻荒煤氣的氨水。裝爐煤水分約占干煤量10和化合水約占干煤量24是循環(huán)氨水的來源。其中大部分閉路循環(huán)于焦?fàn)t橋管和集氣管，依次經(jīng)煤氣主管、氣液分離器、焦油氨水澄清槽、循環(huán)氨水槽和循環(huán)氨水泵，再到焦?fàn)t橋管和集氣管。剩余氨水是配煤水和化合水以水蒸汽的形式隨荒煤氣一起逸出炭化室，經(jīng)初冷系統(tǒng)冷凝下來后，除補(bǔ)充氨水少量損失和煤氣帶走外，其余部分則為剩余氨水。剩余氨水需脫氨處理。,圖31煤氣初冷工藝流程1氣液分離器；2橫管初冷器；3電捕焦油器；4煤氣鼓風(fēng)機(jī)；5機(jī)械化氨水澄清槽；6焦油分離器；7除焦油器；8循環(huán)氨水泵；9上段冷凝液泵；10下段冷凝液泵；11上段冷凝液槽；12下段冷凝液槽；13上段煤氣水封槽；14下段煤氣水封槽；15循環(huán)氨水槽；16剩余氨水槽；17剩余氨水泵；18焦油泵,圖32煤氣初冷工藝流程1氣液分離器；2橫管初冷器；3電捕焦油器；4煤氣鼓風(fēng)機(jī)；5焦油渣分離箱；6焦油氨水分離槽；7焦油中間槽；8循環(huán)氨水泵；9上段冷凝液泵；10下段冷凝液泵；11上段冷凝液槽；12下段冷凝液槽；13上段煤氣水封槽；14下段煤氣水封槽；15焦油渣泵；16剩余氨水槽；17剩余氨水泵；18焦油泵；19液位調(diào)節(jié)器；20焦油渣小車,316煤焦油的回收荒煤氣中的焦油氣約5060在集氣管中被冷凝下來，其余在初冷器中被冷凝下來。在集氣管中冷凝下來的焦油，由于密度高，黏度大，含焦油渣多，故稱重質(zhì)焦油。在初冷器中冷凝下來的焦油，由于密度低，黏度小，含焦油渣少，故稱輕質(zhì)焦油。在集氣管中冷凝下來的氨水，含固定銨鹽如氯化銨、硫酸銨和硫氰化銨等高，含揮發(fā)性銨鹽如硫化銨、氰化銨和碳酸銨等低，這必然導(dǎo)致集氣管中冷凝的焦油含固定銨鹽高，初冷器冷凝下來的焦油含固定銨鹽低。為了使焦油與氨水分離的好，希望焦油黏度小，固定銨鹽含量低，為了使焦油與焦油渣分離的好，希望焦油密度低，因此，多采用重質(zhì)焦油和輕質(zhì)焦油混合分離的方法。圖31所示即為混合分離流程，集氣管和初冷器的冷凝液都進(jìn)入機(jī)械化氨水澄清槽，在此分離出的脫水脫渣焦油再進(jìn)入焦油分離器進(jìn)一步脫渣。另外，電捕焦油器和鼓風(fēng)機(jī)等回收下來的焦油也全部進(jìn)入焦油氨水澄清槽。,圖33氣液分離器圖34橫管式煤氣初冷器,317煤氣冷卻的主要設(shè)備3171氣液分離器使煤氣與冷凝液分離的設(shè)備。見圖33。,3172橫管式初冷器橫管式初冷器具有直立長方體形的外殼，冷卻水管與水平面成30角橫向配置。見圖34。管板外側(cè)管箱與冷卻水管相連，構(gòu)成冷卻水通道，分兩段供水，即供低溫水和循環(huán)水。煤氣自上而下通過初冷器。在初冷器殼程設(shè)置噴灑裝置，連續(xù)噴灑含煤焦油的氨水，以清洗管外壁沉積的焦油和萘，同時(shí)還可以從煤氣中吸收一部分萘。橫管冷卻器用573MM的鋼管，管徑小，水的流速可達(dá)0507M/S。且冷卻水管在冷卻器斷面上水平密集布設(shè)，使與之成錯(cuò)流的煤氣產(chǎn)生強(qiáng)烈湍動(dòng)，冷卻效果好，煤氣可冷卻到約21℃。,3173焦油氨水分離設(shè)施利用重力沉降原理分離煤焦油、氨水和焦油渣的設(shè)備。常用的有機(jī)械化氨水澄清槽和焦油氨水分離槽。1機(jī)械化氨水澄清槽槽體截面有船形和矩形。從氣液分離器來的焦油氨水混合液從澄清槽頭部入口進(jìn)入，氨水經(jīng)尾部浮焦油渣檔板和氨水溢流槽流出。分出渣和氨水的焦油從尾部經(jīng)液位調(diào)節(jié)器壓出。焦油液位由液位調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)，以保證焦油有足夠的分離時(shí)間。焦油層厚一般為1315M的部位應(yīng)在外部保溫，以維持油溫和穩(wěn)定其黏度。焦油渣由槽底刮板輸送機(jī)經(jīng)槽的頭部斜面上端刮出。焦油渣經(jīng)過氨水層時(shí)被洗去焦油，露出水面后澄干水。刮板線速度為174135M/H,速度過高易帶出焦油和氨水。也有將液位調(diào)節(jié)器設(shè)置在機(jī)械化氨水澄清槽里面的，這樣可以防止焦油因溫度降低，黏度增大，流動(dòng)性變差。,機(jī)械化氨水澄清槽,3174冷凝液水封槽冷凝液水封槽是排出設(shè)備中的冷凝液，而又能防止空氣涌入或煤氣泄出的設(shè)備。對(duì)于鼓風(fēng)機(jī)前的初冷器水封槽，由于處于負(fù)壓狀態(tài)，水封高度是指水封槽冷凝液排出管液面至煤氣設(shè)備內(nèi)冷凝液出口液面之間的距離。由于大氣壓高于煤氣系統(tǒng)中的壓力，冷凝液面就會(huì)高出水封槽液面，其高度取決于煤氣吸力。水封高度必須大于可能產(chǎn)生的最大吸力。否則，冷凝液水封槽中的冷凝液就會(huì)抽空，使空氣吸入煤氣系統(tǒng)而發(fā)生事故。另外，水封槽還設(shè)有蒸汽管供加熱或清掃用。,32煤氣的輸送,321煤氣輸送系統(tǒng)設(shè)置鼓風(fēng)機(jī)的作用從焦?fàn)t炭化室出來的煤氣，經(jīng)集氣管、吸氣管、電捕焦油器、回收氨、苯和硫化氫系統(tǒng)的一系列設(shè)備，然后送至貯罐或用戶。在這一過程中煤氣要克服管道和各種設(shè)備的阻力，并要具有足夠的剩余壓頭，才能到達(dá)用戶的地點(diǎn)。另外，為了使焦?fàn)t內(nèi)的荒煤氣按規(guī)定的壓力制度抽出，要使煤氣管線中具有一定的吸力。綜上，在煤氣輸送系統(tǒng)中必須設(shè)置鼓風(fēng)機(jī)。另外，鼓風(fēng)機(jī)在運(yùn)行時(shí)也有清除焦油的作用。鼓風(fēng)機(jī)在焦化廠具有重要地位，人們把它稱作焦化廠的“心臟”。,32煤氣的輸送,1鼓風(fēng)機(jī)位置設(shè)置的原則煤氣吸入的體積盡可能的小風(fēng)機(jī)前的設(shè)備和管道盡可能的少2鼓風(fēng)機(jī)的類型離心式的鼓風(fēng)機(jī)羅茨鼓風(fēng)機(jī),圖310離心式鼓風(fēng)機(jī),,3221離心式鼓風(fēng)機(jī)離心式鼓風(fēng)機(jī)的結(jié)構(gòu)離心式鼓風(fēng)機(jī)主要由機(jī)身、轉(zhuǎn)子組件、密封裝置、軸承、聯(lián)軸器、潤滑系統(tǒng)及其它輔助零部件等組成。,離心式鼓風(fēng)機(jī)的工作原理單級(jí)離心式鼓風(fēng)機(jī)的工作原理示意見圖311。當(dāng)電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)主軸及葉輪高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體由進(jìn)氣口吸入機(jī)殼進(jìn)入葉輪，并隨葉輪一起高速旋轉(zhuǎn)，在離心力的作用下，被從葉輪中甩出，進(jìn)入機(jī)殼內(nèi)蝸室和擴(kuò)壓管，由于擴(kuò)壓管內(nèi)通道截面積漸漸增大，因此，氣體的一部分動(dòng)能變?yōu)殪o壓能，壓力升高，最后由出氣口排出。與此同時(shí)葉輪入口處由于氣體被甩出而產(chǎn)生局部負(fù)壓，氣體在外界壓力作用下，從進(jìn)氣口不斷地被吸入機(jī)內(nèi)。,煤氣經(jīng)鼓風(fēng)機(jī)壓縮后溫度要升高15～20℃。離心式鼓風(fēng)機(jī)的性能離心式鼓風(fēng)機(jī)在一定轉(zhuǎn)數(shù)下的生產(chǎn)能力Q與總壓頭H之間有一定的關(guān)系，可用圖312所示的QH特性曲線來表示。由圖可見，曲線有一最高點(diǎn)B，相應(yīng)于B點(diǎn)壓頭最高壓頭的輸送量稱為臨界輸送量。鼓風(fēng)機(jī)不允許在B點(diǎn)的左側(cè)范圍內(nèi)操作，因在此范圍內(nèi)鼓風(fēng)機(jī)輸送量波動(dòng)，并會(huì)發(fā)生振動(dòng)，產(chǎn)生“飛動(dòng)”現(xiàn)象。只有在B點(diǎn)右側(cè)延伸的特性曲線范圍內(nèi)操作才是穩(wěn)定的。運(yùn)行鼓風(fēng)機(jī)的總壓頭系指機(jī)后壓力（正壓）與機(jī)前壓力（負(fù)壓）之差，其值與化產(chǎn)回收系統(tǒng)采用的工藝流程有關(guān),,,鼓風(fēng)機(jī)的調(diào)節(jié)1用鼓風(fēng)機(jī)煤氣進(jìn)出口開閉器調(diào)節(jié)此法鼓風(fēng)機(jī)的功率消耗和煤氣升溫增大，另外也容易產(chǎn)生滲漏。2用鼓風(fēng)機(jī)進(jìn)出口交通管調(diào)節(jié)此法也稱“小循環(huán)”調(diào)節(jié)，一部分煤氣經(jīng)重復(fù)壓縮，無疑鼓風(fēng)機(jī)的功率消耗和煤氣溫升也要增大。3“大循環(huán)”調(diào)節(jié)即將鼓風(fēng)機(jī)壓出的煤氣部分地送到初冷器前的煤氣管道中，經(jīng)過冷卻后，再回到鼓風(fēng)機(jī)。一般當(dāng)煤氣量為鼓風(fēng)機(jī)額定能力的1/41/3時(shí)，就需采用“大循環(huán)”的措施。顯然，“大循環(huán)”可解決煤氣升溫過高的問題，但要增加鼓風(fēng)機(jī)的能量消耗和初冷器的負(fù)荷。4用透平機(jī)拖動(dòng)鼓風(fēng)機(jī)的轉(zhuǎn)數(shù)調(diào)節(jié)此法調(diào)節(jié)范圍有限。5采用帶液力偶合器的電動(dòng)煤氣鼓風(fēng)機(jī)根據(jù)煤氣量實(shí)現(xiàn)無級(jí)調(diào)速，調(diào)速范圍在2097。此法鼓風(fēng)機(jī)啟動(dòng)方便，調(diào)節(jié)靈活，高效節(jié)能。（6）采用變頻調(diào)速電機(jī)此法調(diào)節(jié)方便簡單。,3222羅茨鼓風(fēng)機(jī)1羅茨鼓風(fēng)機(jī)的結(jié)構(gòu)羅茨鼓風(fēng)機(jī)主要由機(jī)殼、軸、傳動(dòng)齒輪及一對(duì)斷面呈“∞”形的轉(zhuǎn)子組成，如圖413所示。在一個(gè)長圓形的機(jī)殼內(nèi)，兩個(gè)轉(zhuǎn)子分別固定在流動(dòng)軸承和止推軸承的相互平行的主動(dòng)軸和從動(dòng)軸上；機(jī)殼外的兩軸端裝有相同的嚙合齒輪；主動(dòng)軸通過聯(lián)軸器或皮帶輪與電動(dòng)機(jī)相連。兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與機(jī)殼之間分別留有04MM和03MM的間隙，以使轉(zhuǎn)子既能自由轉(zhuǎn)動(dòng)，又不過多地漏氣。為防止軸與機(jī)殼之間的縫隙產(chǎn)生泄漏，此處還裝有軸封裝置。為了安全起見，鼓風(fēng)機(jī)的出口安裝有緩沖器穩(wěn)壓柜與安全閥。,,2羅茨鼓風(fēng)機(jī)的工作原理對(duì)于風(fēng)口是上下安置的羅茨鼓風(fēng)機(jī)，安裝時(shí)，最好使氣體從上面進(jìn)入，下面排出，這樣，由于下部出口氣體壓力較大，可以抵銷一部分轉(zhuǎn)子的自重，減輕軸承所承受的壓力。3羅茨鼓風(fēng)機(jī)的調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速變大，所輸送的煤氣量也隨之增多，但一般最大轉(zhuǎn)速以不超過額定轉(zhuǎn)速10為宜。,33煤氣

簡介：液晶材料與技術(shù)（9）LCD工藝技術(shù),■陣列關(guān)鍵工藝■制屏關(guān)鍵工藝■模組關(guān)鍵工藝,,■陣列關(guān)鍵工藝■制屏關(guān)鍵工藝■模組關(guān)鍵工藝,ARRAY制程中的幾個(gè)主要技術(shù),清洗濺射（PVDCVD（PECVD）曝光和顯影刻蝕工藝,,與灰塵做斗爭是TFTLCD行業(yè)永恒的任務(wù)進(jìn)入TFTLCD制造車間看到最多的設(shè)備就是各式各樣的清洗裝置有人估計(jì)在液晶顯示器的整個(gè)制備工藝中清洗工藝的工作量占總工作量的3040，而且隨著液晶顯示技術(shù)的不斷進(jìn)步清洗工藝正發(fā)揮著越來越重要的作用。,,幾個(gè)納米的顆粒就會(huì)造成膜的表面狀態(tài)的起伏，微米量級(jí)的顆粒就會(huì)造成膜的斷裂或短路，或者破壞器件的電學(xué)特性。玻璃基板表面的任何有機(jī)溶劑可能造成膜的脫落和溶解。不僅要消除各種微小顆啦，還要消除各種可能的有機(jī)污染。,洗凈原理及方法,濕式化學(xué)清洗,超聲波,濕式清洗,干式清洗,刷洗,紫外線照射清洗,高壓液體噴淋,二流體噴淋清洗,等離子體清洗,,,浸泡式超聲波清洗法,流水式高頻超聲波清洗法,超高壓微細(xì)顆粒水噴射清洗,1濕式化學(xué)清洗所謂濕式化學(xué)清洗技術(shù)，是以液態(tài)酸、堿溶劑與去離子水之混合液清洗基板表面，并干燥的程序?；瘜W(xué)清洗不僅可以有效去除有機(jī)物，也可以通過化學(xué)反應(yīng)有效去除金屬等無機(jī)污染物。但是濕式化學(xué)清洗法有時(shí)不但不能去除微粒，反而會(huì)增加微粒在基板表面附著的可能性。僅僅采用濕式化學(xué)清洗還不能完全解決問題。,,,2涮洗擦洗刷洗是利用刷子在基板表面滾動(dòng)去除微粒及有機(jī)薄膜的一種機(jī)械清洗方法。清洗溶液一般采用去離子水加上一些可以降低水的表面張力的清潔劑。在不同工藝階段的清洗對(duì)刷洗的要求是不一樣的。刷洗中需要注意的是防止刷毛對(duì)基板圖形的損傷，刷毛的品質(zhì)非常重要，在基板成膜以后的清洗中，刷毛最好不要直接接觸基板圖形表面。,,刷洗的方法有兩種一種是橫向滾刷，即圓滾的軸線平行與玻璃板基所在的平面，另一種是縱向滾刷，即圓滾的軸線是與玻璃板基所在的平面垂直的。,,使用刷洗方法應(yīng)注意的是必須保持刷子經(jīng)常清潔，防止由于刷子上粘染的污垢把玻璃板基弄臟而造成再污染。一般刷子的使用壽命都不長，使用時(shí)間長了還會(huì)發(fā)生掉毛現(xiàn)象，因此需要定期更換。特別應(yīng)該注意的是，當(dāng)玻璃板基上的涂層材質(zhì)比較松軟時(shí)，刷洗時(shí)容易造成膜層被劃傷，因此這時(shí)不宜采用刷洗的方法。,3高壓液體噴淋是利用高壓泵把清洗用水加壓到10～30公斤的高壓力，再通過噴嘴把高壓低流速的水轉(zhuǎn)化成低壓高流速的清洗水噴射到玻璃基板的表面進(jìn)行清洗的，為了擴(kuò)大清洗面常使用能形成扁平扇形狀清洗面的噴嘴。用這種方法可去除玻璃基板上的3～5ΜM的粒子。用這種方法可對(duì)在流水線上運(yùn)行的玻璃基板進(jìn)行連續(xù)化的在線清洗。對(duì)于較小微粒而言，去除效率并不高。一般液體壓力達(dá)到100PSIG1PSIG的單位是1磅/平方英寸6894757NM2才可以有效去除微粒，但如此的高壓會(huì)對(duì)基板表面圖形產(chǎn)生傷害。