基于機(jī)器視覺(jué)的PZT晶片缺陷檢測(cè)系統(tǒng).pdf_第1頁(yè)
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1、壓電晶體PZT產(chǎn)品常有裂紋、油污、破損及涂膠不均等表面缺陷，且缺陷尺寸、形狀不確定，因而導(dǎo)致人工分檢難度大，分檢合格率低。為此本文提出了用機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)PZT產(chǎn)品的表面缺陷，研究在產(chǎn)品圖像準(zhǔn)確獲取的基礎(chǔ)上，通過(guò)圖像增強(qiáng)、圖像分割和缺陷特征提取的算法實(shí)施，由軟件程序確定PZT產(chǎn)品的表面缺陷。本文主要研究?jī)?nèi)容如下:
　　①采用空間域和頻域方法增強(qiáng)待測(cè)PZT圖像特征，并用微分算子法和閾值分割進(jìn)行PZT圖像邊緣分割，從而完成了工件圖像在背景

2、中的分離，降低處理的復(fù)雜性，提高處理速度。
　?、诓捎脜^(qū)域連通的輪廓識(shí)別方法，給出金屬基片與PZT感受膜的圖形，根據(jù)圖形內(nèi)外輪廓的偏心距判斷工件缺陷;采用波長(zhǎng)400nm紫光源照射工件膠水，用HSI顏色識(shí)別方法，根據(jù)色度、飽和度、亮度參數(shù)將藍(lán)綠色提取，判斷涂膠質(zhì)量;采用了局部區(qū)域處理的二維離散小波變換方法，將圖像變換到頻域空間來(lái)處理局部變化，檢測(cè)局部區(qū)域的裂縫;采用紋理提取法，由于PZT上的黑點(diǎn)和油污有一定的規(guī)律性，符合紋理特性，根

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