基于TGV的圓片級(jí)真空封裝技術(shù)研究.pdf

1、TGV(Through Glass Via)技術(shù)是一種應(yīng)用于圓片級(jí)真空封裝領(lǐng)域的新興縱向互連技術(shù)，為實(shí)現(xiàn)MEMS器件三維封裝提供了新的技術(shù)途徑。本文提出了一種基于雙面玻璃回流工藝的TGV技術(shù)，并利用該技術(shù)對(duì)硅微陀螺進(jìn)行了圓片級(jí)真空封裝，主要工作包括：
　　1.介紹了課題的研究背景，對(duì)國(guó)內(nèi)外實(shí)現(xiàn)圓片級(jí)真空封裝的技術(shù)方案進(jìn)行了調(diào)研，歸納總結(jié)了不同方案的優(yōu)缺點(diǎn)，結(jié)合國(guó)內(nèi)外研究的盲點(diǎn)與難點(diǎn)，給出了本課題的研究意義。
　　2.提出了基

2、于雙面玻璃回流工藝的TGV技術(shù)方案，建立了玻璃回流理論模型，提出了通過(guò)退火工藝來(lái)減小TGV襯底在制作過(guò)程中產(chǎn)生的熱應(yīng)力，建立了垂直電極等效電路模型，分析了其電學(xué)特性。
　　3.通過(guò)仿真分析確定了襯底結(jié)構(gòu)尺寸，重點(diǎn)探索了雙面玻璃回流工藝，得到了合適的工藝參數(shù)，包括熱處理溫度、熱處理時(shí)間以及硅模具尺寸等。最后研究了TGV襯底加工過(guò)程中的關(guān)鍵工藝，完成了襯底制備。
　　4.以硅微陀螺為封裝對(duì)象，提出了基于TGV技術(shù)的圓片級(jí)真空封裝