,TFTLCD設(shè)計(jì)及制作,4二流體噴淋清洗將一種高壓氣態(tài)流體與一種液態(tài)流體混合后，再通過一種特殊的噴嘴（超音速噴嘴）使高壓氣體與清洗液形成的液滴，以超過聲音在空氣中的傳播速度（340米/秒）的速度噴出，而把需要清洗的物體放在一個(gè)可發(fā)生旋轉(zhuǎn)的圓盤上并使它做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，當(dāng)從噴嘴中噴射出的液滴噴射到做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的被清洗物體上時(shí)，就會(huì)立即崩解并對(duì)被清洗物體產(chǎn)生強(qiáng)大的沖擊清洗作用，此時(shí)清洗液的速度可達(dá)到1000米/秒，在被清洗物體上附著的超微小顆粒在雙流體清洗液噴射時(shí)產(chǎn)生的沖擊波作用、被清洗物體表面受到?jīng)_擊時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)作用、液滴沿被清洗物體表面高速噴射這三種作用的協(xié)同作用下而被去除。能取得對(duì)粒徑在01ΜM的微細(xì)顆粒的去除率達(dá)到80以上的效果。,TFTLCD設(shè)計(jì)及制作,,流體的主要成分是水、乙醇、氨水、除臭劑、抗靜電劑、表面活性劑等高壓氣體主要是壓縮空氣、氮?dú)釴2、蒸氣。,TFTLCD設(shè)計(jì)及制作,,5超聲波超聲波具有很高的能量，它在傳媒液體中傳播時(shí)，把能量傳遞給傳媒質(zhì)點(diǎn)，傳媒質(zhì)點(diǎn)再將能量傳遞到清洗對(duì)象物表面，將聲能轉(zhuǎn)化為機(jī)械振動(dòng)能，造成污垢解離分散。,TFTLCD設(shè)計(jì)及制作,干法清洗與濕法清洗相比，雖然它在玻璃基板上污垢量較大的情況下，清洗效果往往不如濕法，但當(dāng)濕法使用的藥液難以滲透到微米級(jí)的細(xì)微縫隙中時(shí)，或被清除的污垢是有機(jī)物時(shí)，使用干法清洗會(huì)有較好的效果。而且干法清洗具有不需對(duì)用過的清洗液進(jìn)行廢液處理，環(huán)境負(fù)荷小等優(yōu)點(diǎn)。所以有時(shí)要采用干法清洗，或做為濕法清洗工藝中的一個(gè)環(huán)節(jié)使用，以提高清洗效果。,干式清洗,TFTLCD設(shè)計(jì)及制作,,干洗技術(shù)由于可以有效清除灰塵等微粒子，而且可以節(jié)約大量水資源，因而受到重視。目前在液晶顯示器制備工藝中使用的干法清洗技術(shù)主要有紫外線照射清洗和等離子體清洗兩種。,TFTLCD設(shè)計(jì)及制作,（1）紫外線照射清洗（UV光清洗）紫外線照射清洗的原理是利用裝在石英玻璃管中制成的低壓汞燈，在工作時(shí)發(fā)出的短波紫外光進(jìn)行清洗的，紫外線具有較高的能量，而且波長越短的紫外光能量越高。當(dāng)紫外光照射到污垢上時(shí)，物質(zhì)的分子吸收紫外光后會(huì)處于高能量的激發(fā)狀態(tài)并可能發(fā)生分子內(nèi)的化學(xué)鍵斷裂而分解。紫外線在與空氣中氧氣作用時(shí)，可以把氧氣分子激發(fā)并轉(zhuǎn)化成化學(xué)反應(yīng)能力比氧氣更強(qiáng)的臭氧或活性氧原子，臭氧或活性氧原子在與污垢分子反應(yīng)時(shí)，（特別是有機(jī)物分子時(shí)）就可以將污垢分解成水、二氧化碳等小分子而被除去。所以用紫外線照射被污染的玻璃基板可以達(dá)到清洗的效果。,TFTLCD設(shè)計(jì)及制作,,但是在采用紫外線照射清洗時(shí)應(yīng)注意它存在的幾個(gè)問題。一是紫外線照射清洗使用的低壓汞燈的壽命有一定限制，一般維持在1000～2000小時(shí)左右，所以使用一定時(shí)間后就要進(jìn)行一次更換設(shè)備和修整，頻繁更換產(chǎn)生的低壓汞燈等廢棄物會(huì)使環(huán)境的負(fù)荷大大增加。二是隨著液晶顯示技術(shù)的不斷進(jìn)步，玻璃基板的尺寸不斷加大處理、速度不斷加快，要求紫外線照射清洗使用的設(shè)備也要大型化和大幅度提高功率，但這對(duì)紫外線照射清洗設(shè)備來說是有很大難度的。,TFTLCD設(shè)計(jì)及制作,,（2）等離子（體）清洗另一種常用的干法清洗技術(shù)是等離子（體）清洗。在電場中保持低壓狀態(tài)的一些氣態(tài)分子在輝光放電的情況下，可以分解出加速運(yùn)動(dòng)的電子和解離成帶有正、負(fù)電荷的原子和分子，這些物質(zhì)微粒都處于高能量的激發(fā)狀態(tài)。在產(chǎn)生這些物質(zhì)微粒的過程中還伴隨產(chǎn)生紫外線等高能態(tài)光線。把以這種形式存在的物質(zhì)狀態(tài)稱為等離子體，也是物質(zhì)除了以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)方式存在之外的第四種存在狀態(tài)。,TFTLCD設(shè)計(jì)及制作,,由于在等離子體存在許多高能態(tài)的物質(zhì)，所以當(dāng)?shù)入x子體與玻璃基板上的污垢接觸時(shí)，這些處于活化狀態(tài)的物質(zhì)微粒就會(huì)與污垢反應(yīng)使污垢分子分解而被去除。,TFTLCD設(shè)計(jì)及制作,,利用等離子體產(chǎn)生自由基與污染物反應(yīng)，例如氧O2等離子體可去除光刻膠和細(xì)小有機(jī)物氯化氫HCL和氬AR混合等離子體用來去除金屬污染物三氟化氮NF3、氫H2及氬AR等離子體可解決各種氧化物污染問題，再以氣流將生成物帶出反應(yīng)槽。,TFTLCD設(shè)計(jì)及制作,,等離子（體）清洗用于對(duì)液晶顯示玻璃基板、半導(dǎo)體硅片、電子部件上的有機(jī)污垢進(jìn)行清洗。采用等離子（體）清洗不僅可以有效去除污垢，而且可以大大改變表面的性質(zhì)，增加表面對(duì)加工材料的黏合性能。而且因?yàn)榭梢栽谏a(chǎn)線上連續(xù)快速處理，所以效率比紫外線清洗更高。,TFTLCD設(shè)計(jì)及制作,,各種常用的基板清洗方法的比較,,洗凈設(shè)備,整套清洗設(shè)備由裝料周轉(zhuǎn)盒、機(jī)械手、傳送裝置、干洗部分紫外光化學(xué)反應(yīng)清洗艙紫外單元和濕洗部分藥液噴淋艙、刷洗、高壓噴淋、超聲波清洗、氣刀綜合組成，形成清洗生產(chǎn)線。,,,ARRAY制程中的幾個(gè)主要技術(shù),清洗濺射（PVDCVD（PECVD）曝光和顯影刻蝕工藝,什么是PVD,PVDPHYSICALVAPORDEPOSITION物理氣相沉積法,在TFT制造工藝中共有5道濺射工序，分別為柵極G配線的鋁鈮AINB含金和鉬鈮合金MONB金屬膜或者銅CU金屬膜，源極和漏極及其配線的鉻CR金屬膜，像素電極的氧化銦錫ITO金屬膜彩色濾光片的鉻膜。公共電極的氧化銦錫ITO金屬膜,1、濺射原理,濺射主要是一種金屬成膜的方法，該方法利用高能量電子的解離作用，使濺射氣體離化形成等離子體如果是直流濺射，這時(shí)候伴有輝光放電現(xiàn)象發(fā)生，氣體等離子體在電場的加速下轟擊靶材，使靶材原子濺射轉(zhuǎn)移到基板表面形成致密的薄膜。,,,,,,,,濺射成膜的基本過程如下1工藝室抽真空。在大氣壓下比較容易控制膜的質(zhì)量。2真空度達(dá)到410L1PA時(shí)導(dǎo)入氬氣，并保持壓力穩(wěn)定。壓力對(duì)膜的致密性、膜的均勻性和成膜的速率都有影響，在壓力達(dá)到102PA時(shí)會(huì)產(chǎn)生輝光放電。3向陰極靶材加載射頻RF或直流DC電壓，產(chǎn)生等離子體。RF用于絕緣體成膜，DC用于金屬成膜。4等離子體產(chǎn)生后在電場的作用下加速轟擊靶材。沖擊能量要大于100EV才比較有效。5靶材彈出的原子附著到玻璃基板，形成需要的膜。,,在濺射工藝中真空技術(shù)非常重要，工藝室抽成真空，一方面可防止陰極、靶材氧化以及控制和消除大氣中雜質(zhì)的影響另一方面可保證導(dǎo)入的工藝氣體在低氣壓下獲得高的放電效率。排氣泵可以采用低溫泵、分子泵等。為了有效控制氣體壓力，高時(shí)也使用電磁閥。粗抽泵也有使用干泵的。,,2、濺射分類（1）直流濺射（2）射頻濺射（3）磁控濺射（4）反應(yīng)性濺射（5）離子束濺射,（1）直流濺射（RC陰極與基板直接加載直流電壓。,1成膜基板和膜靶材近距離配置。2到達(dá)真空狀態(tài)之后，在靶和基板之間加高電壓。3電子和離子在高電壓下高速運(yùn)動(dòng)，離子撞擊靶材，高速運(yùn)動(dòng)的電子和離子與氣體分子碰撞，產(chǎn)生更多的離子。4離子撞擊靶后，把靶材的粒子濺射出去。5被濺射出來的靶材的粒子到達(dá)成膜基板上成膜。,直流濺射的優(yōu)點(diǎn),設(shè)備簡單濺射率高對(duì)基板的損傷較小,直流濺射的缺點(diǎn),1、發(fā)生輝光放電，設(shè)備的真空程度較差，殘留氣體影響較大。比如說成長的薄膜和殘留氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，或薄膜中有氣泡等。2、氣體成為等離子體狀態(tài)，基板也處在高溫的等離子狀態(tài)中。因?yàn)楦邷乜赡軙?huì)損傷基板。3、原料靶是強(qiáng)絕緣體的時(shí)候，表面會(huì)有離子堆積，使放電中止。4、不可以濺射絕緣膜。,,（2）射頻濺射RF濺射為了避免干擾電臺(tái)工作，濺射RF濺射專用頻率規(guī)定為1356MHZ。在射頻電源交變電場作用下，氣體中的電子隨之發(fā)生振蕩，并使氣體電離為等離子體，在射頻濺射中，電子的運(yùn)動(dòng)速度比離子更高，一個(gè)周期入射到靶材上的電子數(shù)量比離子要多。因此，在一段時(shí)間以后，靶材上由于電子電荷的堆積形成一個(gè)偏壓。通過這個(gè)偏壓轟擊靶材建立的平衡稱為自偏壓VDC。濺射是在這個(gè)平衡電壓下產(chǎn)生的。,（2）射頻濺射（RF）,1靶和成膜基板近距離配置。2真空腔體和靶之間加高頻率電壓。3因?yàn)槭墙涣麟妷?，所以帶電粒子的加速方向隨電壓而變。4因?yàn)殡娮颖入x子輕，容易移動(dòng)。5靶一側(cè)的電子沒有流通渠道、使電子密度升高。6高密度的電子使靶帶有負(fù)電、會(huì)吸引更多的陽離子撞擊靶。,射頻濺射的優(yōu)點(diǎn),可以濺射二氧化硅等絕緣膜,射頻濺射的缺點(diǎn),對(duì)基板損傷大相同功率下，濺射速率只有DC濺射的一半設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,（3）磁控濺射為了克服DC濺射在高真空情況下由于氣體分子密度過低而導(dǎo)致放電不能持續(xù)維持的問題，在陰極靶材內(nèi)側(cè)設(shè)置一個(gè)磁場，可以使電子在陰極表面作螺旋狀前進(jìn)的運(yùn)動(dòng)，這樣，即使氣體分子密度很小，但由于電子在靶材附近運(yùn)動(dòng)的時(shí)間延長，因此電子密度相對(duì)增大，同樣可以保證和氣體的碰撞次數(shù)，從而解離氣體產(chǎn)生等離子體，使放電持續(xù)進(jìn)行。這就是所謂的磁控濺射。磁控濺射因?yàn)樘岣吡朔烹娦?，得到比較高的濺射率，可以在工藝氣體壓力較低的情況下工作，減小了氣體對(duì)膜質(zhì)的影響，且具有成膜均一性好、重現(xiàn)性好等優(yōu)點(diǎn)，所以在生產(chǎn)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。但是其靶材利用效率較低。,磁控濺射,1成膜基板和靶近距離配置、靶材的后面安裝有磁鐵。2加高電壓之后誘發(fā)濺射。3因?yàn)榘兄車写艌?、電子沿磁力線做螺旋運(yùn)動(dòng)。4在螺旋運(yùn)動(dòng)電子的周圍產(chǎn)生等離子狀態(tài)、可進(jìn)行高密度濺射。,,特征1、也可使用高頻電源。2、在成膜基板附近沒有等離子狀態(tài)、基板不受損傷。3、濺射量大。缺點(diǎn)靶材的磨損不均勻磁場較強(qiáng)的地方被大量濺射、在磁場南北極中間線附近濺射量較少。,,4反應(yīng)性濺射在氬氣中添加反應(yīng)性氣體，通過濺射得到化合物薄膜的方法稱作反應(yīng)性濺射（REACTIVESPUTTER）。顧名思義，反應(yīng)性濺射方法即在成膜過程中，添加的反應(yīng)性氣體與靶材發(fā)生了反應(yīng)。反應(yīng)性氣體流量對(duì)于膜的生長速度和膜質(zhì)都會(huì)產(chǎn)生影響。,,反應(yīng)性濺射根據(jù)采用的靶材不同可以分為兩種類型，即采用純金屬含金靶材進(jìn)行成膜和采用化合物靶材進(jìn)行成膜。使用純金屬合金靶材進(jìn)行成膜時(shí)，成膜氣體必須采用氬和反應(yīng)性氣體的混合氣體。成膜時(shí)，反應(yīng)性氣體與純金屬合金靶材反應(yīng)，并且最終得到化合物薄膜。,,化合物靶材是針對(duì)要得到的化合物薄膜，制作與其成分相一致的靶材。通過濺射成膜得到化合物薄膜，成膜過程中的氣體仍然要采用氬與反應(yīng)性氣體的混合，因?yàn)槌赡r(shí)膜組分中與反應(yīng)性氣體成分相同的元素容易失去，需要在反應(yīng)性氣體的氛圍里進(jìn)行成膜才能使薄膜的性質(zhì)優(yōu)良。在TFTLCD工業(yè)中，彩膜黑矩陣的氧化鉻/鉻CROX/CR膜要求對(duì)可見光吸收性好、反射率低。要滿足這樣的要求氧化鉻膜的質(zhì)量必須穩(wěn)定。現(xiàn)在一般采用反應(yīng)濺射法成膜。,（5）、離子束濺射,這是唯一一種不用放電的濺射方法。從離子槍產(chǎn)生離子并加速的設(shè)備發(fā)射出來的高速離子照射靶材使其濺射后堆積在基板上成膜。其他的幾種濺射方式都利用等離子狀態(tài)、基板同時(shí)也受到電子和離子的影響。離子束濺射不采用放電現(xiàn)象。但是為了使離子槍持續(xù)產(chǎn)生離子也需要供應(yīng)惰性氣體。注使原材料離子化而射向基板的手法被稱為離子注入法、而不是濺射。,,特征1、不需要放電來產(chǎn)生等離子狀態(tài)、高真空狀態(tài)下也可成膜。2、離子源獨(dú)立存在、單獨(dú)設(shè)定容易。3、靶材不需要導(dǎo)電性。缺點(diǎn)1、設(shè)備復(fù)雜、昂貴。2、成膜速度慢。,TFTLCD設(shè)計(jì)及制作,CVD,在TFT制備中一共有4層非金屬膜需要采用化學(xué)氣相沉積工藝完成，金屬柵極的絕緣層SINX，SIO2、非晶硅層ASI，N非晶硅層NASI和最后的保護(hù)層SINX，SIO2。這些非金屬膜的質(zhì)量直接確定了TFT的電學(xué)性能，這些非金屬膜的制作是TFT工藝技術(shù)的核心。,化學(xué)氣相沉積技術(shù)原理,化學(xué)氣相沉積技術(shù)是利用熱能、等離子放電、紫外光照射等形式的能源或上述能源形式的綜合利用，使氣態(tài)物質(zhì)在灼熱的固體熱表面上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并在該表面上沉積，形成穩(wěn)定的固態(tài)物質(zhì)膜的工業(yè)過程?