精密氣浮工件臺機械系統(tǒng)動力學仿真與參數(shù)優(yōu)化研究.pdf

1、精密氣浮工件臺具有定位精度高，運動平穩(wěn)，響應快等許多優(yōu)點，已經(jīng)廣泛應用于IC制造裝備中。工件臺的動態(tài)性能直接決定了IC裝備的工作性能。隨著計算機仿真技術的快速發(fā)展，仿真技術已經(jīng)成為精密氣浮工件臺系統(tǒng)的重要分析和設計手段之一，然而精密氣浮工件臺是涉及機、電、液、磁、控、熱等多個學科的復雜系統(tǒng)，工件臺系統(tǒng)的工作性能受多方面因素的影響?，F(xiàn)有的仿真軟件對多學科統(tǒng)一建模，在統(tǒng)一平臺下完成系統(tǒng)仿真分析支持有限。針對這一問題，本文基于多領域統(tǒng)一建模技

2、術和多學科設計優(yōu)化技術，對氣浮工件臺系統(tǒng)的建模仿真和參數(shù)優(yōu)化技術進行了研究。
　　建立了工件臺三維幾何模型，實現(xiàn)了從幾何模型中自動導出尺寸，質量，轉動慣量等信息至剛體模型中的功能。建立工件臺等效多剛體模型，基于動力學分析軟件Adams詳細分析了工件臺系統(tǒng)的振動特性。分析了氣浮軸承的工作原理及其結構形式，基于Modelica語言建立了氣浮軸承模型，在Mworks平臺上進行了仿真實驗?；诙鄬W科設計優(yōu)化軟件 ModelCenter建立