Bimorph結構MEMS微鏡熱驅動性能分析研究.pdf

1、微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS）是融合機、光、電、磁等領域技術為一體，將常規(guī)集成電路工藝與微機械加工獨有特殊工藝相結合的一種前沿技術。其具有能耗低、、體積小、集成度高、靈敏度高和價格低廉等特點，廣泛應用于生物醫(yī)療、汽車工業(yè)、軍事國防、航空航天等領域。電熱型MEMS微鏡，是一種利用微執(zhí)行器驅動微反射鏡面運動及偏轉，以實現(xiàn)調(diào)整入射光空間分布的光調(diào)制器，廣泛應用于通信領域。但電熱型M E

2、MS微鏡的驅動方式?jīng)Q定了熱量及溫度對其的影響，故對電熱型MEMS微鏡進行熱分析是非常必要的。
　　本研究分為三個部分：第一部分針對電熱MEMS微鏡的一種Bimorp h驅動器結構，以其熱阻模型為基礎，提出解耦和求解其功率分布與溫度分布的方法；并以Bimorp h平均溫度為參考指標，提出一種Bimorph結構對流系數(shù)的估算方法。第二部分以一種有四個驅動臂的電熱MEMS微鏡研究對象，根據(jù)Bimorph結構中熱源位置建立不同熱串擾模型，