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文檔簡介
1、Cz法與Bridgman法是晶體生長中普遍采用的兩大技術(shù)。CdZnTe是一種三元化合物,它的熱導(dǎo)率很低,機(jī)械強(qiáng)度較差,容易受到熱應(yīng)力的作用而產(chǎn)生缺陷,導(dǎo)致Cz法與Bridgman法對制備CdZnTe晶體存在不足,然而分離結(jié)晶法可以很好的彌補(bǔ)這一缺陷。為了更好地掌握晶體生長過程中系統(tǒng)內(nèi)部流動與傳熱特性,本文采用有限元程序,對分離結(jié)晶法制備CdZnqle晶體過程進(jìn)行全局?jǐn)?shù)值模擬。分析了坩堝半徑、狹縫寬度、熔體晶體導(dǎo)熱系數(shù)比、溫度梯度以及坩堝
2、壁厚對晶體生長的影響。
研究發(fā)現(xiàn)熔體流型與傳熱特性均受到這五個(gè)因素的影響:(1)隨著坩堝半徑增大,Marangoni對流迅速增強(qiáng),對熔體流動的影響逐漸增大,使流胞中心向上移動,流胞形狀變得狹長;高溫段熔體溫差很小,隨著坩堝半徑增大,系統(tǒng)內(nèi)部換熱增強(qiáng)。(2)狹縫寬度對分離結(jié)晶有決定性的作用,當(dāng)狹縫寬度較小時(shí),氣液彎界面處熔體兩端溫差很小,導(dǎo)致增大晶體重新粘附于坩堝壁面的風(fēng)險(xiǎn);隨著狹縫寬度的增大,流動的不穩(wěn)定性增加,很難保持穩(wěn)
3、定的氣液彎界面形狀,增加了實(shí)現(xiàn)晶體穩(wěn)定生長的難度。(3)熔晶導(dǎo)熱系數(shù)比,直接影響坩堝外壁的溫度分布。在I不大于1.3時(shí),可選擇高、低溫區(qū)溫度為定值的簡單溫度場;在I大于1-3時(shí),應(yīng)選擇坩堝外壁分三段不同溫度梯度的復(fù)雜溫度場。(4)絕熱段溫度梯度決定著晶體生長的速度與質(zhì)量。溫度梯度越小,熔體流動越弱,流胞中心離結(jié)晶界面位置越遠(yuǎn),晶體生長速度越慢,但生長質(zhì)量越好。(5)坩堝壁厚對熔體流動影響較大。在坩堝半徑為9mm,坩堝壁厚δ為1.0mm時(shí)
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