2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進步,晶體管特征尺寸已縮短至納米范疇,當器件溝道長度小于10nm以后,制造溝道PN結(jié)的工藝變得更為困難?;谶@一問題,溝道和源漏摻雜類型相同的無結(jié)晶體管再一次被提出。閾值電壓是器件最重要的電學參數(shù),它在器件模擬和電路設(shè)計方面都起著舉足輕重的作用。
  本文在簡要介紹無結(jié)晶體管工作機理和優(yōu)勢的基礎(chǔ)上,深入研究了無結(jié)晶體管的閾值電壓提取方法、模型和新結(jié)構(gòu)。
  首先,分析總結(jié)了9類閾值電壓提取方法,分別利用它

2、們提取了不同溝道長度 FinFET和納米線無結(jié)晶體管的閾值電壓。提取結(jié)果表明:不同的閾值電壓提取方法的提取結(jié)果各不相同,并且有些閾值電壓提取方法不適用于提取短溝道器件的閾值電壓。
  其次,通過求解二維泊松方程,建立了長溝道三柵無結(jié)晶體管的亞閾值區(qū)電勢模型,在電勢模型的求解中首次考慮了埋氧層和襯底偏置的影響,并且也考慮了柵拐角的影響。在此基礎(chǔ)上,根據(jù)閾值電壓的定義,推導(dǎo)出了該器件的閾值電壓模型。電勢和閾值電壓模型的解析結(jié)果和三維模

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