基于機器視覺的表貼芯片缺陷檢測系統(tǒng)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、伴隨著半導(dǎo)體技術(shù)和電子產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，芯片的缺陷檢測技術(shù)在整個工業(yè)生產(chǎn)過程中扮演的角色也越來越重要。相比于傳統(tǒng)的人工檢測技術(shù)，基于機器視覺的表貼芯片缺陷檢測技術(shù)作為一種靈活的、實時的、非接觸式的、高精度的檢測技術(shù)，應(yīng)用也是日益廣泛。本文主要對基于機器視覺的表貼芯片的缺陷檢測技術(shù)進行了研究，在此基礎(chǔ)上實現(xiàn)了對表貼芯片外觀尺寸的缺陷檢測。
　　文中對表貼芯片圖像的預(yù)處理技術(shù)和表貼芯片的缺陷檢測技術(shù)進行了重點研究。主要工作如下：

2、　?。?）使用直方圖均衡化以及改進的中值濾波算法對芯片圖像進行了增強處理。
　　（2）通過將傳統(tǒng)的圖像邊緣檢測算法、改進的Canny邊緣檢測算法以及改進的基于蟻群的圖像邊緣檢測算法進行實驗結(jié)果對比，最后采用改進的Canny邊緣檢測算法實現(xiàn)了表貼芯片的邊緣檢測。
　?。?）通過對基于邊緣檢測的芯片引腳寬度和間距尺寸檢測和基于二值化后的芯片引腳長度等特征參數(shù)的計算，實現(xiàn)了對表貼芯片外觀缺陷的準確檢測和識別。
　?。?）設(shè)計

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