空心玻璃微球球殼準(zhǔn)分子激光刻蝕的研究.pdf

1、調(diào)制靶是慣性約束聚變實(shí)驗(yàn)(ICF)中的重要裝置.隨著對(duì)Rayleigh-Taylor流體力學(xué)不穩(wěn)定性的研究的深入,聚合物平面調(diào)制靶已經(jīng)不能夠滿足實(shí)驗(yàn)需求,而要求以空心玻璃微球?yàn)榛w制備表面具有一定調(diào)制圖形的球面調(diào)制靶,用于慣性約束聚變實(shí)驗(yàn).本文首先簡(jiǎn)要介紹了當(dāng)前國(guó)內(nèi)外在微細(xì)加工、調(diào)制靶方面的相關(guān)技術(shù)的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì),特別是詳細(xì)介紹分析了以玻璃等硬脆性材料為加工對(duì)象的微細(xì)加工技術(shù)的現(xiàn)狀,以及球面調(diào)制靶的基體——空心玻璃微球(HGM)的制備

2、技術(shù)及其性能.簡(jiǎn)要介紹了本課題所使用的準(zhǔn)分子激光加工機(jī).在對(duì)玻璃微球性質(zhì)的分析和準(zhǔn)分子激光機(jī)光路傳輸系統(tǒng)解析的基礎(chǔ)上,討論了利用248 nm KrF準(zhǔn)分子激光刻蝕玻璃材料的問(wèn)題.通過(guò)試驗(yàn)摸索出了一種有效的準(zhǔn)分子激光刻蝕玻璃材料的工藝方法,成功地在玻璃片上進(jìn)行了刻蝕試驗(yàn);進(jìn)而,提出了一種準(zhǔn)分子激光直接刻蝕玻璃微球的加工方法,成功地在玻璃微球上刻蝕出點(diǎn)陣和圖形.最后,對(duì)本文所提出的加工方法的優(yōu)點(diǎn)、不足和需要改進(jìn)之處進(jìn)行了討論,并對(duì)將來(lái)的實(shí)驗(yàn)