；瘜W(xué)氣相成膜工藝的參數(shù)主要考慮氣體流量、氣體成分、氣體壓力、射頻功率、電極間距、基板溫度和電極結(jié)構(gòu)等。,在TFT陣列工藝中，PECVD中的化學(xué)反應(yīng)主要是SIH4H2生成ASISIH4NH3N2生成SINX,圖63所示是CVD成膜的二維模型，氣流平行于玻璃基板表面。在主氣流與玻璃基板表面之間，氣流速率從主氣流速率遞減到基板表面的零，此區(qū)域定義為邊界層。,,因?yàn)镃VD使用的工藝氣體有些是有毒的，有的甚至是劇毒，而且易燃易爆，因此必須要有完善的氣體監(jiān)測與報(bào)警系統(tǒng)。一般要求氣柜要遠(yuǎn)離工作場所，并配備完善的安全設(shè)施。廢氣處理系統(tǒng)一定要達(dá)到國家環(huán)境保護(hù)條件要求，否則不能投入運(yùn)行。,TFTLCD設(shè)計(jì)及制作,,CVD涉及的主要設(shè)備和材科包括常壓化學(xué)氣相沉積ATMOSPHERICPRESSURECHEMICALVAPORDEPOSITION，APCVD低壓化學(xué)氣相沉積LOWPRESSURECHEMICALVAPORDEPOSITION，LPCVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PLASMAENHANCEDCHEMICALVAPORDEPOSITION，PECVD,,TFT工藝膜的生長溫度比較低，需引入額外的非熱能能量或降低反應(yīng)所需激活能，以得到足夠的反應(yīng)能量。等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)的原理是在真空中引進(jìn)反應(yīng)氣體，以高頻放電，使其在平行的電極板間產(chǎn)生等離子，利用低溫等離子體作能量源，將樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電或另加發(fā)熱體使樣品升溫到預(yù)定的溫度，反應(yīng)氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，在樣品表面形成數(shù)百埃至數(shù)千埃厚度的固態(tài)薄膜，這是非晶硅陣列制造工程的核心，直接決定TFT的特性。,,PECVD方法區(qū)別于其他CVD方法的特點(diǎn)在于，等離子體中含有大量高能量的電子，它們可以提供化學(xué)氣相沉積過程所需的激活能。電子與氣相分子的碰撞可以促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離過程，生成活性很高的各種化學(xué)基團(tuán)，因而顯著降低CVD薄膜沉積的溫度范圍，使得原來需要在高溫下才能進(jìn)行的CVD過程得以在低溫下實(shí)現(xiàn)。,,工藝氣體硅烷SIH4、磷烷PH3、氨氣NH3、笑氣N2O、氮?dú)釴2、氫氣H2,,1、硅烷（氣）,硅烷是制作非晶硅和SIN，SIO的反應(yīng)氣體?；馂?zāi)危險(xiǎn)度為大。,,硅烷在常溫常壓下為具有惡臭的無色氣體；在室溫下能著火，在空氣或鹵素氣體中發(fā)生爆炸性燃燒即使用其他氣體稀釋，如果濃度不夠低，仍能自燃。硅烷在氬氣中含2、氮?dú)庵泻?5、氫氣中含1時(shí)，它仍能著火。硅烷濃度在小于1時(shí)不燃，大于3時(shí)自燃，13時(shí)可能燃燒。在氧氣中燃燒產(chǎn)物為粉狀氧化硅和水。,,,硅烷是強(qiáng)還原劑，能與重金屬鹵化物激烈反應(yīng)，與氯、溴發(fā)生爆炸性反應(yīng)，與四氯化碳激烈反應(yīng)。因此，對(duì)硅烷不能使用氟利昂滅火劑。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氧化硅，不與潤滑油、脂肪反應(yīng)對(duì)幾乎所有的金屬無腐蝕性。有時(shí)，玻璃中的堿成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空氣也可發(fā)生爆炸。,,依據(jù)硅烷在化學(xué)品安全技術(shù)說明書（MATERIALSAFETYDATASHEETS,MSDS）的資料，硅烷的致死半濃度（LC50）為9600PPM4H，美國政府工業(yè)衛(wèi)生學(xué)家會(huì)議（AMERICANCONFERENCEOFGOVERNMENALINDUSTRIALHYGIENISTS，ACGIH）明確規(guī)定在每天工作8H或一周40H的情況下，連續(xù)工作不影響工作人體健康的硅烷氣體臨界濃度值（THRESHOLDLIMITVALUE,TLV）為005PPM。實(shí)際上，在工作環(huán)境中允許濃度是采用5PPM的基準(zhǔn)測定的。在低濃度混合氣體狀況下，由于泄漏在空氣中有一定的穩(wěn)定性，因此建議推薦使用硅烷氣體檢測器。在高濃度純氣體狀況下，因其泄漏可能燃燒成大量的二氧化硅SI02粉塵，因此可以推薦采用硅烷二氧硅SIH4SIOZ復(fù)合型的檢測器和紫外/紅外UV/IR監(jiān)測器。,空氣中允許的硅烷濃度為05PPM一級(jí)報(bào)警濃度為030PPM；二級(jí)報(bào)警濃度為060PPM。聽到報(bào)警，工作人員必須迅速撤離現(xiàn)場。在TFT制造中采用的是高純度的硅烷，對(duì)一氧化碳、二氧化碳、甲烷和水的含量都要求小于01PPM。對(duì)氮?dú)夂脱鯕鈿鍤獾暮恳惨∮?PPM。,2、磷烷,磷烷是制作N非晶硅的反應(yīng)氣體，其外觀無色，比空氣重，并有類似臭魚的味道，氣體經(jīng)壓縮液化后運(yùn)輸,,,磷烷雖然是一種劇毒氣體，但是在TIT制作工藝中，生產(chǎn)是在安全條件下進(jìn)行的。在TFT制造中采用的是高純度的磷烷，其工藝載氣氫氣也是高純度的。磷烷氣體純度要求在99999以上，工藝載氣氫氣的純度要求在9999999以上。工藝載氣氫氣對(duì)氧、一氧化碳、二氧化碳和甲烷的含量都要求小于05PPM，對(duì)氮?dú)夂退暮恳惨∮?PPM，磷烷對(duì)氫氣含量的要求小于005PPM，,,同一條件下生產(chǎn)的同一次出廠的為一批。不同批次的產(chǎn)品不要混淆。交貨時(shí)須同時(shí)提交產(chǎn)品原料純度檢驗(yàn)單。氣瓶上要明確記載氣體名稱、生產(chǎn)公司的產(chǎn)品編號(hào)、純度、填充日期等。,,磷烷在空氣中允許濃度為03PPM；一級(jí)報(bào)警濃度為025PPM；二級(jí)報(bào)警濃度為05PPM。聽到報(bào)警，工作人員必須迅速撤離現(xiàn)場。,,磷烷是具有自燃性的劇毒氣體，皮膚接觸液體，會(huì)造成刺激和凍傷。多次暴露的會(huì)潛在影響健康。吸入磷烷，會(huì)損害肺、心、肝、腎、中樞神經(jīng)系統(tǒng)和骨骼等。重復(fù)暴露在低濃度磷烷中，產(chǎn)生的癥狀包括支氣管炎、厭食、神經(jīng)系統(tǒng)問題，以及類似于急性中毒的癥狀。因此，使用時(shí)一定要注意安全操作。,3、氨氣,氨氣是合成絕緣層和保護(hù)膜的反應(yīng)氣體；,,氨氣為無色氣體，但有強(qiáng)烈刺鼻的氣味，在其濃度為20PPM時(shí)可以穩(wěn)定監(jiān)測。氨氣具有可燃性，會(huì)嚴(yán)重灼傷眼、皮膚及呼吸道。當(dāng)它在空氣中的濃度超過15％時(shí)，會(huì)有立即造成火災(zāi)及爆炸的危險(xiǎn)。當(dāng)氨氣大規(guī)模泄漏時(shí)，工作人員需要穿全身防護(hù)服，并立即隨時(shí)意識(shí)到潛在的火災(zāi)和爆炸危險(xiǎn)。氨氣的品質(zhì)純度要求為99999WT以上。使用中需要注意不同批號(hào)的產(chǎn)品不要混合使用。,4、笑氣,這是合成絕緣層和保護(hù)膜的反應(yīng)氣體。笑氣常溫下為無色氣體，略帶甜味，吸入能使人狂笑，是一種氧化劑化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不燃燒、不爆炸、無毒性，對(duì)呼吸道無刺激有助燃性，在室溫時(shí)穩(wěn)定，受高溫有爆炸危險(xiǎn)在300℃以上離解，能溶于水、乙醇、乙醚及濃硫酸其熔點(diǎn)為908℃1沸點(diǎn)為8849℃，蒸氣壓為5066KPA一58℃，臨界溫度為365℃，臨界壓力為7265KPA。笑氣品質(zhì)的純度要求為99999％以上。采購該原料要有質(zhì)量分析。,5、氫氣,氫氣是與硅烷合成非晶硅的反應(yīng)氣體。單質(zhì)氫氣是由兩個(gè)原子以共價(jià)單鍵的形式結(jié)合而成的雙原子分子，其鍵長為74PM。氫氣是已知的最輕的氣體,無色無味，幾乎不溶于水。氫氣的質(zhì)量只有空氣的1/1438，具有很大的擴(kuò)散速度和很高的導(dǎo)熱性。氫氣是一種密度最低的氣體，常溫常壓下，每立方分米氫氣重量不到009G。,,常溫下氫氣并不活潑，但是能與單質(zhì)氟在暗處迅速反應(yīng)，生成具有很強(qiáng)的腐蝕性的氫氟酸HF。氫氣具有可燃性，純凈的氫氣可在空氣里安靜燃燒，若氫氣與空氣或氧氣混合點(diǎn)燃則會(huì)發(fā)生爆炸。使用氫氣之前必須接受必要的上崗技術(shù)培訓(xùn)。高溫下，氫氣是一個(gè)非常好的還原劑。氫分子雖然很穩(wěn)定，但在高溫下，在電弧中，或進(jìn)行低壓放電，或在紫外線的照射下，氫分子能發(fā)生離解作用，得到原子氫。,6、氮?dú)?氮?dú)鉃闊o色、無味、無臭；化學(xué)性質(zhì)不活潑，是一種窒息性氣體氣體相對(duì)密度為12506，熔點(diǎn)為一20986℃，沸點(diǎn)為－1958℃。臨界溫度為－1471℃，臨界壓力為335MPA，常溫下其化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，當(dāng)加熱至560℃時(shí)，能被鎂、鈣、鋰和另外一些金屬所吸收；在更高溫度下能直接與氧和氫化合溶于水0℃時(shí)，233CM3100MLL水，40℃時(shí)142CM3100MLL水微溶于醇；液化溫度為7735K，固化溫度為632K在TFT工藝中，氮?dú)馐侵匾脑牧蠚怏w。它不僅在TFT成膜工藝中需要，在許多情況下，氮?dú)庖沧鳛楣ぷ鳉怏w使用。,,CVD工藝采用的氣體稱為工業(yè)特種氣體，簡稱為特氣。電子工業(yè)特氣大都具有一定的毒性，有的甚至是劇毒，有些具有易燃易爆的特性。因此，要求特氣的供應(yīng)和使用必須符合國家的工業(yè)環(huán)境保護(hù)和安全條件的要求，有報(bào)警系統(tǒng)、排風(fēng)和除害裝置，滅火、防爆都必須嚴(yán)格按照要求設(shè)置。,CVD設(shè)備廠家，AKT（第一），ULVAC第二）。,支持第8代的等離子CVD裝置,,,,,,2005年，美國應(yīng)用材料公司旗下的日本AKT公司開發(fā)出了面向第8代基板尺寸為2150MMX2450MMTFT液晶面板生產(chǎn)線的CVD設(shè)備“AKT50KPECVD”，2006年第一季度開始供貨。第8代生產(chǎn)線總處理極板能力和第7代生產(chǎn)線一樣，為60枚/小時(shí)，但等離子均勻性提高了。設(shè)備可配備裝載單元LOADLOCKCHAMBER和最多5臺(tái)的處理艙。基板處理能力分別為單層成膜時(shí)60枚/小時(shí)；N非晶硅、本征非晶硅、SIN絕緣膜3層連續(xù)成膜時(shí)30枚/小時(shí)。一條月產(chǎn)能為3萬枚的液晶面板生產(chǎn)線，需要導(dǎo)入56臺(tái)CVD設(shè)備。（深圳華星光電的產(chǎn)能9萬片\月，京東方8代線產(chǎn)能12萬片/月）,,第8代生產(chǎn)線的CVD處理艙仍舊使用在第7代生產(chǎn)線設(shè)備中引進(jìn)的等離子發(fā)生技術(shù)。第8代生產(chǎn)線的設(shè)置與第七代線的設(shè)置相比，提高了發(fā)生等離子的2個(gè)電極的平行度，進(jìn)一步提高了等離子密度的均勻性，解決了第7代生產(chǎn)線和第8代生產(chǎn)線大型基板中間與四周堆相膜厚的不穩(wěn)定性。從現(xiàn)在的技術(shù)發(fā)展來看，如果考慮成膜的均勻性，CVD設(shè)備可以支持3MX3M的基板。,,但是，對(duì)于第7代生產(chǎn)線以后的大型化，即使解決了均勻性問題，仍存在其他諸多問題。比如，由于產(chǎn)品的運(yùn)輸越來越難，因此必須到進(jìn)行現(xiàn)場組裝隨著加工設(shè)備的體積日益龐大，CVD設(shè)備的生產(chǎn)將會(huì)越來越困難泵與電源等外部設(shè)備的體積不斷增大，采購起來將會(huì)更加困難加工艙使用的鋁材料的采購目益困難，僅美國應(yīng)用材料APPLIEDKOMATSUTECHNOLOGY，AKT公司2004年大約采用了3100萬噸鋁材料，相當(dāng)于47架被音747飛機(jī)的鋁材料用量。波音公

簡介：,,建筑電氣工程設(shè)備安裝技術(shù)與工藝,1、設(shè)備基礎(chǔ)安裝工藝2、高低壓柜安裝工藝3、變壓器安裝工藝4、密集母線槽安裝5、電纜安裝敷設(shè)安裝工藝6、設(shè)備測試實(shí)驗(yàn),建筑電氣工程設(shè)備安裝技術(shù)與工藝,設(shè)備基礎(chǔ)安裝工藝槽鋼基礎(chǔ)制作方式1,,設(shè)備基礎(chǔ)安裝工藝槽鋼基礎(chǔ)制作方式2,在設(shè)備房的每個(gè)基礎(chǔ)槽鋼頂面選取不少于3個(gè)點(diǎn)，并用水準(zhǔn)儀測量其標(biāo)高并記錄測量值（在讀取塔尺數(shù)據(jù)時(shí)，應(yīng)看兩次數(shù)據(jù)避免看錯(cuò)），找到最高點(diǎn)，取最高點(diǎn)作為槽鋼安裝基準(zhǔn)標(biāo)高，若最高點(diǎn)低于地坪標(biāo)高則取地坪標(biāo)高為槽鋼安裝基準(zhǔn)標(biāo)高。,設(shè)備基礎(chǔ)安裝工藝槽鋼基礎(chǔ)制作方式3,對(duì)這部分預(yù)埋件制作中應(yīng)特別注意，必須保證預(yù)埋件槽鋼的平直度全長誤差不大于3MM（35KV開關(guān)柜基礎(chǔ)要求全長誤差不大于2MM）,焊接必須牢固，并滿足焊接工藝要求。,設(shè)備基礎(chǔ)安裝工藝槽鋼基礎(chǔ)制作方式4,清理基礎(chǔ)槽鋼安裝處的結(jié)構(gòu)層地面，按照施工圖的要求，全面復(fù)測結(jié)構(gòu)層的標(biāo)高，核對(duì)標(biāo)高是否滿足槽鋼安裝的要求，若有出入應(yīng)及時(shí)提出，提前處理。依據(jù)施工圖紙和現(xiàn)場預(yù)留孔洞情況用鋼卷尺、墨線在結(jié)構(gòu)地板上放樣出基礎(chǔ)槽鋼安裝基準(zhǔn)線。,如下圖所示接地支線扁鋼應(yīng)沿結(jié)構(gòu)層平躺敷設(shè)，敷設(shè)至基礎(chǔ)槽鋼后再麻花狀扭面，以扁鋼正面進(jìn)貼基礎(chǔ)槽鋼后滿焊，焊縫總長度不小于120MM，接地支線與接地干線搭接面不少于80MM。,,設(shè)備基礎(chǔ)安裝工藝槽鋼接地線制作,高低壓柜安裝工藝找正固定,開關(guān)柜找正固定1、將開關(guān)柜端部第一塊盤用小滾杠和撬棍移動(dòng)，使其柜邊與所打墨線完全重合。