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文檔簡介
1、噴射電沉積是電化學沉積的方式之一,其具有結晶細致、選擇性沉積、極限電流密度大以及沉積效率高等諸多優(yōu)點,合理控制電流密度及沉積時間從理論上即可制備出納米多層膜。結合噴射電沉積技術,本文成功地設計出能制備調制波長為十幾到幾百納米的多層膜(理論上可以達到幾納米)的試驗裝置,且在大量工藝試驗基礎之上對 Cu/Co多層膜的部分性能進行了研究。
完成的主要工作及研究內容如下:
?。?)設計并構建了制備Cu/Co多層膜的試驗裝置,完
2、成了運動及控制系統(tǒng)的設計,解決了兩種電鍍液交叉污染以及電鍍液溫度范圍的精確控制等問題,能精確、平穩(wěn)地控制平動速度、電鍍液的入口流量以保證沉積層厚度均勻、可控,采用該裝置成功地制備出調制波長可控的Cu/Co多層膜;
?。?)采用Fluent軟件對不同距離和噴嘴入口流速(流量)下噴嘴的流場進行了仿真,發(fā)現(xiàn)低速區(qū)的寬度隨距離的增加而增大,隨流量增加呈先增后減趨勢(Q=194L/h時,低速區(qū)寬度最小),仿真結果很好地反映了沉積中的實際情
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