2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、工業(yè)型掃描探針顯微鏡(SPM)需要復(fù)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)的全三維形貌,且要求高度的工作效率和自動化程度。其主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)中,實現(xiàn)對大尺寸(4~8吋)晶圓中微結(jié)構(gòu)特定區(qū)域(約幾十微米)關(guān)鍵尺寸的檢測。為提高工業(yè)SPM的檢測效率和自動化程度,有必要發(fā)展相應(yīng)的粗定位技術(shù)快速地尋找掃描區(qū)域。本文提出了一種基于數(shù)字圖像處理的快速定位方法,首先利用自動聚焦技術(shù)使樣品位于光學(xué)顯微鏡焦平面上,之后利用圖像匹配技術(shù)尋找樣品表面的定位標記(標記與待測點距離固

2、定),最后通過坐標變換等方法得到待測點在系統(tǒng)坐標系下的位置,進而將待測點定位到測頭下以待掃描。根據(jù)晶圓表面的特征,在自動聚焦過程中選取Robert算子作為聚焦評價函數(shù),并以變步長爬坡算法搜索焦平面;在圖像匹配過程中采用SURF算法提取標記特征,并利用雙向匹配方式有效地去除誤匹配點。本文圍繞對待測點的粗定位技術(shù)展開研究,主要內(nèi)容如下:
  1.回顧了掃描探針顯微鏡的發(fā)展歷史,分析了SPM技術(shù)發(fā)展的現(xiàn)狀及其局限性,同時指出了本課題的研

3、究意義。
  2.介紹了工業(yè)SPM系統(tǒng)的總體設(shè)計、工作流程以及電機運動精度的標定,并提出了研究樣品粗定位技術(shù)的必要性,闡述了粗定位系統(tǒng)的設(shè)計思路及實現(xiàn)路徑。
  3.對聚焦算子的選擇和焦點搜索策略的制定展開研究,探討了適用于工業(yè)SPM的快速自動聚焦技術(shù)。通過理論和實驗的比較,采用Robert算子為聚焦評價函數(shù),并以變步長的爬坡算法搜索焦平面位置,實現(xiàn)了對樣品表面的快速聚焦。
  4.利用SURF算法提取樣品圖像上的特征

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