版圖圖像轉(zhuǎn)換算法研究.pdf

1、隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，超大規(guī)模集成電路隨著納米節(jié)點(diǎn)的發(fā)展應(yīng)運(yùn)而生。在元器件微型化、電路規(guī)模成化的現(xiàn)在，作為連接版圖設(shè)計(jì)和版圖生產(chǎn)中間環(huán)節(jié)的版圖優(yōu)化起著越來(lái)越重要的作用。在實(shí)際版圖設(shè)計(jì)和版圖優(yōu)化的過(guò)程中，大多數(shù)版圖線網(wǎng)是非規(guī)則形狀的，制造工藝中真實(shí)的缺陷輪廓也是非規(guī)則形狀的。隨機(jī)缺陷的版圖優(yōu)化借助圖像版圖來(lái)完成會(huì)更加直觀，因此從標(biāo)準(zhǔn)版圖格式中提取圖像版圖使用圖像處理技術(shù)進(jìn)行版圖優(yōu)化就成為了解決版圖優(yōu)化相關(guān)問(wèn)題的一種選擇。把標(biāo)準(zhǔn)版圖文件

2、中的版圖信息轉(zhuǎn)換成版圖圖像信息，使用圖像處理技術(shù)進(jìn)行優(yōu)化，然后把優(yōu)化后的版圖圖像信息再轉(zhuǎn)為版圖文件。本文的工作就是對(duì)標(biāo)準(zhǔn)版圖格式和版圖圖像間的互相轉(zhuǎn)換算法進(jìn)行研究。
　　對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)CIF版圖格式向圖像版圖轉(zhuǎn)換，本文提出了一種基于位填充的版圖信息提取方法。該方法首先構(gòu)建一張超大的“畫(huà)板”，逐條讀取標(biāo)準(zhǔn)版圖格式中的信息，將其“畫(huà)”在“畫(huà)板”。然后在所有信息“畫(huà)”完之后，再將其分塊輸出為圖像文件，以便進(jìn)行后期的版圖優(yōu)化。通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證得出，

3、相對(duì)于現(xiàn)有的圖像版圖提取方法，新方法不僅解決了較大CIF版圖的完整提取問(wèn)題，并且因?yàn)槠洳粫?huì)對(duì)CIF版圖語(yǔ)句進(jìn)行重復(fù)處理，其計(jì)算量顯著減少，時(shí)間效率明顯提高。同時(shí)新方法還具有提取參數(shù)準(zhǔn)確、提取過(guò)程透明化的特點(diǎn)。
　　對(duì)于圖像版圖向標(biāo)準(zhǔn)CIF版圖格式的轉(zhuǎn)換，本文提出一種基于圖像邊緣識(shí)別的圖像版圖轉(zhuǎn)換算法，根據(jù)版圖中不同圖形的圖形特征進(jìn)行形狀識(shí)別與格式轉(zhuǎn)換。首先檢測(cè)出版圖圖像的邊緣并用鏈碼表示以實(shí)現(xiàn)邊界鏈碼的跟蹤；然后基于鏈碼和行程編碼