有機(jī)光敏場(chǎng)效應(yīng)管接觸電阻研究.pdf

1、有機(jī)光敏場(chǎng)效應(yīng)管由于低成本、制造溫度低、易于加工、柔性等特點(diǎn)而受到廣泛關(guān)注，是未來半導(dǎo)體器件的發(fā)展方向，但是有機(jī)光敏場(chǎng)效應(yīng)管的接觸電阻較大，成為限制其性能提高的重要因素。對(duì)于有機(jī)光敏場(chǎng)效應(yīng)管接觸電阻的研究顯得很重要，本論文選用兩種接觸結(jié)構(gòu)來研究有機(jī)光敏場(chǎng)效應(yīng)管的接觸電阻，分別是底柵底接觸和底柵頂接觸。研究底柵頂接觸有機(jī)光敏場(chǎng)效應(yīng)管源/漏接觸長(zhǎng)度與接觸電阻之間的關(guān)系，并探究了源/漏接觸長(zhǎng)度對(duì)器件光敏特性的影響，接觸電阻的獲取。與之相對(duì)應(yīng)，

2、也研究底柵底接觸源/漏電極厚度對(duì)器件接觸電阻的影響，接觸電阻的獲取，以及源/漏電極厚度對(duì)器件光敏特性的影響。
　　1.對(duì)于底柵頂接觸結(jié)構(gòu)的并五苯有機(jī)光敏場(chǎng)效應(yīng)管，研究接觸長(zhǎng)度對(duì)器件光電特性的影響和接觸電阻的獲取。結(jié)果表明，在黑暗和光照下，器件的漏極電流隨著接觸長(zhǎng)度的增加而增大，并趨于飽和，飽和接觸長(zhǎng)度為1.2 mm。通過分析源/漏電極下電場(chǎng)的分布及其對(duì)電荷傳輸所造成的影響，對(duì)這一變化規(guī)律進(jìn)行了數(shù)值模擬。通過制備不同溝道長(zhǎng)度的器件，

3、研究了接觸電阻，結(jié)果表明接觸電阻隨著柵壓增大而減小，在柵壓為-40 V時(shí)，接觸電阻為8.41×107Ω。
　　2.對(duì)于底柵底接觸結(jié)構(gòu)的并五苯有機(jī)光敏場(chǎng)效應(yīng)管，研究不同半導(dǎo)體薄膜的厚度和不同電極厚度對(duì)器件性能和光敏特性的影響。結(jié)果表明，接觸電阻隨著電極厚度和柵壓的增加而減小。對(duì)于有機(jī)半導(dǎo)體薄膜的厚度對(duì)器件性能和光敏特性的影響進(jìn)行了研究，結(jié)果表明，接觸電阻隨著并五苯厚度的增加而減小。器件的光響應(yīng)度隨著并五苯層的厚度而增大(在25 nm