雙工件臺(tái)系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)和測(cè)量系統(tǒng)解耦算法研究.pdf

1、光刻機(jī)作為大規(guī)模集成電路制造的重要生產(chǎn)工具,日益成為衡量一個(gè)國(guó)家高新技術(shù)發(fā)展的重要指標(biāo)。而作為光刻機(jī)重要部件之一的工件臺(tái)和掩模臺(tái)系統(tǒng),其發(fā)展與研發(fā)則成為光刻機(jī)生產(chǎn)的核心?？梢哉f(shuō),工件臺(tái)和掩模臺(tái)的技術(shù)水平直接影響著光刻機(jī)設(shè)備產(chǎn)能。
　　工件臺(tái)與掩模臺(tái)的高速度和高精度要求成為控制的難點(diǎn)。對(duì)于工件臺(tái)和掩模臺(tái)的微動(dòng)臺(tái)來(lái)說(shuō),他們各由六個(gè)音圈電機(jī)控制。六個(gè)電機(jī)相互配合實(shí)現(xiàn)六個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)。為了實(shí)現(xiàn)工件臺(tái)和掩模臺(tái)六個(gè)自由度的高精度控制,需要對(duì)六個(gè)

2、電機(jī)進(jìn)行精確解耦,并對(duì)安裝誤差進(jìn)行分析。
　　本文首先對(duì)工件臺(tái)和掩模臺(tái)工作原理進(jìn)行了簡(jiǎn)單介紹。然后對(duì)工件臺(tái)和掩模臺(tái)的微動(dòng)臺(tái)進(jìn)行建模。通過(guò)對(duì)微動(dòng)臺(tái)臺(tái)體上六個(gè)電機(jī)施力和對(duì)臺(tái)體產(chǎn)生力矩的分析,解算出微動(dòng)臺(tái)六個(gè)自由度對(duì)應(yīng)的合力和合力矩與六個(gè)音圈電機(jī)的關(guān)系。為了實(shí)現(xiàn)對(duì)臺(tái)體六個(gè)自由度精確控制,利用數(shù)學(xué)軟件對(duì)轉(zhuǎn)換矩陣進(jìn)行求逆處理。編寫了VC++可視化程序,方便求解在誤差影響下,電機(jī)施力變化。
　　電機(jī)安裝及臺(tái)體加工時(shí)易產(chǎn)生誤差,而誤差會(huì)引