微夾持器控制器設(shè)計與振動控制研究.pdf

1、微夾持器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備,機(jī)器人,生物醫(yī)療等設(shè)備當(dāng)中,微夾持器目前普遍采用壓電式微夾持器,它具有重量輕,輸出力大,不易受電磁干擾等特點。本文提出了相應(yīng)的驅(qū)動電路解決方案和驗證了用于抑制壓電式微夾持器的振動的輸入整形算法,并且能夠應(yīng)用于多種工作平臺中。
　　首先介紹了壓電式微夾持器的基本組成機(jī)構(gòu)和工作原理。根據(jù)實際需求設(shè)計研究了基于TMS320F2812的壓電陶瓷驅(qū)動器的整體設(shè)計方案和各個部分的工作原理,為微夾持器振動控制研究提

2、供硬件電路驅(qū)動基礎(chǔ)。
　　由于在驅(qū)動壓電式微夾持器時,在其張開和關(guān)閉的過程中,會出現(xiàn)的柔性放大機(jī)構(gòu)夾持末端出現(xiàn)抖動現(xiàn)象,會嚴(yán)重干擾壓電式微夾持器的工作。基于以上這種情況,本文介紹了輸入整形抑制振動算法的基本概念并且分析了三種時滯濾波器在抑制微夾持器振動方面的優(yōu)缺點,驗證了輸入整形濾波器在壓電式微夾持器振動抑制方面的控制效果和魯棒性。通過嵌入輸入整形算法,使微夾持器振動時間由原來的25ms控制到0.5ms的范圍內(nèi),壓電式微夾持器的振