正交型天線感應(yīng)耦合等離子體源的放電特性.pdf_第1頁
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1、蘇州大學(xué)碩士學(xué)位論文正交型天線感應(yīng)耦合等離子體源的放電特性姓名：盧春山申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師：辛煜20080501正交型天線感應(yīng)耦含等離子體源的放電特性AbstractAbstractAnovelkindofinductivelycoupledplasmasource(ICPs)晰thacrossingantennahasbeenpresentedinthispaperTheRFantennawereembedded

2、intoquartztubesthroughthevacuumchamberUniformityandplasmapropertiesofICPswerediagnosedbyLangmuirProbetechnique，whileintensityofAr7504rimlineof[4s’(1／2)o4p’(1／2)】transitionWasmeasuredbyopticalemissionspectroscopyandvariat

3、ionofRFcurrentthroughtheantennaWasmeasuredbymeansofselfmadeRogowskicoil、ExperimentsindicatethatthetransitionofEmodeoftheplasmatoHmodehappenswiththeincreaseofRFinputpowerandtheemissionintensityaswellasRFcurrentincreaseddr

4、amaticallyunderHdischargemodeTheRFcurrentdecreased、析tlltheincreasingofpressurebecauseofthereducedconductivityElectrontemperaturegraduallyreducedwiththeincreasingofpressure，howeverhaslittleinfluenceofRFinputpowerItWasalso

5、shownthatthiskindofsourcecallgeneratehiglldensityplasmawithitsuniformitybetterthan90％inthecenterregionwiththediameterof120mm，theaverageplasmadensityis451016／m3Keywords：InductivelycoupledplasmaAntennaLangrnuirProbe，OESIlW

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