CCD縱向抗暈結(jié)構(gòu)研究.pdf

1、電荷耦合器件CCD(ChargeCoupledDevice)是一種在硅集成電路工藝線上制作的固體圖像傳感器，它工作方式是將光信號(hào)在光敏區(qū)轉(zhuǎn)換為電荷信號(hào)，再以電荷耦合的方式將電荷傳送并輸出。由于它具有高靈敏度、低噪聲的特點(diǎn)，使其在圖像信息獲取領(lǐng)域應(yīng)用逐漸擴(kuò)大，成為目前成像系統(tǒng)采用的主流圖像傳感器。強(qiáng)光照射時(shí)，CCD攝像器件攝取的圖像中會(huì)出現(xiàn)光暈(blooming)和彌散(smear)現(xiàn)象，嚴(yán)重影響成像質(zhì)量和清晰度，并且長期以來是一個(gè)難以解

2、決的技術(shù)問題。采用縱向抗暈結(jié)構(gòu)不僅可以有效抑制這些現(xiàn)象，而且它不占用光敏區(qū)有效面積，使得CCD靈敏度和動(dòng)態(tài)范圍獲得提高。 論文從CCD的物理基礎(chǔ)入手，闡述了CCD工作機(jī)理和制造的關(guān)鍵工藝，分析了造成這種現(xiàn)象的原因，并對(duì)抑制這種現(xiàn)象的CCD縱向抗暈的結(jié)構(gòu)、控制原理和過程進(jìn)行了分析比較。同時(shí)，對(duì)CCD縱向抗暈結(jié)構(gòu)的發(fā)展、三種典型縱向抗暈新結(jié)構(gòu)進(jìn)行了比較。 本文建立了CCD縱向抗暈結(jié)構(gòu)模型，運(yùn)用半導(dǎo)體器件二維數(shù)值模擬軟件MED