再用線墜測量其垂直度，不符合規(guī)范要求時(shí)，在柜底四角加墊鐵整，達(dá)到要求后，將柜體與基礎(chǔ)型鋼焊接固定。,開關(guān)柜找正固定2、用上述同樣方法將本列末端柜找正，但先不要焊接牢固，在首末兩柜前面中上部拉線，使線與柜距離在45CM左右，以線為基準(zhǔn)，將成列柜找直。3、從第二面柜起，依次將每面柜找正直，并邊連接邊固定，最后去掉線繩，將末端柜重新找正，連接固定好。,高低壓柜安裝工藝找正固定,,技術(shù)參數(shù)①柜體垂直度≤15/1000H,H為柜高②柜底焊接四角焊縫長20～40MM①線繩嚴(yán)禁觸動(dòng)，一經(jīng)觸動(dòng)，須重新核實(shí)。②相鄰兩柜頂部水平度誤差≤15MM,成列柜頂部水平度誤差≤4MM③鄰兩柜邊不平度應(yīng)為1MM,成列柜面不平≤4MM④柜間接縫間隙≤15MM⑤所有緊固件均采用鍍鋅件，螺栓露扣長度一致，在25扣之間。,高低壓柜安裝工藝水平間隙,變壓器安裝工藝基礎(chǔ)校正,基礎(chǔ)驗(yàn)收變壓器就位前，要先對(duì)基礎(chǔ)進(jìn)行驗(yàn)收?；A(chǔ)的中心與標(biāo)高應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，軌距與輪距應(yīng)互相吻合，具體要求1）軌道水平誤差不應(yīng)超過5MM。2）實(shí)際軌距不應(yīng)小于設(shè)計(jì)軌距，誤差不應(yīng)超過5MM3）軌面對(duì)設(shè)計(jì)標(biāo)高的誤差不應(yīng)超過±5MM,密集母線槽安裝安裝工序,一支、吊架安裝所用支吊架根據(jù)設(shè)計(jì)要求廠家配套供應(yīng)，其鋼材應(yīng)平直，無明顯扭曲，下料后長短偏差應(yīng)在5㎜范圍內(nèi)，切口處應(yīng)無卷邊、毛刺。成排橋架采用角鋼吊架，其余橋架采用圓鋼吊桿角鋼橫擔(dān)，固定支點(diǎn)間距根據(jù)橋架規(guī)格一般水平距離不大于15M至2M,垂直安裝的支架間距不大于2M。在進(jìn)出接線盒、箱、柜、轉(zhuǎn)角、轉(zhuǎn)彎和變形縫兩端及丁字接頭的三端500㎜以內(nèi)應(yīng)設(shè)置固定支持點(diǎn)。豎井內(nèi)支架安裝時(shí),如墻壁為非承重墻則在樓板處必須設(shè)置支架以滿足荷載要求。支架與吊架應(yīng)安裝牢固，保證橫平豎直，有坡度部位支吊架安裝應(yīng)與其保持相同坡度。支吊架距上層樓板不應(yīng)小于150至200MM，嚴(yán)禁采用木磚固定支架與吊架。,密集母線槽安裝支架吊裝,二、電纜橋架安裝1）橋架直線段連接應(yīng)采用專用連接板、連接螺栓、平墊、彈墊螺母鎖緊，螺母應(yīng)位于橋架外側(cè)，接茬處應(yīng)縫隙嚴(yán)密平齊。所有連接應(yīng)牢固可靠，確保電纜橋架接地要求。2）橋架進(jìn)行交叉、轉(zhuǎn)彎、丁字連接時(shí)，應(yīng)采用相應(yīng)單通、二通、三通或平面二通、平面三通等進(jìn)行變通連接，導(dǎo)線接頭處應(yīng)設(shè)置接線盒。3）豎井內(nèi)特殊部位電纜橋架連接較復(fù)雜，此部分非標(biāo)件由廠家根據(jù)現(xiàn)場實(shí)際情況進(jìn)行加工，以確保安裝后的整體觀感。4）橋架與盒、箱、柜等接茬時(shí)進(jìn)線和出線口等處應(yīng)采用抱腳連接，并用螺絲緊固，末端應(yīng)加裝封堵。5）橋架經(jīng)過建筑物的變形縫時(shí)線槽本身應(yīng)斷開，橋架內(nèi)用內(nèi)連接板搭接，不需固定。,密集母線槽安裝橋架安裝,6）電纜橋架安裝如直線段長度超過30M，應(yīng)加裝伸縮。7）建筑物的表面如有坡度時(shí)，電纜橋架應(yīng)隨其變化坡度，待橋架全部敷設(shè)完畢后，應(yīng)在配線之前進(jìn)行調(diào)整檢查。確認(rèn)合格后，再進(jìn)行槽內(nèi)配線。8）電纜橋架轉(zhuǎn)彎處安裝時(shí)應(yīng)充分考慮其內(nèi)電纜的彎曲半徑，確保滿足電纜最小彎曲半徑要求。9）電纜橋架安裝前應(yīng)考慮現(xiàn)場情況，滿足與其它管道的最小凈,密集母線槽安裝橋架安裝,電纜安裝敷設(shè)工藝流程,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝分類,電纜的敷設(shè)方式一般分為直埋敷設(shè)電纜溝敷設(shè)電纜隧道敷設(shè)排管敷設(shè)架空敷設(shè)水底電纜的敷設(shè)其中電纜溝有普通電纜溝和充砂電纜溝兩種。架空敷設(shè)分電纜架空廊道即電纜橋、沿建、構(gòu)筑物采用支架或梯架敷設(shè)及鋼索懸掛幾種。各種敷設(shè)方式均有優(yōu)缺點(diǎn)，采用何種敷設(shè)方式，由具體情況決定。一般要考慮城市及企業(yè)的發(fā)展規(guī)劃，現(xiàn)有建筑物的密度，電纜線路的長度，敷設(shè)電纜的條件及周圍環(huán)境的影響等。,敷設(shè)的基本要求對(duì)不同的電纜敷設(shè)方式有不同的技術(shù)要求，但對(duì)各種敷設(shè)方式都有共同的基本要求，主要有如下幾點(diǎn)。①油浸紙絕緣電纜敷設(shè)的最低點(diǎn)與最高點(diǎn)之間的最大位差應(yīng)不超過規(guī)程的規(guī)定。若超過規(guī)定，可選擇適合高落差的其他形式電纜，如不滴流浸漬紙絕緣或塑料絕緣等，必要時(shí)也可采用堵油中間接頭。②為防止損傷電纜絕緣，不應(yīng)使電纜過度彎曲。各種電纜最小允許彎曲半徑與電纜外徑比值應(yīng)不小于紙絕緣電纜為15倍，橡皮或塑料絕緣電纜為10倍。③電纜支撐點(diǎn)的間距應(yīng)符合下列規(guī)定水平敷設(shè)時(shí)，電纜外徑大于50MM的為1000MM，電纜外徑小于50MM的為600MM垂直敷設(shè)時(shí)，每隔1000～1500MM應(yīng)加以固定。④在可能受到機(jī)械損傷的地方，如進(jìn)入建筑物、隧道，穿過樓板及墻壁，從溝道引至電桿、設(shè)備、墻壁表面等，距地面高度2M以下的一段電纜需穿鋼管或加保護(hù)罩，鋼管內(nèi)徑為電纜外徑的15倍，保護(hù)管埋入地面不小于100MM。⑤敷設(shè)在廠房內(nèi)、隧道內(nèi)和不填砂電纜溝內(nèi)的電纜，應(yīng)采用裸鎧裝或非易燃性外護(hù)層電纜。電纜如有接頭，應(yīng)在接頭周圍采取防止火焰蔓延的措施。,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝基本要求,1．適用范圍直埋敷設(shè)是將電纜直接埋在地下，具有投資小、施工方便和散熱條件好等優(yōu)點(diǎn)，是最經(jīng)濟(jì)而廣泛采用的一種敷設(shè)方法。采用這種敷設(shè)方法，并排敷設(shè)的電纜之間需有一定的砂層間隔，這樣當(dāng)一根電纜發(fā)生故障時(shí)，波及另一根電纜的可能性減小，提高了供電的可靠性。但這種敷設(shè)方式電纜易受地中腐蝕性物質(zhì)的侵蝕，且查找故障和檢修電纜不便，特別是在冬季土壤凍結(jié)時(shí)事故搶修難度很大。這種方式適用于地下無障礙，土壤中不含嚴(yán)重酸、堿、鹽腐蝕性介質(zhì)，電纜根數(shù)較少的場合，如郊區(qū)或車輛通行不太頻繁的地方。2．技術(shù)要求①直埋電纜一般應(yīng)選用鎧裝電纜。只有在修理電纜時(shí)，才允許用短段無鎧裝電纜，但必須外加機(jī)械保護(hù)。選擇直埋電纜線路時(shí)，應(yīng)注意直埋電纜周圍泥土應(yīng)不含有腐蝕電纜金屬包皮的物質(zhì)。②電纜表面距地面的距離應(yīng)不小于07M。冬季土壤凍結(jié)深度大于07M的地區(qū)，可適當(dāng)加大埋設(shè)深度，使電纜埋于凍土層以下。引入建筑物或與地下障礙物交叉時(shí)可淺一些，但不得小于03M，且應(yīng)采取保護(hù)措施。③電纜相互水平接近時(shí)的最小凈距是L0KV及以下電纜為01ML0KV以上為025M不同使用部門的電纜包括通訊電纜為05M，若電纜用隔板隔開時(shí)可降為01M，穿管時(shí)不作規(guī)定。④電纜互相交叉時(shí)的最小凈距為05M，在交叉點(diǎn)前后LM范圍內(nèi)用隔板隔開時(shí)降為025M，穿管時(shí)不作規(guī)定。,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝直埋敷設(shè),⑤電纜直埋敷設(shè)時(shí)，壕溝底必須具有良好的土層，不應(yīng)有石塊或其他硬質(zhì)雜物，否則應(yīng)鋪100MM的軟土或砂層。電纜敷好后，上面再鋪100MM的軟土或砂層。然后沿電纜全長蓋混凝土保護(hù)板，覆蓋寬度應(yīng)超出電纜兩側(cè)50MM。在特殊情況下，也允許用磚代替混凝土保護(hù)板。⑥為便于檢修，禁止將電纜平行敷設(shè)在管道的上面或下面，也禁止將一條電纜平行地敷設(shè)在另一條電纜的上面。電纜與地下管道接近與交叉的最小凈距與熱力管道包括石油管道接近時(shí)為2M，交叉時(shí)為05M，與其他管道接近或交叉時(shí)為05M。如對(duì)熱力管道采取適當(dāng)措施，便埋置電纜地點(diǎn)的土壤溫升在任何時(shí)間均不超過L0℃，對(duì)其他管道采取適當(dāng)?shù)谋Ｗo(hù)措施時(shí)，則上述凈距不作規(guī)定。⑦電纜與城市街道、公路、鐵路或排水溝交叉時(shí)應(yīng)穿鋼管保護(hù)。管內(nèi)徑不小于電纜外徑的15倍，且不小于100M。管頂距路軌底或路面的深度不小于LM，距排水溝底不小于05M，距城市街道路面的深度不小于07M。管長兩端應(yīng)伸出公路和軌道2M，在城市街道，應(yīng)伸出車道路面。當(dāng)電纜與直流電氣化鐵路交叉時(shí)，應(yīng)有適當(dāng)?shù)姆牢g措施。⑧電纜中間接頭盒外面應(yīng)有防止機(jī)械損傷的保護(hù)盒塑料電纜中間接頭例外。⑨敷設(shè)在郊區(qū)及空曠地帶的電纜線路，應(yīng)豎立電纜位置的標(biāo)志。,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝直埋敷設(shè),適用范圍在發(fā)電廠、變配電站及一般工礦企業(yè)的生產(chǎn)裝置內(nèi)，均可采用電纜溝敷設(shè)的方式。但地下水位太高的地區(qū)不宜采用電纜溝敷設(shè)，否則溝內(nèi)長年積水，不便維護(hù)，若水中含有腐蝕性介質(zhì)會(huì)損壞電纜，化工企業(yè)就是這種情況。電纜溝的形式有兩種，一般場所可采用普通電纜溝，結(jié)構(gòu)如圖32。在有比空氣重的爆炸介質(zhì)的爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)場所可采用充砂電纜溝。充砂電纜溝內(nèi)不用安裝電纜支架，其結(jié)構(gòu)如圖33所示。,,圖32普通電纜溝圖33充沙電纜溝,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜溝敷設(shè),電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜溝敷設(shè),2技術(shù)要求①電纜溝一般由磚砌成，溝頂部和地面齊平的地方可用鋼筋混凝土蓋板或鋼板蓋住，電纜可直接放在溝底或用電纜支架承托。為保持電纜溝干燥，應(yīng)適當(dāng)采取防止地下水流入溝內(nèi)的措施，還應(yīng)在溝內(nèi)設(shè)置適當(dāng)數(shù)量的積水坑。②電纜在溝內(nèi)宜保持表312所列的最小允許距離。表312電纜溝各部位的最小允許距離MM,充沙電纜溝內(nèi)，電纜平行敷設(shè)在溝中，電纜間凈距不小于35MM，層間凈距不小于100MM，中間填滿砂子。③溝的全長應(yīng)裝設(shè)連續(xù)的接地線，接地線兩頭與接地極相連。,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜隧道敷設(shè),1．適用范圍電纜隧道敷設(shè)維護(hù)檢修方便，在運(yùn)行中異?，F(xiàn)象較容易發(fā)現(xiàn)，又不易受外界的各種損傷，同時(shí)能容納較多的電纜。但它滲水嚴(yán)重，比空氣重的爆炸性混合物進(jìn)入隧道會(huì)威脅安全。這種方式適用于地下水位低，配電電纜較集中的電力主干線，一般敷設(shè)大截面電纜30根以上。2．技術(shù)要求①電纜在隧道內(nèi)宜保持表313所列的最小允許距離。表313電纜隧道各部位的最小允許距離MM,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝排管敷設(shè),1．適用范圍在市區(qū)街道敷設(shè)多條電纜，在不宜建造電纜溝和電纜隧道的情況下，可采用排管。排管敷設(shè)具有下列優(yōu)點(diǎn)①減少了對(duì)電纜的外力破壞和機(jī)械損傷②消除了土壤中有害物質(zhì)對(duì)電纜的化學(xué)腐蝕③檢修或更換電纜迅速方便④隨時(shí)可以敷設(shè)新的電纜而不必挖開路面。2．技術(shù)要求①敷設(shè)在排管內(nèi)的電纜應(yīng)使用加厚的裸鉛包域塑料護(hù)套電纜。排管應(yīng)使用對(duì)電纜金屬包皮沒有化學(xué)作用的材料做成，排管內(nèi)表面應(yīng)光滑，管的內(nèi)徑不小于電纜外徑的15倍，且不小于100MM。②為便于檢查和敷設(shè)電纜，每隔一段距離應(yīng)設(shè)置電纜入井，如圖34所小。電纜入井的間距可按電纜的制造長度和地理位置而定，考慮電纜中間接頭的安裝、維護(hù)和檢修是否方便。排管通向入井應(yīng)不小于1/1000的傾斜度，以便管內(nèi)的水流向入井內(nèi)。,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝架空敷設(shè),1．適用范圍在工礦企業(yè)內(nèi)部，特別是發(fā)電廠、化工廠，一般地下管道和排水溝都比較多，在酸堿等工廠中，其廠房內(nèi)及附近的土壤中含有嚴(yán)重的腐蝕性介質(zhì)，因而在很多場合，直埋和電纜溝等敷設(shè)方法都不適合，此時(shí)往往采用架空敷設(shè)的方法。電纜架空敷設(shè)的路徑選擇余地大，配置靈活，與管道交叉容易處理。它不受地下水、地下腐蝕介質(zhì)和比空氣重的爆炸危險(xiǎn)物質(zhì)聚積等條件的影響，也不受地下管道和水溝的限制。電纜架空敷設(shè)可有以下三種形式。1支架和梯架敷設(shè)適用于廠房內(nèi)、廠房間的配電線路。它結(jié)構(gòu)簡單，敷設(shè)方便，適用于各種情況，在電纜根數(shù)不太多的配電線路中尤為適宜。它可利用墻壁、房梁或工藝管道架作為安裝支柱，節(jié)省材料，還有引線方便的優(yōu)點(diǎn)。2架空廊道即電纜橋敷設(shè)適用于電纜根數(shù)很多，負(fù)荷又較集中的室外主要供配電線路，如從總變到各高壓配電所、廠房的線路。