深紫外浸沒式光刻投影物鏡設(shè)計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、碩士學(xué)位論文碩士學(xué)位論文深紫外浸沒式光刻投影物鏡設(shè)計OPTICALDESIGNFARFIMMERSIONLITHOGRAPHYPROGECTIONLENS杜偉峰杜偉峰哈爾濱工業(yè)大學(xué)哈爾濱工業(yè)大學(xué)2012年7月ClassifiedIndex:O435U.D.C:621.3DissertationftheMasterDegreeinEngineeringOPTICALDESIGNFARFIMMERSIONLITHOGRAPHYPROGECT

2、IONLENSCidate：DuWeifengSupervis：Prof.FanZhigangAcademicDegreeAppliedf：MasterofEngineeringSpeciality：OpticalEngineeringAffiliation：ResearchCenterfSpaceOpticalEngineeringDateofDefence：July2012DegreeConferringInstitution：Ha

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