集成角度傳感器的MOEMS掃描微鏡研究.pdf

1、MEOMS掃描微鏡作為微光學系統(tǒng)的核心器件，被廣泛地應用于光通信、圖像顯示、自適應光學和光譜分析技術等領域。與傳統(tǒng)電機驅動的反射鏡相比，基于MOEMS技術的掃描微鏡具有體積小、功耗低、成本低、可批量制造等優(yōu)點，成為MOEMS技術的研究熱點之一。微型光譜儀、醫(yī)學影像和條形碼閱讀等光學系統(tǒng)對掃描微鏡提出了反射鏡面面積大、掃描角度大、功耗低、穩(wěn)定性好等要求。為此，本論文提出采用MOEMS技術制作大面積、大角度掃描微鏡，實現(xiàn)角度傳感器與掃描微鏡

2、的單芯片集成，采用閉環(huán)控制方法實現(xiàn)對掃描微鏡的精確控制，具有重要的研究意義與實用價值。
　　論文研究了集成角度傳感器的MOEMS掃描微鏡的理論模型，進行了掃描微鏡結構設計和仿真優(yōu)化，完成了芯片加工和封裝設計，制作出了MOEMS掃描微鏡原理樣機，研究了掃描微鏡的驅動控制方法，搭建了實驗電路并進行了電路調試和掃描微鏡性能測試。本文主要研究內容如下：
　　1.論文調研了國內外MOEMS掃描微鏡的研究現(xiàn)狀，對典型掃描微鏡的工作原理、

3、優(yōu)點和缺點進行了分析，針對微型光譜儀的應用需求以及現(xiàn)有技術的不足，確定了集成角度傳感器的MOEMS掃描微鏡的主要研究內容；
　　2.提出集成角度傳感器的電磁驅動MOEMS掃描微鏡新型結構,分析了掃描微鏡和角度傳感器的工作原理;建立了掃描微鏡的系統(tǒng)運動模型、電磁驅動器和角度傳感器的理論模型；根據(jù)微型光譜儀的應用需求，設計了掃描微鏡的結構參數(shù)，并采用有限元軟件對掃描微鏡結構進行了仿真、分析和結構優(yōu)化；
　　3.設計了掃描微鏡加工

4、版圖,分析了掃描微鏡關鍵加工工藝，設計了加工流程，完成了掃描微鏡芯片制作。提出了磁路設計方案,采用有限元磁場分析，完成了掃描微鏡的封裝設計；
　　4.研究了掃描微鏡的驅動控制電路，完成了信號發(fā)生、角度檢測、反饋控制和可變增益放大等模塊的設計，搭建了驅動控制實驗電路并進行了調試；
　　5.研究了掃描微鏡性能測試方案，搭建了性能測試平臺，對掃描微鏡的諧振頻率、掃描角度以及角度傳感器的靈敏度和分辨率等重要性能參數(shù)進行測試。測試結果