干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)的新測(cè)量方法研究.pdf

1、高功率固體激光裝置中所使用光學(xué)元件的中頻段小尺度制造誤差將嚴(yán)重影響整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的性能。目前，光學(xué)元件中頻誤差主要用干涉儀來(lái)測(cè)量，而評(píng)價(jià)干涉儀系統(tǒng)本身性能的基本量是系統(tǒng)的傳遞函數(shù)?，F(xiàn)有的干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)主要用標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階相位比較法測(cè)量，此法需要一塊高精度臺(tái)階板。
　　首先，根據(jù)干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)的測(cè)試原理，制定了臺(tái)階相位比較法測(cè)量干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)的實(shí)驗(yàn)方案，編寫計(jì)算程序，測(cè)試了不同型號(hào)干涉儀的系統(tǒng)傳遞函數(shù)。另外分析了實(shí)驗(yàn)過(guò)程中不同截

2、取波前大小、調(diào)焦程度和干涉腔的距離對(duì)傳遞函數(shù)測(cè)量結(jié)果的影響。
　　其次，提出了兩種測(cè)量干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)的新方法，鍍膜臺(tái)階法和條紋法，其中鍍膜臺(tái)階法基于臺(tái)階相位比較法，創(chuàng)新地提出了運(yùn)用鍍膜的方法來(lái)制作高精度臺(tái)階板，此法方便快捷，能克服國(guó)內(nèi)制作臺(tái)階板技術(shù)的短缺;條紋法則通過(guò)調(diào)節(jié)條紋數(shù)量來(lái)確定頻率，利用調(diào)制度的比值來(lái)表征不同頻率對(duì)應(yīng)的傳遞函數(shù)的大小，此法不需要制備臺(tái)階板，大大降低了測(cè)試成本，尤其適用于計(jì)算大口徑干涉儀的系統(tǒng)傳遞函數(shù)。兩