全自動石英晶振脈沖磁控濺射鍍膜工藝控制系統(tǒng)研制.pdf

1、石英晶體諧振器制作的關鍵技術就是獲得精確指定諧振頻率的電極制備。磁控濺射鍍膜技術在“被電極”工藝中的應用，較好的解決了蒸發(fā)“被銀技術”電極膜層與石英晶片的附著力較差的問題。本文主要針對全自動石英晶振孿生雙靶脈沖磁控濺射鍍膜系統(tǒng)開發(fā)相應的工藝控制軟件以滿足石英晶體諧振器雙面電極同時“濺射被銀”的工業(yè)化生產的實際需要?？刂葡到y(tǒng)開發(fā)始終貫穿安全便捷、簡單適用的原則，以VC++6.0為開發(fā)工具實現(xiàn)了上位機用戶界面的開發(fā)、以西門子S7-200PL

2、C為下位機完成了鍍膜工藝的程序控制，實現(xiàn)了濺射鍍膜系統(tǒng)的全自動工藝運行控制。
　　論文在簡要介紹了石英晶體諧振器電極制備技術的基礎上，通過對濺射鍍膜工藝流程的控制需求分析，確定了控制系統(tǒng)的上下位機控制架構，并采用RS-232C接口標準，利用API串口函數打開和關閉串口、以西門子S7-200系列自由端口通訊模式實現(xiàn)了上下位機之間的通信。論文采用檢測用戶網卡和硬盤信息特征與封裝在系統(tǒng)登錄程序中的授權碼信息進行比對的知識產權保護策略判斷

3、終端用戶的合法性。
　　論文所開發(fā)的上位機用戶界面主要實現(xiàn)了運行模式控制、工藝參數設置、現(xiàn)場工藝參數實時顯示、手動工藝控制以及狀態(tài)監(jiān)測等5個功能模塊?，F(xiàn)場工藝參數的設置依照“頻率點設置”分別實現(xiàn)“常用頻率點工藝參數調用”和“自定義頻率點工藝參數”功能。常用頻率點工藝參數調用采用下拉式快捷菜單選擇?！白远x頻率點參數設定”可以滿足不同產品的工藝參數設置要求。
　　PLC應用程序通過功率和循環(huán)周期實現(xiàn)不同頻率點的膜層厚度控制，對

4、于相近頻率點工藝參數則進一步通過功率的增減百分比微調以滿足膜層精細調節(jié)的需要。根據工藝要求分別設計完成了參數初始化、自動抽真空、電離清洗、濺射鍍鉻、濺射鍍銀等工藝運行控制的PLC梯形圖程序。采用數值逼近控制策略防止了模擬量輸出的數值過沖。主程序進行工藝運行狀態(tài)的邏輯判斷并根據判斷結果啟停各子程序，實現(xiàn)了鍍膜工藝的自動判別和高效運行控制。
　　本文開發(fā)的控制系統(tǒng)簡單實用，成本低廉，性能穩(wěn)定。實驗樣機在企業(yè)實際運行中表現(xiàn)出極高的工藝穩(wěn)