光刻機投影物鏡光學鏡片的光機熱集成分析及軟件實現.pdf

1、光刻機投影物鏡光學鏡片作為曝光系統(tǒng)的核心部件，其精度要求極高，常用的分析方法是將光學鏡片的光機熱分析采用專業(yè)軟件進行分析。但不同軟件之間模型或數據的交互可能會引起部分數據丟失，從而引起分析結果偏差。因而需要一種對鏡片光機熱進行集成分析的方法來完成各種分析類型之間的數據交互，從而實現鏡片的整個分析過程，縮短設計周期。
　　本文通過對光學鏡片分析過程中的機械結構分析、熱分析、光學分析過程進行簡單介紹并細致地闡述了它們之間的耦合關系，列

2、出了光機熱集成分析結果評價方法。從而提出一種實現鏡片光機熱集成分析的方法：基于ModelCenter的流程集成分析，另外通過C++Builder開發(fā)環(huán)境設計輔助軟件來完善流程分析的功能。
　　根據提出的方案，實現了鏡片光機熱分析模型的參數化，建立了基于 ModelCenter的鏡片光機熱參數化集成分析流程，實現了分析過程中不同分析類型之間數據的交互及過程的自動化，得到了鏡片光學分析特性圖。同時開發(fā)的輔助軟件完善了流程集成分析的功能