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1、與傳統(tǒng)的離焦法測(cè)頭相比,論文研究的動(dòng)態(tài)主動(dòng)調(diào)焦法測(cè)量系統(tǒng)具有高的測(cè)量精度,大的測(cè)量范圍和好的動(dòng)態(tài)特性.更重要的是它可以測(cè)量具有強(qiáng)反射表面的高精度金屬件和光學(xué)件,解決了形貌檢測(cè)領(lǐng)域的一個(gè)難題.另外,它還可以應(yīng)用于一些具有高精度要求的自由曲面測(cè)量.偏光干涉測(cè)量是一種新型的運(yùn)用了晶體光學(xué)原理的物體形貌檢測(cè)方法,同三角法相比,它具有較高的測(cè)量精度,相當(dāng)?shù)臏y(cè)量范圍和工作距離.研究的主要內(nèi)容為:解決高精度強(qiáng)反射表面測(cè)量中存在的問(wèn)題和研究新型非接觸檢
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