扭臂式MEMS光開關的建模與優(yōu)化.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、傳統(tǒng)的機械光開關速度慢、體積大、不易大規(guī)模集成，難以適應光傳送網的傳輸要求，這限制了其在未來光通信領域的應用。新型的以微電子機械系統(tǒng)(MEMS)為基礎的微機械光開關成為大容量交換光網絡開關發(fā)展的主流方向。
　　 本文介紹了關開關的工作原理，分析了靜電驅動扭臂式MEMS光開關的運動過程，運用拉格朗日運動方程建立了其數學模型，并運用解析分析法和有限元分析法兩種分析方法對扭臂式光開關進行了模態(tài)分析，驗證了數學模型的正確性。在此基礎上，

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