斐索型移相式激光干涉儀研究.pdf

1、斐索型移相式激光干涉儀是公認的一種高精度、高靈敏度的光學計量儀器，在高精度的光學檢測中占有不可或缺的地位。本文以Zemax為設計和仿真平臺，搭建了一個口徑為100mm的斐索型移相式激光干涉儀，它可以分析斐索干涉原理及干涉儀內部組成對儀器檢測精度的影響，為實際工程提供理論依據，具有重要的指導意義。
　　本文首先總結了國內外斐索型移相式激光干涉儀的發(fā)展現(xiàn)狀，通過對斐索移相干涉原理的深入研究，提出了口徑為100mm的斐索型移相式激光干涉

2、儀設計方案。以Zemax序列界面為設計平臺，設計了斐索平面和球面干涉系統(tǒng)，并將設計的系統(tǒng)數據導入到Zemax非序列干涉仿真界面中，得到了平面和球面干涉圖。其次以Matlab軟件為算法處理平臺，采用中值濾波法對干涉圖進行預處理；分析了各種移相算法對儀器主要誤差源（移相誤差、探測器二階非線性、多光束干涉效應和高頻噪聲）的響應情況，確定用傳統(tǒng)的四步移相算法作為本課題的相位提取算法。同時采用離散余弦最小二乘相位解包算法處理得到了波面解包裹相位圖