電纜橋也可與工藝管道合用支柱。3鋼索懸掛敷設(shè)適用于電纜根數(shù)少，地下敷設(shè)有困難的場合，或用于短期使用的臨時(shí)設(shè)備。這種方式施工方便，在生產(chǎn)變動(dòng)或?qū)M(jìn)度要求很急時(shí)，能縮短工期。2．技術(shù)要求①電纜與熱力管架或熱力設(shè)備之間的凈距，平行時(shí)應(yīng)不小于1M，交叉時(shí)應(yīng)不小于05M。如無法達(dá)到時(shí)，采取隔熱保護(hù)措施。電纜盡量不要平行敷設(shè)于熱力管道的上方。②室外敷設(shè)的電纜應(yīng)盡量避免太陽直接照射，必要時(shí)應(yīng)加遮陽罩。,架空敷設(shè),電纜安裝敷設(shè)安裝工藝,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝水底電纜的敷設(shè),1水底電纜應(yīng)是整根的。當(dāng)整根電纜超過制造廠的制造能力時(shí)，可采用軟接頭連接。2通過河流的電纜，應(yīng)敷設(shè)于河床穩(wěn)定及河岸很少受到?jīng)_損的地方。在碼頭、錨地、港灣、渡口及有船停泊處敷設(shè)電纜時(shí)，必須采取可靠的保護(hù)措施。當(dāng)條件允許時(shí)，應(yīng)深埋敷設(shè)。3水底電纜的敷設(shè)，必須平放水底，不得懸空。當(dāng)條件允許時(shí)，宜埋入河床海底05M以下。4水底電纜平行敷設(shè)時(shí)的間距不宜小于最高水位水深的2倍；當(dāng)埋入河床海底以下時(shí)，其間距按埋設(shè)方式或埋設(shè)機(jī)的工作活動(dòng)能力確定。5水底電纜引到岸上的部分應(yīng)穿管或加保護(hù)蓋板等保護(hù)措施，其保護(hù)范圍，下端應(yīng)為最低水位時(shí)船只擱淺及撐篙達(dá)不到之處；上端高于最高洪水位。在保護(hù)范圍的下端，電纜應(yīng)固定。6電纜線路與小河或小溪交叉時(shí)，應(yīng)穿管或埋在河床下足夠深處。7在岸邊水底電纜與陸上電纜連接的接頭，應(yīng)裝有錨定裝置。8水底電纜的敷設(shè)方法、敷設(shè)船只的選擇和施工組織的設(shè)計(jì)，應(yīng)按電纜的敷設(shè)長度、外徑、重量、水深、流速和河床地形等因素確定。9水底電纜的敷設(shè)，當(dāng)全線采用盤裝電纜時(shí)，根據(jù)水域條件，電纜盤可放在岸上或船上，敷設(shè)時(shí)可用浮筒浮托，嚴(yán)禁使電纜在水底拖拉。10水底電纜不能盤裝時(shí)，應(yīng)采用散裝敷設(shè)法。其敷設(shè)程序應(yīng)先將電纜圈繞在敷設(shè)船倉內(nèi)，再經(jīng)倉頂高架、滑輪、剎車裝置至入水槽下水，用拖輪綁拖，自航敷設(shè)或用鋼纜牽引敷設(shè)。,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝水底電纜的敷設(shè),11敷設(shè)船的選擇，應(yīng)符合下列條件一、船倉的容積、甲板面積、穩(wěn)定性等應(yīng)滿足電纜長度、重量、彎曲半徑和作業(yè)場所等要求。二、敷設(shè)船應(yīng)配有剎車裝置、張力計(jì)量、長度測量、入水角、水深和導(dǎo)航、定位等儀器，并配有通訊設(shè)備。12水底電纜敷設(shè)應(yīng)在小潮汛、憩流或枯水期進(jìn)行，并應(yīng)視線清晰，風(fēng)力小于五級(jí)。13敷設(shè)船上的放線架應(yīng)保持適當(dāng)?shù)耐伺じ叨?。敷設(shè)時(shí)根據(jù)水的深淺控制敷設(shè)張力，應(yīng)使其入水角為30°～60°；采用牽引頂推敷設(shè)時(shí)，其速度宜為20～30M/MIN；采用拖輪或自航牽引敷設(shè)時(shí)，其速度宜為90～150M/MIN。14水底電纜敷設(shè)時(shí)，兩岸應(yīng)按設(shè)計(jì)設(shè)立導(dǎo)標(biāo)。敷設(shè)時(shí)應(yīng)定位測量，及時(shí)糾正航線和校核敷設(shè)長度。15水底電纜引到岸上時(shí)，應(yīng)將余線全部浮托在水面上，再牽引至陸上。浮托在水面上的電纜應(yīng)按設(shè)計(jì)路徑沉入水底。16水底電纜敷設(shè)后，應(yīng)作潛水檢查，電纜應(yīng)放平，河床起伏處電纜不得懸空。并測量電纜的確切位置。在兩岸必須按設(shè)計(jì)設(shè)置標(biāo)志牌。,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝工作準(zhǔn)備,敷設(shè)電纜工作量大，需要入員多，施工現(xiàn)場情況復(fù)雜。欲使敷設(shè)電纜工作能順利進(jìn)行，必須進(jìn)行周密的準(zhǔn)備和合理的組織。一、電纜敷設(shè)前的準(zhǔn)備1電纜的準(zhǔn)備先校對(duì)電纜清冊(cè)上的電纜長度是否正確，再逐根測量一次長度，并以此作為依據(jù)進(jìn)行準(zhǔn)備。備料時(shí)應(yīng)仔細(xì)計(jì)算和合理安排，盡量少剩不能利用的短頭。電纜的型號(hào)、規(guī)格應(yīng)與圖紙相符。在將電纜運(yùn)至施工現(xiàn)場之前，應(yīng)對(duì)所有電纜逐盤進(jìn)行檢查，對(duì)3KV以上重要電纜的絕緣有懷疑時(shí)，應(yīng)測量其絕緣電阻。如根據(jù)所測得的絕緣電阻值仍無法判斷其結(jié)果時(shí)，還應(yīng)做直流耐壓試驗(yàn)。2敷設(shè)現(xiàn)場的準(zhǔn)備工作電纜敷設(shè)的全部路徑上應(yīng)具備安全施工措施。在施工不便的高處應(yīng)搭腳手架，照明不佳的場所應(yīng)裝設(shè)足夠的臨時(shí)照明，在電纜轉(zhuǎn)彎、豎井上下、穿過建筑物及電纜夾層、溝道的入口處等結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜的部位，應(yīng)根據(jù)具體情況，作好各種臨時(shí)性的安全措施，如掛設(shè)導(dǎo)向用的專用滑輪，臨時(shí)綁扎一些限制、支撐電纜用的圓杠等。對(duì)于敷設(shè)路徑全線各點(diǎn)的安全措施，施工組織者一定要逐一細(xì)心考慮，不能有絲毫的疏忽和馬虎。,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜敷設(shè)前的準(zhǔn)備,3根據(jù)現(xiàn)場實(shí)際情況確定施工方案敷設(shè)電纜的施工方案主要包括確定電纜敷設(shè)的先后順序和電纜盤的放設(shè)位置等。在工廠企業(yè)內(nèi)部，設(shè)備擁擠，地形復(fù)雜，很少采用機(jī)械牽引敷設(shè)電纜的方法，一般都是人工敷設(shè)。根據(jù)一般的經(jīng)驗(yàn)，電纜敷設(shè)應(yīng)按區(qū)域進(jìn)行，敷設(shè)的順序?yàn)橄确笤O(shè)集中的電纜，再敷設(shè)分散的電纜先敷設(shè)截面較大的電纜，再敷設(shè)截面較小的電纜先敷設(shè)較長的電纜，再敷設(shè)較短的電纜。這樣安排，不但有利于人員的調(diào)度，而且也便于電纜的合理排放。電纜盤的放設(shè)位置，一是考慮具有放置電纜盤的平面空間，二是考慮應(yīng)放置在引出電纜較為集中的地方，一般是在靠近變電所、配電室附近找一個(gè)適當(dāng)?shù)奈恢?。位置的選擇一定要合理，否則會(huì)增加很多不必要的麻煩。4人力的準(zhǔn)備人工敷設(shè)電纜需調(diào)集較多的入員，在安排人員時(shí)，一些轉(zhuǎn)彎、穿過建筑物、豎井等重要位置，應(yīng)安排具有敷設(shè)經(jīng)驗(yàn)的電工，以免影響敷設(shè)質(zhì)量。對(duì)于電纜敷設(shè)量較大、線路較長及地形較復(fù)雜的情況，為了使每個(gè)參加敷設(shè)電纜的入員明確自己的所在位置，最好能繪制一張簡單明了的電纜敷設(shè)入員配置圖，使大家清楚自己所負(fù)責(zé)的崗位。5．電纜敷設(shè)前的檢查核實(shí)在正式敷設(shè)電纜之前，組織者應(yīng)對(duì)施工準(zhǔn)備情況做最后一次檢查核實(shí)。檢查核實(shí)的內(nèi)容有電纜的準(zhǔn)備情況，電纜敷設(shè)現(xiàn)場的安全措施、敷設(shè)路徑是否暢通，是否有與其他設(shè)備、管道相抵觸的情況等。并將定崗位的入員領(lǐng)至現(xiàn)場，讓他們對(duì)自己的崗位進(jìn)行仔細(xì)檢查，對(duì)施工的安全措施作進(jìn)一步的完善。,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝現(xiàn)場指揮和敷設(shè)電纜注意事項(xiàng),1．現(xiàn)場指揮入工敷設(shè)電纜需要入員多，組織者應(yīng)對(duì)所有參加入員交代敷設(shè)的大概順序和各項(xiàng)安全注意事項(xiàng)。敷設(shè)電纜時(shí)應(yīng)安排專人領(lǐng)線，專人施號(hào)，專人傳送信號(hào)和專人檢查。對(duì)電纜敷設(shè)量多，現(xiàn)場地形復(fù)雜的場所宜裝設(shè)高音喇叭進(jìn)行統(tǒng)一施號(hào)指揮，一般情況可用手提式擴(kuò)音器。領(lǐng)線者、放電纜盤人員與指揮者之間的聯(lián)系可用無線對(duì)講機(jī)進(jìn)行。若用牽引機(jī)械敷設(shè)時(shí)，應(yīng)設(shè)專人控制，前后密切配合，行動(dòng)一致，當(dāng)其中一臺(tái)機(jī)械停轉(zhuǎn)時(shí)，其他各臺(tái)應(yīng)立即停止運(yùn)轉(zhuǎn)，以防止電纜局部拉傷。2敷設(shè)電纜注意事項(xiàng)①敷設(shè)電纜前應(yīng)檢查電纜絕緣，6～10KV電纜用2500V搖表，其絕緣電阻值不低于100MΩ3KV及以下電纜用1000V搖表，其絕緣電阻值不低于50MΩ。對(duì)絕緣有懷疑時(shí)應(yīng)進(jìn)行耐壓試驗(yàn)，確認(rèn)合格后方可敷設(shè)。②電纜應(yīng)纏在電纜盤上搬運(yùn)。短電纜可按電纜最小允許彎曲半徑卷成圈，四處捆緊后搬運(yùn)。在運(yùn)輸過程中不應(yīng)使電纜及電纜盤受到損傷。電纜盤只允許短距離滾動(dòng)，為防止電纜松散，滾動(dòng)方向必須順著電纜纏緊的方向。③架設(shè)電纜盤時(shí)應(yīng)注意電纜的纏繞方向，拉電纜時(shí)應(yīng)使電纜從盤的上方引出，否則電纜盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)會(huì)使盤上電纜松散。電纜盤應(yīng)由入惟其轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)運(yùn)速度要與拉電纜的速度配合，不能靠電纜的拉力使電纜盤轉(zhuǎn)動(dòng)。放出來的電纜要由入拿著或放在木滾上，電纜不能在地面或支架上摩擦。④為防止損傷電纜絕緣，不應(yīng)使電纜過度彎曲，各種電纜最小允許彎曲半徑不能小于規(guī)定值。在彎曲處，拉電纜的入應(yīng)站在電纜所受合力的相反方向。,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝現(xiàn)場指揮和敷設(shè)電纜注意事項(xiàng),⑤高、低壓電纜與控制電纜應(yīng)分開排放，當(dāng)放于同一支架上時(shí)，自上層至下層的排列順序是從高壓到低壓，控制電纜放在最下層，電壓等級(jí)最高的放在最高層，以防止故障時(shí)電氣事故的擴(kuò)大。電纜排放應(yīng)整齊，轉(zhuǎn)彎處所有電纜都應(yīng)一致地、相互平行地轉(zhuǎn)彎。十字交叉處應(yīng)盡量將交叉電纜布置在底部或內(nèi)側(cè)，使明顯外露部分排列整齊。⑥電纜敷設(shè)時(shí)，在電纜終端頭與電纜接頭附近可留有備用長度，直埋電纜應(yīng)在全長上留少量裕度，并作波浪形敷設(shè)。架空和電纜溝及電纜隧道內(nèi)敷設(shè)的電纜應(yīng)剝?nèi)ヂ閷?，并涂防腐瀝青漆。⑦為避免差錯(cuò)和便于維護(hù)，電纜敷設(shè)后應(yīng)及時(shí)掛標(biāo)志牌，電纜兩端及明敷時(shí)進(jìn)出建筑物和交叉、拐彎處都應(yīng)懸掛標(biāo)志牌。⑧在冬季低溫下電纜會(huì)變硬，敷設(shè)時(shí)電纜絕緣易受損傷。因此，如電纜存放地點(diǎn)在敷設(shè)前24小時(shí)內(nèi)的平均溫度以及敷設(shè)時(shí)現(xiàn)場溫度低于下列數(shù)值時(shí)，應(yīng)將電纜預(yù)先加熱浸漬紙絕緣電纜0℃橡皮絕緣橡皮或聚氯乙烯護(hù)套電纜15℃塑料絕緣塑料護(hù)套電纜10℃。預(yù)熱的方法有兩種。一種是用提高周圍空氣溫度的方法加熱，一般可將電纜運(yùn)至有暖氣的室內(nèi)或裝有安全火爐的帳篷里，利用較高溫度的空氣對(duì)電纜進(jìn)行預(yù)熱。用這種方法，當(dāng)室溫為510℃時(shí)需3晝夜，25℃需1晝夜，40℃時(shí)只需18小時(shí)左右。預(yù)熱后的電纜應(yīng)在1小時(shí)內(nèi)敷設(shè)完。另一種方法是用電流通過電纜線芯使電纜本身發(fā)熱。用這種方法加熱，可在很短時(shí)間里把電纜均勻地加熱到所需溫度，但應(yīng)注意，所加電流不應(yīng)大于電纜的允許載流量，電纜表面溫度不應(yīng)超過40℃，且不能低于5℃。⑨切斷電纜時(shí)，應(yīng)根據(jù)設(shè)備接線端子的位置，并考慮檢修、驗(yàn)潮等需要，確定應(yīng)留長度。鋸口兩端的鋼帶先用鐵絲臨時(shí)綁扎牢固，以防止松脫。鋸電纜時(shí)，應(yīng)將鋸口部位的電纜墊高以防夾鋸。浸漬紙絕緣電纜鋸斷后應(yīng)立即進(jìn)行封鉛，以防電纜受潮。塑料電纜切斷后也應(yīng)有可靠的防潮封端。