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文檔簡介
1、隨著人類科學(xué)技術(shù)的進步，微機電系統(tǒng)(MEMS)在社會生產(chǎn)和生活中的應(yīng)用變得越來越廣泛。微細制造技術(shù)是MEMS及微型零件制造的關(guān)鍵加工技術(shù)，是現(xiàn)今制造技術(shù)研究最為活躍的領(lǐng)域之一。微細電解加工作為一種重要的微細加工技術(shù)，以“離子”形式去除金屬材料；其加工過程無切削力、無再鑄層、不受材料硬度強度影響，在MEMS領(lǐng)域有著巨大的應(yīng)用潛力。
本文主要完成了以下內(nèi)容：
(1)在線制備亞微米工具電極。研究了液膜法和浸沒法電化學(xué)腐蝕制
2、備亞微米工具電極，成功制備出直徑在亞微米級的鎢電極。
(2)提出基于瞬態(tài)電流檢測的對刀方法。分析亞微米工具電極在微細電解加工中發(fā)生的彎曲變形和電火花放電現(xiàn)象，提出基于瞬態(tài)電流檢測的對刀方法，并研究對刀進給速度對亞微米工具電極對刀精度的影響。
(3)研制了基于視覺和瞬態(tài)電流檢測的綜合對刀系統(tǒng)。該系統(tǒng)依靠視覺輔助，使工具電極向工件表面快速進給，到達距工件表面約數(shù)十微米的位置；然后通過瞬態(tài)電流檢測，準確判斷工具電極與工件短
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