直線導(dǎo)軌多自由度幾何誤差同時(shí)測量中誤差分析與補(bǔ)償方法的研究.pdf

1、直線導(dǎo)軌是機(jī)械制造業(yè)中，精密與超精密設(shè)備的關(guān)鍵部件。直線導(dǎo)軌的精確度將直接影響著設(shè)備的加工精度，對其精度進(jìn)行精密檢測尤為重要。傳統(tǒng)測量方法中的單參數(shù)測量費(fèi)時(shí)費(fèi)力，因此需對多自由度誤差同時(shí)測量進(jìn)行研究。而多自由度誤差同時(shí)測量中，各誤差項(xiàng)之間不可避免的存在誤差串?dāng)_，這對測量結(jié)果有著十分大的影響，也成為了多自由度誤差同時(shí)測量中亟待解決的重要問題。
　　本論文研究了基于雙光束基準(zhǔn)的除位置誤差外的五自由度幾何誤差同時(shí)測量系統(tǒng)，本系統(tǒng)使用氦氖

2、激光器作為光源，各項(xiàng)誤差的測量敏感元件分別為角錐棱鏡與反射鏡，所選用的探測器為位置敏感探測器與四象限探測器。本文的重點(diǎn)工作為對該系統(tǒng)同時(shí)測量中產(chǎn)生的誤差串?dāng)_進(jìn)行了分析與補(bǔ)償。本系統(tǒng)中的誤差串?dāng)_包括偏擺角對水平方向直線度的串?dāng)_，俯仰角對豎直方向直線度的串?dāng)_，滾轉(zhuǎn)角對水平與豎直方向直線度的串?dāng)_，以及滾轉(zhuǎn)角真實(shí)值與其測量值之間的函數(shù)關(guān)系。上述誤差均可通過誤差補(bǔ)償模型進(jìn)行補(bǔ)償并將其消除，在未對系統(tǒng)進(jìn)行更加復(fù)雜設(shè)計(jì)的條件下，大幅提高了系統(tǒng)的測量精