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文檔簡介
1、微位移機電系統(tǒng)在微電子工程、計量科學與技術、精密工程、生物工程、納米科學與技術等領域有廣泛的應用。微步進旋轉驅動器是微位移機電系統(tǒng)的關鍵部件之一。
本文設計了一種新型微步進旋轉驅動器,該驅動器的核心元件--運動轉換機構--采用螺旋變形原理和對稱結構,將壓電陶瓷驅動器的軸向微位移轉換成微角位移輸出,運動轉換機構與箝位運動相配合,使微步進旋轉驅動器的輸出軸連續(xù)轉動;本文還分析了壓電陶瓷驅動器的材料和工作模式,對旋轉驅動器進行了
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