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1、垂直腔面發(fā)射激光器是一種新型的半導(dǎo)體激光器，具有低閾值、低功耗、轉(zhuǎn)換效率高、發(fā)散角小等優(yōu)點(diǎn)，使其在光通信和光互連等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。
在VCSEL制作工藝中，濕法氧化工藝已經(jīng)成為制備高性能VCSEL的關(guān)鍵技術(shù)之一。為了更好的控制氧化孔徑，本論文對濕法氧化工藝進(jìn)行實驗研究。在不同的溫度下對已刻蝕出氧化臺面的芯片進(jìn)行氧化，利用掃描電鏡的微區(qū)分析功能對氧化后的氧化生成物進(jìn)行分析，推導(dǎo)出在氧化溫度一定的情況下，氧化速率隨時間的變
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