,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜敷設(shè)常用的工具,JSD系列電纜輸送機(jī),井口滑車,提升機(jī),ZCL轉(zhuǎn)彎滑車,HCL直滑車,ZCL轉(zhuǎn)彎滑車,JQY－18電纜牽引機(jī),ZCL轉(zhuǎn)彎滑車,HCL直滑車,ZCL轉(zhuǎn)彎滑車,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜敷設(shè)時(shí)的機(jī)具準(zhǔn)備,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜敷設(shè)的樣例圖片,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜頭制作,冷縮式戶外終端,剝電纜外護(hù)套,焊接底線,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜頭結(jié)構(gòu)介紹,縮冷縮絕緣管,剝銅屏蔽層,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜頭結(jié)構(gòu)介紹,縮冷縮絕緣管,剝銅屏蔽層,剝外導(dǎo)電層,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜頭制作的尺寸要求,剝線芯絕緣,安裝冷縮終端,安裝罩帽,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜頭制作,壓接線端子和連接地線,電纜處理,裝套零部件,壓接連接金具,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜頭制作,裝套零部件,壓接連接金具,電纜處理,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜頭制作,剝線芯絕緣,打磨絕緣表皮,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜頭制作,裝套零部件、壓連接管,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜頭制作,裝套零部件、壓連接管,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜頭制作,焊過橋線,繞包第二層防水帶,縮“冷縮”接頭主體、包銅網(wǎng),繞包第一層防水帶,電纜安裝敷設(shè)安裝工藝電纜頭制作,設(shè)備測試實(shí)驗(yàn)（電纜）,為了測試高壓電纜的絕緣性能和運(yùn)行狀況串聯(lián)補(bǔ)償諧振法,設(shè)備測試實(shí)驗(yàn)（高壓柜）,高壓開關(guān)柜試驗(yàn)項(xiàng)目組成高壓開關(guān)柜由柜體、母線、分支母線、小母線、套管、端子板、綜保儀表、靜觸頭、真空斷路器、電流互感器、接地刀、過電壓保護(hù)器、傳感器、帶電顯示器組成。,設(shè)備測試實(shí)驗(yàn)（高壓柜）,真空斷路器1）測量絕緣電阻用2500V搖表分別測量AB、C及地BA、C及地CA、B及地1分鐘時(shí)絕緣電阻值并記錄。2）交流耐壓試驗(yàn)手動(dòng)合上斷路器，將交流耐壓設(shè)備與A相相連，B、C相短封并接地，緩慢升壓至試驗(yàn)值，同時(shí)注意觀察現(xiàn)象，持續(xù)1分鐘。無擊穿閃絡(luò)現(xiàn)象為耐壓合格。B、C相試驗(yàn)與A相相同。分開斷路器，將斷路器上口A、B、C短接并與交流耐壓設(shè)備相連，下口A、B、C短接并接地，緩慢升壓至試驗(yàn)值，同時(shí)注意觀察現(xiàn)象，持續(xù)1分鐘。無擊穿閃絡(luò)現(xiàn)象為斷口合格。3）測量每相導(dǎo)電部分的回路電阻手動(dòng)合上斷路器，用雙臂電橋或回路電阻測試儀分別測量A、B、C三相導(dǎo)電部分的回路電阻三次取平均值并記錄。4）測量主觸頭分合閘時(shí)間、同期性、合閘時(shí)觸頭彈跳時(shí)間在額定電壓下用毫秒計(jì)分別測量斷路器分合閘時(shí)間。5）操縱機(jī)構(gòu)試驗(yàn)（手、自動(dòng)分別分合斷路器三次，觀察是否動(dòng)作可靠，指示正確。）,設(shè)備測試實(shí)驗(yàn)（高壓柜）,綜合保護(hù)器1）傳動(dòng)試驗(yàn)在綜合保護(hù)器上分合斷路器，觀察是否動(dòng)作可靠，指示正確。2測量及保護(hù)試驗(yàn)根據(jù)電流互感器變比，在一次側(cè)分段加入標(biāo)準(zhǔn)電流值，然后分段返回觀察綜保測量顯示是否準(zhǔn)確并記錄及計(jì)算誤差。分別設(shè)定保護(hù)定值及時(shí)間，合上斷路器，分相加入整定電流值，觀察斷路器是否可靠動(dòng)作，并用毫秒計(jì)分別測量斷路器分閘時(shí)間。,設(shè)備測試實(shí)驗(yàn)（高壓柜）,電流互感器電壓互感器、變壓器1）絕緣電阻用2500V搖表測量變壓器一次側(cè)絕緣電阻，將二次側(cè)短接并接地，記錄R60/R15值。用500V搖表測量變壓器二次側(cè)絕緣電阻，

簡介：1建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表編制說明建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表編制說明建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表由具有從事環(huán)境影響評(píng)價(jià)工作資質(zhì)的單位編制。⒈項(xiàng)目名稱指項(xiàng)目立項(xiàng)批復(fù)時(shí)的名稱，應(yīng)不超過30個(gè)字符兩個(gè)英文字段作一個(gè)漢字。⒉建設(shè)地點(diǎn)指項(xiàng)目所在地詳細(xì)地址，公路、鐵路應(yīng)填寫起止地點(diǎn)。⒊行業(yè)類別按國標(biāo)填寫。⒋總投資指項(xiàng)目投資總額。⒌主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)指項(xiàng)目區(qū)周圍一定范圍內(nèi)集中居民住宅區(qū)、學(xué)校、醫(yī)院保護(hù)文物、風(fēng)景名勝區(qū)、水源地和生態(tài)敏感點(diǎn)等，應(yīng)盡可能給出保護(hù)目標(biāo)、性質(zhì)、規(guī)模和距廠界距離等。⒍結(jié)論與建議給出本項(xiàng)目清潔生產(chǎn)、達(dá)標(biāo)排放和總量控制的分析結(jié)論，確定污染防治措施的有效性，說明本項(xiàng)目對(duì)環(huán)境造成的影響，給出建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境可行性的明確結(jié)論。同時(shí)提出減少環(huán)境影響的其它建議。⒎預(yù)審意見由行業(yè)主管部門填寫答復(fù)意見，無主管部門項(xiàng)目，可不填。⒏審批意見由負(fù)責(zé)審批該項(xiàng)目的環(huán)境保護(hù)行政主管部門批復(fù)。3糖生產(chǎn)線（葡萄糖生產(chǎn)線、麥芽糖漿生產(chǎn)線、麥芽糊精生產(chǎn)線）進(jìn)行工藝技術(shù)提升改造。依據(jù)國民經(jīng)濟(jì)行業(yè)分類（2017版），本項(xiàng)目行業(yè)類別為C1391淀粉及淀粉制品制造。根據(jù)中華人民共和國環(huán)境影響評(píng)價(jià)法、建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例、建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)分類管理名錄及修改單（環(huán)保部令第44號(hào)，201791實(shí)施，2018428修改）及其它國家相關(guān)環(huán)保法律法規(guī)的規(guī)定，本項(xiàng)目屬于建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)分類管理名錄中“二、農(nóng)副食品加工業(yè)4制糖、糖制品加工其他（單純分裝的除外）”類別，需編制環(huán)境影響報(bào)告表。諸城東曉生物科技有限公司特委托我公司承擔(dān)該項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)的編制工作。為此，我單位環(huán)評(píng)人員在現(xiàn)場踏勘、環(huán)境狀況調(diào)查、資料收集等工作基礎(chǔ)上，編寫出了本項(xiàng)目的環(huán)境影響報(bào)告表。經(jīng)審查批準(zhǔn)后，作為環(huán)境保護(hù)審批部門和本項(xiàng)目環(huán)保工程設(shè)計(jì)的科學(xué)依據(jù)。二、編制依據(jù)1、中華人民共和國環(huán)境保護(hù)法（主席令第9號(hào)，201511實(shí)施）；2、中華人民共和國環(huán)境影響評(píng)價(jià)法（主席令第48號(hào)，201672修訂）；3、建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例（國務(wù)院令第682號(hào)，2017101實(shí)施）；4、建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則總綱（HJ212016，201711實(shí)施）；5、建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)分類管理名錄及修改單（環(huán)保部令第44號(hào)，201791實(shí)施，2018428修改）；6、諸城東曉生物科技有限公司提供的有關(guān)技術(shù)資料；7、諸城東曉生物科技有限公司提供的本項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)委托書；三、項(xiàng)目可行性分析1、選址可行性諸城東曉生物科技有限公司擬在諸城東曉生物科技有限公司一園區(qū)現(xiàn)有淀粉糖廠房內(nèi)進(jìn)行技改工作，不新增建筑物，廠區(qū)北面為諸城興貿(mào)玉米淀粉廠熱電廠，東面為共青團(tuán)水庫，南面現(xiàn)為鎮(zhèn)南環(huán)路及農(nóng)田，再往南800米為后劑溝村，西面為浩天藥業(yè)化工有限公司，項(xiàng)目四鄰概況見圖3，項(xiàng)目所在區(qū)域內(nèi)環(huán)境質(zhì)量總體優(yōu)良。選址范圍內(nèi)無礦床、文物古跡和軍事設(shè)施，沒有各類列入國家保護(hù)目

簡介：建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表項(xiàng)目名稱項(xiàng)目名稱農(nóng)業(yè)收獲機(jī)械噴粉、電泳涂裝工藝及齒輪部農(nóng)業(yè)收獲機(jī)械噴粉、電泳涂裝工藝及齒輪部件生產(chǎn)件生產(chǎn)技術(shù)改造技術(shù)改造項(xiàng)目項(xiàng)目建設(shè)單位建設(shè)單位山東科明斯機(jī)械有限公司山東科明斯機(jī)械有限公司（蓋章）（蓋章）編制日期編制日期2019年01月國家環(huán)境保護(hù)部制國家環(huán)境保護(hù)部制1一、建設(shè)項(xiàng)目基本情況一、建設(shè)項(xiàng)目基本情況項(xiàng)目名稱農(nóng)業(yè)收獲機(jī)械噴粉、電泳涂裝工藝及齒輪部件生產(chǎn)技術(shù)改造項(xiàng)目建設(shè)單位山東科明斯機(jī)械有限公司法人代表廉軍聯(lián)系人韓建軍通訊地址濟(jì)寧市兗州區(qū)吉安路中段南側(cè)（山東玉豐農(nóng)業(yè)裝備有限公司院內(nèi)）聯(lián)系電話13153765466傳真郵政編碼272100建設(shè)地點(diǎn)濟(jì)寧市兗州區(qū)吉安路中段南側(cè)（山東玉豐農(nóng)業(yè)裝備有限公司院內(nèi)）立項(xiàng)審批部門批準(zhǔn)文號(hào)建設(shè)性質(zhì)新建改擴(kuò)建√技改行業(yè)類別及代碼C3360金屬表面處理及熱處理加工占地面積平方米45670綠化面積平方米總投資萬元2000其中環(huán)保投資萬元30環(huán)保投資占總投資比例15評(píng)價(jià)經(jīng)費(fèi)萬元預(yù)計(jì)投產(chǎn)日期2019年12月工程內(nèi)容及規(guī)模工程內(nèi)容及規(guī)模一、項(xiàng)目概況一、項(xiàng)目概況山東科明斯機(jī)械有限公司位于濟(jì)寧市兗州區(qū)吉安路中段南側(cè)（山東玉豐農(nóng)業(yè)裝備有限公司院內(nèi)），2018年8月建設(shè)的農(nóng)業(yè)機(jī)械玉米收獲機(jī)、打捆機(jī)產(chǎn)品生產(chǎn)及其部件機(jī)械加工項(xiàng)目，于2018年8月29日獲得兗州區(qū)環(huán)保局的批復(fù)（兗環(huán)審報(bào)告表【2018】155號(hào)），根據(jù)市場需求，為進(jìn)一步提高產(chǎn)品涂裝質(zhì)量，項(xiàng)目需要在原有涂裝車間新增加電泳、噴塑生產(chǎn)工藝，對(duì)原產(chǎn)品進(jìn)行表面處理，并在原機(jī)加工車間新增齒輪生產(chǎn)線一條，項(xiàng)目不新增用地，其中靜電噴粉線與原噴漆涂裝線共用一條鏈條式輸送裝置交替作業(yè)，主要建設(shè)2個(gè)4MX3MX3M噴粉房和1個(gè)9MX5MX3M天然氣高溫烘烤箱；電泳線主要建設(shè)1套電泳涂裝裝置和1個(gè)9MX5MX3M天然氣高溫烘烤房；齒輪部件線擬引進(jìn)40多臺(tái)套農(nóng)機(jī)專用齒輪加工設(shè)備；項(xiàng)目同時(shí)配套相應(yīng)的環(huán)保設(shè)施。項(xiàng)目總投資2000萬元，其中固定資產(chǎn)投資400萬元，流動(dòng)資金投資1600萬元。項(xiàng)目完成后年可新增500臺(tái)玉収機(jī)、打捆機(jī)、紅棗撿拾機(jī)等農(nóng)業(yè)收獲機(jī)械產(chǎn)能，年新增10萬件農(nóng)機(jī)專用齒輪產(chǎn)能，

