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文檔簡介
1、光電顯微鏡是應用于微小結構觀察和非接觸測量的高精度瞄準儀器，本課題設計了一套應用于比長儀的光電顯微鏡系統(tǒng)，可以對玻璃或金屬線紋刻尺進行高精度瞄準測量。
在分析比長儀國內外發(fā)展現(xiàn)狀的基礎上，闡述了比長儀和光電顯微鏡的工作原理，提出了應用于比長儀的光電顯微鏡總體設計方案。著重設計光電顯微鏡的光學系統(tǒng)，根據(jù)使用要求計算出光電顯微鏡的設計參數(shù)，運用ZEMAX軟件分別設計光電顯微鏡的物鏡系統(tǒng)、觀察系統(tǒng)和照明系統(tǒng)，并對設計結果進行公差分析
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