基于準(zhǔn)分子激光投影掃描系統(tǒng)的大面積ITO及TFT光刻的研究.pdf

1、光刻工藝為平板顯示制造業(yè)中的核心工藝。平板顯示發(fā)展的趨勢(shì)是大面積和高分辨率。本文針對(duì)平板顯示制造業(yè)，基于激光投影掃描系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)，對(duì)大面積ITO和TFT的光刻進(jìn)行研究。主要研究?jī)?nèi)容如下：
　　 在不影響生產(chǎn)效率的前提下，對(duì)現(xiàn)有的曝光機(jī)的掃描方法改進(jìn)，提出了一種可以提高均勻性的二維掃描方法，從X和Y兩個(gè)維度掃描補(bǔ)償了由于掃描平穩(wěn)誤差和步進(jìn)精度誤差所造成的曝光劑量誤差，并且做了相關(guān)仿真，結(jié)果顯示均勻性提升了1.5個(gè)百分點(diǎn)。
　　

2、 以ITO玻璃為實(shí)驗(yàn)基板，以現(xiàn)有的曝光機(jī)為實(shí)驗(yàn)平臺(tái)進(jìn)行曝光實(shí)驗(yàn)，而后進(jìn)行其他相關(guān)光刻步驟，配組最佳的實(shí)驗(yàn)參數(shù)。同時(shí)利用ZEMAX和MATLAB軟件，結(jié)合曝光機(jī)的投影物鏡的光學(xué)參數(shù)，分析光學(xué)顯微鏡下的10μm、15μm和20μm線寬的顯影圖效果。
　　 針對(duì)性地優(yōu)化設(shè)計(jì)了一個(gè)曝光機(jī)中的重要核心部件即投影物鏡。選取了一個(gè)美國(guó)光刻物鏡專利為雛形，優(yōu)化設(shè)計(jì)了一個(gè)用于平板電腦光刻的投影物鏡。運(yùn)用光學(xué)模擬軟件ZEMAX從光程差、調(diào)制傳遞函