簡介：1押出、壓延及裁斷工藝技術(shù)押出、壓延及裁斷工藝技術(shù)改造改造項(xiàng)目、硫目、硫化工藝化工藝技術(shù)改造項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)技術(shù)改造項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測報(bào)告驗(yàn)收監(jiān)測報(bào)告噪聲和固廢噪聲和固廢建設(shè)單位普利司通（無錫）輪胎有限公司編制單位無錫市林信環(huán)保工程有限公司20182018年9月31項(xiàng)目概況項(xiàng)目概況普利司通（無錫）輪胎有限公司是由日本普利司通株式會(huì)社于2003年在江蘇無錫國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)創(chuàng)辦的獨(dú)資企業(yè)。日本普利司通株式會(huì)社作為世界上最大的輪胎制造商，擁有世界最先進(jìn)的開發(fā)技術(shù)，一直以優(yōu)良的質(zhì)量受到廣大汽車制造商的好評(píng)。該公司生產(chǎn)的輪胎主要為SGM、BMW、奔馳、豐田、尼桑等汽車制造商提供配套。普利司通公司為了滿足這些客戶降低生產(chǎn)成本的要求，于2003年在無錫新吳區(qū)新梅路67號(hào)興建普利司通（無錫）輪胎有限公司，主要從事子午線輪胎的生產(chǎn)制造，公司已經(jīng)歷四期項(xiàng)目，目前，一期三期項(xiàng)目均已建成投產(chǎn)，已形成年產(chǎn)子午線輪胎778萬條的生產(chǎn)能力。根據(jù)以市場導(dǎo)向的產(chǎn)品高輪輞化現(xiàn)象以及SGM、BMW等新客戶的加入，市場對(duì)防爆輪胎需求增加，為滿足市場發(fā)展需求，公司增加氣密層裁斷機(jī)、胎圈粘合機(jī)、簾布裁斷機(jī)和硫化機(jī)等設(shè)備，對(duì)押出、擠出、裁斷和硫化等工序進(jìn)行技術(shù)改造。技改前后，公司生產(chǎn)規(guī)模不變。目前公司押出、壓延及裁斷工藝技術(shù)改造項(xiàng)目由橙志（上海）環(huán)保技術(shù)有限公司于于2017年9月編制完成，由無錫市新吳區(qū)安全生產(chǎn)監(jiān)督管理和環(huán)境保護(hù)局于2017年10月27日審批同意建設(shè)，批準(zhǔn)文號(hào)錫環(huán)表新復(fù)2017248號(hào)，并于2017年12月建成并開始試生產(chǎn)；硫化工藝技術(shù)改造項(xiàng)目由南京國環(huán)科技股份有限公司于于2018年1月編制完成，由無錫市新吳區(qū)安全生產(chǎn)監(jiān)督管理和環(huán)境保護(hù)局于2018年4月10日審批同意建設(shè)，批準(zhǔn)文號(hào)錫環(huán)管新20183號(hào)，并于2018年5月建成并開始試生產(chǎn)。公司兩個(gè)項(xiàng)目均已建成并通過試生產(chǎn)，試運(yùn)行期間各類設(shè)施運(yùn)行穩(wěn)定，目前生產(chǎn)能力已達(dá)到90以上，具備“三同時(shí)”驗(yàn)收監(jiān)測條件。根據(jù)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例（中華人民共和國國務(wù)院令第682號(hào)）、建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收暫行辦法（國環(huán)規(guī)環(huán)評(píng)20174號(hào)）等文件要求，受普利司通（無錫）輪胎有限公司委托，江蘇新銳環(huán)境監(jiān)測有限公司于2018年7月277月28日進(jìn)行了現(xiàn)場監(jiān)測，根據(jù)監(jiān)測結(jié)果及現(xiàn)場檢查情況，編制了本竣工驗(yàn)收監(jiān)測報(bào)告，為項(xiàng)目的竣工驗(yàn)收及環(huán)境管理提供科學(xué)的依據(jù)。

簡介：WST無錫巴克杜爾技術(shù)有限公司無錫巴克杜爾技術(shù)有限公司年產(chǎn)20臺(tái)再生式熱交換機(jī)減少預(yù)處理工藝臺(tái)再生式熱交換機(jī)減少預(yù)處理工藝技術(shù)改造項(xiàng)目技術(shù)改造項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測報(bào)告竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測報(bào)告表譜尼環(huán)驗(yàn)字2018第007號(hào)建設(shè)單位建設(shè)單位無錫巴克杜爾技術(shù)有限公司無錫巴克杜爾技術(shù)有限公司編制單位編制單位譜尼測試集團(tuán)江蘇有限公司譜尼測試集團(tuán)江蘇有限公司二〇一二〇一九年一月無錫巴克杜爾技術(shù)有限公司年產(chǎn)20臺(tái)再生式熱交換機(jī)減少預(yù)處理工藝技術(shù)改造項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測報(bào)告表譜尼測試集團(tuán)江蘇有限公司聲明1、報(bào)告無本公司報(bào)告專用章和騎縫章無效。2、報(bào)告未經(jīng)同意不得用于廣告宣傳。3、報(bào)告涂改無效，部分復(fù)制無效。4、驗(yàn)收監(jiān)測僅對(duì)當(dāng)時(shí)工況及環(huán)境狀況有效。5、如對(duì)驗(yàn)收?qǐng)?bào)告有異議，應(yīng)于收到驗(yàn)收?qǐng)?bào)告之日起十五日內(nèi)向本單位提出，逾期不予受理。

簡介：更多技術(shù)資料請(qǐng)?jiān)L問技術(shù)信息網(wǎng)，網(wǎng)址更多技術(shù)資料請(qǐng)?jiān)L問技術(shù)信息網(wǎng)，網(wǎng)址本套技術(shù)資料匯集國內(nèi)所有相關(guān)技術(shù)資料，為你的創(chuàng)業(yè)提供可靠包括，資料全面真實(shí)相關(guān)專利包括相關(guān)專利號(hào)，制備工藝流程，設(shè)計(jì)等全面新穎本資料在行業(yè)價(jià)格保證最低，（如果有比此價(jià)格低的同類資料，我們可以按相關(guān)價(jià)格的8折價(jià)格給你，這就是我們的實(shí)力現(xiàn)全國支持貨到付款，手續(xù)費(fèi)用買家承擔(dān)現(xiàn)全國支持貨到付款，手續(xù)費(fèi)用買家承擔(dān)）歡迎咨詢以下聯(lián)系方式本套技術(shù)資料160元100818335X除去印刷或染色的紡織材料中過量分散染料的方法2021363285紫外激光提高聚酯紡織品分散染料染濃性的方法3031162428分散染料微膠囊的制備工藝4031162436分散染料微膠囊的制備方法5031162444分散染料微膠囊染色方法6031070388分散偶氮染料混合物7961140186含有高分子分散劑的熒光染料分散液及其制法和用途8961228849藍(lán)色類分散染料混合物9971037930分散染料組合物及使用它的疏水性纖維材料的染色法10961087153偶氮二苯胺類黃色分散染料1185100472分散染料商品化后處理的方法1285102827水分散性漿狀染料的配方方法1386106303以羥乙腈為氰化劑合成含氰基分散染料1487105292一種新結(jié)構(gòu)單偶氮分散染料的制造方法1587100778一種偶氮二苯胺黃色分散染料1687103342黃到橙色單偶氮分散染料17881066230一類雜環(huán)活性分散染料18901012238聚酯材料印染用分散染料配制品19901012211聚酯材料印染用分散染料配制品20901014176氧化的硫化染料的水分散體21901040274皮革染色染料分散干刷染色法22931055237含咔唑雜環(huán)的偶氮分散染料及其制備方法2393116768X包含聚合物分散劑的染料轉(zhuǎn)移抑制組合物24931149673分散染料可染聚丙烯纖維制造方法25951076272胺化纖維素聚酯混紡織物的纖維反應(yīng)性分散染料染色法26951043633分散染料組合物及用該組合物對(duì)疏水性纖維材料進(jìn)行染色的方法27951901435可被分散染料染色的再生纖維素纖維及含這種纖維的紡織品28951181955分散藍(lán)染料混合物29951101730水暫溶性藍(lán)色分散染料及其合成方法更多技術(shù)資料請(qǐng)?jiān)L問技術(shù)信息網(wǎng)，網(wǎng)址更多技術(shù)資料請(qǐng)?jiān)L問技術(shù)信息網(wǎng)，網(wǎng)址742004100892518一種復(fù)合分散染料752004100933630一種分散紅染料復(fù)合物762004100933626一種分散紅染料組合物77200410093365X一種分散藍(lán)染料組合物782004100991087一種分散紅染料組合物792004100991072一種分散染料組合物80200410016439X一種液狀分散染料的制造方法812005100386718一種分散染料混合物82038190915具有高耐光牢度的黃色分散染料混合物83038194805使用分散染料對(duì)含纖維素的纖維材料進(jìn)行染色或印刷的方法84031246877偶氮二苯胺黃色分散染料85021375534黃色分散染料及其制備方法86031331440非偶氮分散性染料混合物87028036980顏料作為分散染料的用途88031530001染料分散劑和混凝土減水劑生產(chǎn)的磺化工藝89028046056染料敏化型太陽能電池用金屬氧化物分散液光活性電極以及染料敏化型太陽能電池902003101140171一種偶氮二苯胺類黃色分散染料的制備方法912004100445270分散染料混合物922005100499754復(fù)合環(huán)保型分散灰染料932005100503730一種復(fù)合環(huán)保型分散染料942005100503745復(fù)合中溫型分散紅染料952005100608179一種用于印染聚酯材料的組合分散染料962004100668103一種偶氮分散染料的生產(chǎn)工藝972005100489678苯并二呋喃酮類分散紅染料的制備工藝及其產(chǎn)品982005100609326分散染料混合物及其染料制品992004100990718紅色分散染料及其制備方法100200610050279X一種復(fù)合分散紅染料組合物1012006100504282一種組合藍(lán)色分散染料1022005100561469羊毛滌綸分散染料浴法染色助劑與工藝1032006100506095拼混黑、藍(lán)系列組合分散染料1042006100507806一種黃色組合環(huán)保型分散染料1052006100499689再沉淀均質(zhì)法制備納米級(jí)分散藍(lán)2BLN染料的工藝106200610050832X一種嫩黃色的組合分散染料1072006100517916一種分散紅染料組合物1082006100517920一種分散藍(lán)染料組合物1092006100859415一種基本三元色升華牢度平衡型分散灰染料混合物1102005100261479一種復(fù)合型環(huán)保分散染料1112004800309950分散的偶氮染料1122006100859400一種升華牢度提高型分散黃染料混合物1132004800354176分散染料1142004800346451分散性染料混合物1152006100524322一種復(fù)合分散染料1162004800191111具有高光堅(jiān)牢度的分散性染料混合物

簡介：本套技術(shù)資料匯集國內(nèi)所有相關(guān)技術(shù)資料，為你的創(chuàng)業(yè)提供可靠包括，資料全面真實(shí)，絕不是網(wǎng)上的垃圾信息相關(guān)專利包括相關(guān)專利號(hào)，制備工藝流程，設(shè)計(jì)等全面新穎本資料在行業(yè)價(jià)格保證最低，（如果有比此價(jià)格低的同類資料，我們可以按相關(guān)價(jià)格的8折價(jià)格給你，這就是我們的實(shí)力）歡迎咨詢以下聯(lián)系方式本套技術(shù)資料160元冬棗的栽培管理工藝技術(shù)資料目錄1冬棗優(yōu)質(zhì)豐產(chǎn)栽培關(guān)鍵技術(shù)2冬棗優(yōu)質(zhì)豐產(chǎn)栽培技術(shù)3冬棗優(yōu)質(zhì)豐產(chǎn)栽培技術(shù)要點(diǎn)4冬棗幼樹環(huán)剝技術(shù)5冬棗栽培區(qū)土壤營養(yǎng)狀況分析與評(píng)價(jià)6冬棗栽植與花期管理技術(shù)要點(diǎn)7冬棗早期事產(chǎn)載培技術(shù)8冬棗主要病蟲無害化防治技術(shù)9冬棗貯存期管理要點(diǎn)10冬棗專用生長調(diào)理營養(yǎng)液靚棗11冬棗組織培養(yǎng)的消毒方法78東明縣低產(chǎn)棗樹改良技術(shù)79東營市冬棗測土配方合理施肥量研究80冬季防治棗樹病蟲害有七招81冬棗保護(hù)地栽培管理技術(shù)82冬棗保鮮技術(shù)研究進(jìn)展83冬棗病害的發(fā)生及防治措施84冬棗采后病害及防治技術(shù)研究進(jìn)展85冬棗采后貯藏保鮮技術(shù)研究86冬棗采前及采后處理對(duì)儲(chǔ)藏效果的影響87冬棗春季栽培管理技術(shù)88冬棗大棚高效盆栽技術(shù)89冬棗的整形與修剪90冬棗的組織培養(yǎng)技術(shù)研究91冬棗肥料效應(yīng)對(duì)比試驗(yàn)總結(jié)92冬棗豐產(chǎn)優(yōu)質(zhì)關(guān)鍵管理技術(shù)6011151544具有分層通風(fēng)篩的冬棗保鮮箱7011151536冰箱冷藏室專用三層通風(fēng)篩冬棗保鮮箱8011274859冬棗樹防蛾蟲吊裝紗罩9011274867冬棗樹防蛾蟲四腿紗罩10011428015冬棗樹早發(fā)催芽落地塑料罩11011352973冬棗樹防蛾蟲落地紗罩1201135299X冬棗樹防蛾蟲落地紗棚13011428031冬棗樹早發(fā)催芽落地塑料棚142006100687226冬棗盆景的栽培方法152006100686810冬棗醋飲品16200710056833X一種凍干脆冬棗的加工方法172007100360914南方玉泉冬棗豐產(chǎn)栽培方法182004100187404一種貯藏冬棗的固體保鮮劑192004100187438冬棗茶202004100242740一種冬棗汁飲料的生產(chǎn)方法212005100112671一種防治冬棗果實(shí)細(xì)菌性貯藏病害的方法222005100432190一種建立冬棗多倍體誘導(dǎo)體系的方法232004100940795一種冬棗的保鮮方法242005100431840冬棗鮮果保藏工藝252004100245791冬棗的一種生物保鮮法262005101061770冬棗制干技術(shù)27200510135512X一種SOD冬棗及其生產(chǎn)方法282006100144446冬棗多糖的提取方法292006100144431一種冬棗酒的生產(chǎn)方法302006101390912一種離體誘導(dǎo)冬棗花藥愈傷組織的方法312006100695627一種無公害冬棗的增產(chǎn)培育方法322005101195328冬棗酒332005101221290一種冬棗蜜釀果酒及其制造方法342007100132496一種利用莖尖為受體建立冬棗遺傳轉(zhuǎn)化體系的方法35200610043435X冬棗樹專用復(fù)合肥362006100445481冬棗芽茶的生產(chǎn)方法372011100528080冬棗園散養(yǎng)雞的方法382004200532626冬棗專用分級(jí)包裝箱39021356637一種促進(jìn)冬棗延遲成熟的方法40031388914冬棗保鮮技術(shù)付款方式1、本套技術(shù)資料160元2、資料都為電子版的，部分資料包括專利和科研成果資料，可以打印。專利技術(shù)資料包括專利相關(guān)工藝流程，資料發(fā)明人專利批號(hào)都

