雙工件臺(tái)軟件設(shè)計(jì)及晶圓傳輸系統(tǒng)的應(yīng)用.pdf

1、雙工件臺(tái)是光刻機(jī)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的核心部件，雙工件臺(tái)的運(yùn)動(dòng)由多個(gè)電機(jī)共同驅(qū)動(dòng)。由于雙工件臺(tái)是高速運(yùn)行的平臺(tái)，這樣使得雙工件臺(tái)伺服控制系統(tǒng)對(duì)實(shí)時(shí)性要求極高。晶圓傳輸升降機(jī)構(gòu)在雙工件臺(tái)中負(fù)責(zé)晶圓的上下片，其動(dòng)態(tài)性能和穩(wěn)態(tài)誤差影響光刻機(jī)的產(chǎn)率和晶圓硅片質(zhì)量。本文主要針對(duì)雙工件臺(tái)嵌入式上下位機(jī)進(jìn)行設(shè)計(jì)，并對(duì)晶圓傳輸升降機(jī)構(gòu)進(jìn)行了運(yùn)動(dòng)控制研究。
　　首先，針對(duì)雙工件臺(tái)的功能需求，確定異構(gòu)平臺(tái)的上下位機(jī)系統(tǒng)的軟件總體架構(gòu)。對(duì)下位機(jī)Vxworks嵌

2、入式系統(tǒng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)介紹，并設(shè)計(jì)了嵌入式主控CPU板與多塊運(yùn)動(dòng)控制卡間的通信機(jī)制；接下來(lái)對(duì)下位機(jī)Vxworks嵌入式系統(tǒng)進(jìn)行任務(wù)規(guī)劃，包括Vxworks嵌入式系統(tǒng)任務(wù)間同步與通信，任務(wù)間調(diào)度等任務(wù)，最后具體實(shí)現(xiàn)下位機(jī)嵌入式的多任務(wù)實(shí)時(shí)系統(tǒng)。
　　其次，基于MFC開(kāi)發(fā)了上位機(jī)界面，對(duì)異構(gòu)平臺(tái)的大小端模式進(jìn)行研究，解決了上下位機(jī)的數(shù)據(jù)傳輸問(wèn)題，最后基于功能需要詳細(xì)介紹了上位機(jī)程序設(shè)計(jì)，并通過(guò)實(shí)驗(yàn)，驗(yàn)證了上位機(jī)的正確性。
　　再次