簡介：1011414901光刻膠用剝離液組合物2021282196光刻膠用剝離液和使用該剝離液的光刻膠剝離方法3021422796光刻膠用剝離液和使用該剝離液的光刻膠剝離方法4021316244反射防止膜的光學(xué)常數(shù)的決定方法和光刻膠圖形的形成方法5021422192光刻膠組合物6021482330光刻膠組合物7008167796用于深紫外線輻射的光刻膠組合物8021458863化學(xué)放大型正性光刻膠組合物900817637X檢測光刻膠剝離過程終點(diǎn)的方法和裝置1001807989X化學(xué)增強(qiáng)光刻膠及一種光刻膠合成物11021538158光刻膠圖案的形成方法和光刻膠層合體12018085733光刻膠剝離劑組合物13021401543光刻膠層中減小圖案大小的方法14018047963具有酸反應(yīng)性基團(tuán)的新穎含氟聚合物以及使用這些材料的化學(xué)增幅型光刻膠組合物15021418411光刻膠用剝離液和使用該剝離液的光刻膠剝離方法16018102352光刻膠去除劑混合物17018112641負(fù)作用化學(xué)放大的光刻膠組合物18021542759環(huán)狀锍和氧化锍及含有它們的光致酸生成劑和光刻膠19018115772感光性樹脂組合物、使用它的感光性元件、光刻膠圖案的制造方法及印刷電路板的制造方法20031200761光刻膠剝離組合物及清洗組合物21021200769用于剝離光刻膠的組合物22018129749用于深紫外線的光刻膠組合物及其方法23031369464用于形成防反射膜的涂布液組合物、光刻膠層合體以及光刻膠圖案的形成方法24008196699包括氟化銨的光刻膠去除劑組合物25031095445光刻膠剝離除去方法及裝置26018148913用于有機(jī)硅酸鹽玻璃的低K蝕刻應(yīng)用中的蝕刻后由氫進(jìn)行的光刻膠剝離27008199620將干燥光刻膠膜層熱層壓到印刷電路板上的方法28951920170穩(wěn)定的離聚物光刻膠乳狀液及其制備方法和應(yīng)用29961141514超強(qiáng)酸催化的無顯影氣相光刻膠30961141506有機(jī)堿催化的無顯影氣相光刻膠31951963872用于微電子的無胺光刻膠粘接促進(jìn)劑3285100457稀土順式聚異戊二烯負(fù)型光刻原膠的制備4902008102021844一種用于厚膜光刻膠的清洗劑4912008102024908一種厚膜光刻膠清洗劑4922009102119616化合物及含有該化合物的化學(xué)增幅光刻膠組合物4932008102037147一種光刻膠清洗劑組合物4942008102037151一種光刻膠清洗劑組合物4952008102041034一種光刻膠清洗劑組合物4962009102537867光刻膠剝離劑用組合物及薄膜晶體管陣列基板的制造方法4972008800232923一種光刻膠清洗劑4982009102490606一種電熱驅(qū)動(dòng)光刻膠微夾鉗的制作方法499200810207833X使用普通噴嘴實(shí)現(xiàn)降低阻膠消耗的光刻膠涂布工藝5002008102080486光刻膠滴注系統(tǒng)、光刻膠噴嘴及其使用方法5012008102080700光刻膠的去除方法及連接孔的制造方法5022010101201616厚膠紫外光斜入射背面光刻工藝的光強(qiáng)分布模擬方法5032010101019986用于電子束光刻膠PMMA的顯影液及其配制方法5042010100015418光刻膠殘留物去除用組合物5052010101219840一種利用正性光刻膠制作底柵型FED下板圖形的方法5062010101020165在電子束曝光前對(duì)涂有光刻膠的晶片進(jìn)行聚焦調(diào)節(jié)的方法5072009102140636超支化聚酯微光學(xué)光刻膠5082010101063160厚膠介質(zhì)補(bǔ)償紫外光斜入射光刻工藝的光強(qiáng)分布模擬方法5092007801005848顏料分散組合物、用于彩色濾光片的包含其的光刻膠組合物、及使用其的彩色濾光片5102010101381500全息凹面光柵負(fù)一級(jí)光刻膠監(jiān)測系統(tǒng)511200910046426X酯交換合成光刻膠單體碳剛性骨架結(jié)構(gòu)丙烯酸酯類化合物的方法5122009101463194在邊緣光刻膠去除過程中減少晶圓缺陷的方法及晶圓結(jié)構(gòu)513200880109166X一種光刻膠清洗劑5142008801146018用于剝除光刻膠的化合物5152010101415403曝光機(jī)臺(tái)、陣列基板、圖案化薄膜、光刻膠層及形成方法5162009100812253以光刻膠為掩膜對(duì)二氧化硅進(jìn)行深刻蝕的方法5172009100532411雙柵極氧化層制作工藝中光刻膠層的重做工藝5182009100535015鈍化光刻膠表面的方法以及光刻方法5192009100540193改善快閃存儲(chǔ)器制作工藝中光刻膠涂布缺陷的方法5202010102337384與外涂光刻膠一起使用的涂料組合物5212010102337280與外涂光刻膠一起使用的涂料組合物付款方式1、本套技術(shù)資料230元2、資料都為電子版的，部分資料包括專利和科研成果資料，可以打印。專利技術(shù)資料包括專利相關(guān)工藝流程，資料發(fā)明人專利批號(hào)都

簡介：全國電力行業(yè)脫硫脫硝技術(shù)協(xié)作網(wǎng)暨技術(shù)研討會(huì)論文集1火電廠煙氣脫硫工藝技術(shù)研究及其工程應(yīng)用江蘇蘇源環(huán)保工程股份有限公司孫克勤沈凱摘要結(jié)合工程應(yīng)用對(duì)自主開發(fā)的石灰石－石膏濕法煙氣脫硫系統(tǒng)工藝流程以及工藝特點(diǎn)進(jìn)行介紹，對(duì)該技術(shù)運(yùn)行調(diào)試過程的關(guān)鍵環(huán)節(jié)以及運(yùn)行優(yōu)化進(jìn)行了重點(diǎn)闡述，并結(jié)合現(xiàn)場試驗(yàn)數(shù)據(jù)將該技術(shù)與引進(jìn)的同類技術(shù)從工藝和運(yùn)行兩個(gè)方面進(jìn)行了全面的比較，結(jié)果表明該技術(shù)在技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)、運(yùn)行消耗、系統(tǒng)的可控性等多個(gè)方面均優(yōu)于其它同類技術(shù)，技術(shù)可靠并已實(shí)現(xiàn)大規(guī)模的工程應(yīng)用，該工藝和系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)火電廠煙氣脫硫系統(tǒng)建造低成本、運(yùn)行低消耗這一目標(biāo)的有效途徑和可靠的技術(shù)保障。1、引言火電廠煙氣脫硫技術(shù)在國外歷經(jīng)數(shù)十年的發(fā)展與應(yīng)用，已經(jīng)十分成熟，并形成了數(shù)種具有代表性的脫硫工藝，如石灰石－石膏濕法煙氣脫硫工藝、海水脫硫工藝、爐內(nèi)噴鈣尾部增濕工藝、干法煙氣脫硫工藝、循環(huán)流化床（CFB）脫硫工藝以及電子束法脫硫工藝等等1。目前我國已進(jìn)入火電廠煙氣脫硫的高峰期，據(jù)中國電力企業(yè)聯(lián)合會(huì)統(tǒng)計(jì)，截止到2005年底，建成投產(chǎn)的煙氣脫硫機(jī)組容量達(dá)到5300萬千瓦，正在建設(shè)的煙氣脫硫機(jī)組容量超過1億千瓦。在已投產(chǎn)的脫硫機(jī)組中，石灰石－石膏濕法煙氣脫硫工藝占到已投產(chǎn)機(jī)組容量的927，成為全國電力行業(yè)脫硫脫硝技術(shù)協(xié)作網(wǎng)暨技術(shù)研討會(huì)論文集3粒。其它同樣有害的物質(zhì)如飛灰，SO3，HCL和HF大部分含量也得到去除。工藝布置可采用一爐一塔或兩爐一塔布置方案。兩爐一塔工藝布置方案中兩臺(tái)鍋爐來的原煙氣由煙道匯合引出，經(jīng)一臺(tái)升壓風(fēng)機(jī)增壓后送至煙氣換熱器（回轉(zhuǎn)再生式氣氣換熱器簡稱GGH）。原煙氣溫度降至系統(tǒng)要求的范圍后隨即進(jìn)入吸收塔，進(jìn)行脫硫。脫硫后的凈煙氣經(jīng)除霧器，再返回至GGH進(jìn)行加熱，溫度加至80℃以上，通過煙囪排放至大氣。其原則性系統(tǒng)圖如圖1所示。圖1兩爐一塔方案原則性工藝流程一爐一塔方案為單元制，每臺(tái)鍋爐來的原煙氣經(jīng)各自的升壓風(fēng)機(jī)增壓后，分別送至各自的煙氣換熱器（回轉(zhuǎn)再生式氣氣換熱器簡稱GGH）。隨即進(jìn)入對(duì)應(yīng)的吸收塔，進(jìn)行脫硫。脫硫后的凈煙氣經(jīng)除霧器，再返回至GGH進(jìn)行加熱，溫度加至80℃以上，通過煙囪排放至大氣。其原則性系統(tǒng)圖如圖2所示。

簡介：曲軸制造技術(shù)及特種工藝曲軸制造技術(shù)及特種工藝＜隨著發(fā)動(dòng)機(jī)日益向輕量化、結(jié)構(gòu)簡單化、性能優(yōu)質(zhì)化方向發(fā)展，發(fā)動(dòng)機(jī)曲軸制造技術(shù)和工藝發(fā)生了很大的變化。在當(dāng)今市場產(chǎn)品嚴(yán)重同質(zhì)化的情況下，為提高產(chǎn)品競爭力，近年來發(fā)動(dòng)機(jī)曲軸加工采用了不少特種工藝，以增強(qiáng)企業(yè)的競爭優(yōu)勢。先進(jìn)的曲軸加工生產(chǎn)線一般都比較短，但效率高、產(chǎn)量大，加工出的曲軸質(zhì)量好且很穩(wěn)定。如美國底特律FD發(fā)動(dòng)機(jī)廠曲軸生產(chǎn)線只有17道工序，占地面積6967M2，但年產(chǎn)V8發(fā)動(dòng)機(jī)球鐵曲軸535萬件。其先進(jìn)技術(shù)主要體現(xiàn)在兩個(gè)方面一是大量采用了CNC控制技術(shù)，形成柔性生產(chǎn)線；二是應(yīng)用了許多先進(jìn)的高速、高效、柔性加工技術(shù)，簡化了工藝過程，提高了加工質(zhì)量，同時(shí)也縮短了單件加工時(shí)間。另外，為適應(yīng)降低成本等需要，近年來發(fā)動(dòng)機(jī)曲軸加工采用了很多特種工藝，相比之下，國內(nèi)大多數(shù)生產(chǎn)線還存在較大差距。先進(jìn)加工技術(shù)及裝備1、鉆質(zhì)量中心孔技術(shù)曲軸屬于細(xì)長類零件，加工過程中主要定位基準(zhǔn)是兩端中心孔，按其加工位置可分為兩種一種是利用雙V型塊或其它方式找出曲軸支承軸頸的幾何中心，在此中心上加工出的中心孔稱為幾何中心孔；另一種是利用專門的質(zhì)量定心機(jī)測出曲軸的質(zhì)量中心，在此中心上加工出的中心孔稱為質(zhì)量中心孔。由于毛坯的幾何形狀誤差和質(zhì)量分布不勻等原因，一般兩者并不重合。國內(nèi)生產(chǎn)線中多采用幾何中心孔，但是利用幾何中心孔作定位中心進(jìn)行車加工或磨加工時(shí)，工件旋轉(zhuǎn)會(huì)產(chǎn)生離心力，不僅影響加工質(zhì)量，降低定心元件的使用壽命，而且在加工后剩余的動(dòng)不平衡量較大。基于這種原因，國外大都采用質(zhì)量中心孔，利用專門設(shè)計(jì)的測試設(shè)備來測試質(zhì)量中心，然后加工出中心孔，并且可將銑兩端長度和加工質(zhì)量中心孔合并為一道工序，采用CNC技術(shù)控制，加工效率很高。但需要注意的是，若毛坯彎曲變形嚴(yán)重或質(zhì)量嚴(yán)重分布不均勻，采用質(zhì)量中心孔仍不能徹底解決上述問題。因此，筆者認(rèn)為曲軸的質(zhì)量中心孔和幾何中心孔應(yīng)按毛坯質(zhì)量的好壞合理選用如果毛坯質(zhì)量好，加工余量小且加工余量分布均勻，這時(shí)曲軸的質(zhì)量中心孔與幾何中心孔會(huì)基本重合，不必花費(fèi)較高的經(jīng)費(fèi)購置質(zhì)量定心設(shè)備；如果毛坯質(zhì)量較差，加工余量大且加工余量分布不均勻，則優(yōu)先選用質(zhì)量中心孔。來加工，圖２為曲軸CBN磨削。圖2曲軸CBN磨削曲軸磨削可采用的技術(shù)有單序加工和復(fù)合加工等工藝。采用單序加工方式加工磨削效率很高，磨削后軸頸的跳動(dòng)量容易控制，砂輪一次修整完畢后能保證各軸頸尺寸的一致性。缺點(diǎn)是柔性差，只能加工一個(gè)系列產(chǎn)品。加工曲軸前端和后端的有寬砂輪組合磨削等。例如，磨削四拐曲軸主軸頸采用的工藝有五砂輪磨削（如圖３），磨削四拐曲軸連桿頸采用的工藝有雙砂輪磨削（如圖４）。圖3五砂輪磨削主軸

簡介：2污水處理廠進(jìn)、出水水質(zhì)2121污水處理廠進(jìn)水水質(zhì)污水處理廠進(jìn)水水質(zhì)設(shè)計(jì)水量Q100MD表2121設(shè)計(jì)進(jìn)水水質(zhì)設(shè)計(jì)進(jìn)水水質(zhì)序號(hào)污染物名稱濃度（MGL）AAAAAAAAAAAAAAAAAAAANH3NAAAAA2222污水處理廠出水水質(zhì)污水處理廠出水水質(zhì)處理出水標(biāo)準(zhǔn)為生活垃圾填埋場污染控制標(biāo)準(zhǔn)GB168892008表2標(biāo)準(zhǔn)，見表22。表2222垃圾滲瀝液設(shè)計(jì)出水水質(zhì)垃圾滲瀝液設(shè)計(jì)出水水質(zhì)序號(hào)污染物名稱濃度（MGL）AAAAAAAAAAAAAAAAA圖3131工藝流程圖工藝流程圖342342滲瀝液處理工藝介紹滲瀝液處理工藝介紹JSBC工藝是青海潔神環(huán)境能源產(chǎn)業(yè)有限公司從日本引進(jìn)的污水生化處理新工藝，該工藝由JSBC裝置（回轉(zhuǎn)網(wǎng)狀型微生物接觸體裝置）、優(yōu)化培養(yǎng)的BACILLUSSPP菌和促進(jìn)優(yōu)勢菌活性的有機(jī)生物營養(yǎng)液（生物活性劑）以及接收原水池廢水的調(diào)節(jié)池與曝氣池組、沉淀池組合而成。而JSBC裝置則由回轉(zhuǎn)網(wǎng)狀型微生物接觸裝置和配套管路、閥門、儀表、控制系統(tǒng)組合而成。JSBC污水處理技術(shù)的基本工藝一是利用JSBC裝置為BACILLUS土壤菌創(chuàng)造出適應(yīng)其增值培養(yǎng)的獨(dú)特的好氧與兼好氧循環(huán)交替的載體環(huán)境以及特殊網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)回轉(zhuǎn)載體所保證的足夠的生物菌附著量，并通過有機(jī)生物營養(yǎng)液對(duì)敏感菌群的營養(yǎng)作用，最大限度調(diào)節(jié)池滲瀝液均質(zhì)池JSBC裝置曝氣池達(dá)標(biāo)水排放剩余污泥處理系統(tǒng)JSBC系統(tǒng)系統(tǒng)干泥回填填埋場剩余污泥沉淀池污泥回流

簡介：1合成氨工藝作業(yè)安全技術(shù)題庫答案3一、單選題一、單選題1B。2A。3B。4B。5B。6A。7B。8B。9B。10B。11B。12B。13B。14A。15A。16B。17B。18B。19A。20A。21B。22B。23A。24B。25B。26A。27A。28B。29B。30A。31B。32A。33A。34B。35B。36A。37B。